一种分配阀箱管道的固定卡盘制造技术

本实用新型专利技术提供了一种分配阀箱管道的固定卡盘，用于全方位固定穿过分配阀箱顶板的管道。它除了包括管道卡盘，锁母，还包括固定组件和锁紧箍。锁紧箍为具有一定锥度的锁紧箍，锁母开有固定孔和锁紧孔，管道卡盘的下端开有收缩槽的内孔；锁紧箍置于锁母的锁紧孔，与管道卡盘的下端接触，锁母的固定孔与管道卡盘的中部接触，固定组件将管道卡盘的上端固定在分配阀箱顶板上。在拧紧锁母时，通过具有锥度的锁紧箍的上移紧固管道卡盘下端的收缩槽内孔，使其收缩变形并紧紧的抱紧管道，达到管道的全方位的固定，避免管道轴向和转动方向的移动导致“ＶＣＲ”接头松动引起的安全隐患问题的出现。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本实用型性涉及传输管道的固定装置设计领域，尤其涉及一种分配阀箱管 道的固定卡盘。
技术介绍
半导体生产工艺中会频繁使用氯气、氯化氢、磷烷等数十种有毒的工艺气 体。将这些有毒的气体输送或供给给半导体芯片制作机台的过程中需要大量的 气体分配阀箱。根据分配阀箱上分配气体使用端的数量，每个分配阀箱通常都 会有大约数十支的气体管道从分配阀箱的顶板穿过。气体分配阀箱内每支被分配的气体管道与气体调压器的连接都只能用专用的"VCR"接头进行连接。 "VCR"这种接头是一种通过螺紋连接方式锁紧接触面上密封垫来实现连接的 工艺气体管道的专用接头。这种接头的缺点是当受到外力作用时，接头容易 松动而产生气体泄漏。然而，目前使用的从分配阀箱顶板上穿过的气体管道上的管道固定卡盘， 请参阅图l。管道卡盘2穿过气体管道1，通过锁母3固定气体管道l于分配阀 箱顶板4。此种卡盘只有径向固定气体管道l的作用，没有轴向和转动方向固定 的功能。在实际情况下，通常需要在这样的气体管道1上或相邻部位做一些管 道安装和维护工作，这就存在着容易将施加在气体管道1上轴向或转动方向的 外力通过分配阀箱顶板上的固定卡盘传给"VCR"接头本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分配阀箱管道的固定卡盘，用于固定管道于分配阀箱顶板，它包括管道卡盘，锁母，其特征在于，它还包括固定组件和锁紧箍，所述管道卡盘上端开有连接孔，所述管道卡盘下端开有收缩槽内孔，所述锁母开有锁紧孔和固定孔，所述锁紧箍为具有一定锥度的锁紧箍；所述锁母与管道卡盘中部和下端连接，所述锁紧箍置于所述锁母的锁紧孔内，与所述管道卡盘下端收缩槽的内孔接触，所述锁母的固定孔与管道卡盘中部接触，所述管道卡盘通过所述固定组件穿过所述管道卡盘上的连接孔固定于所述分配阀箱顶板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王东海，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]