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本实用新型提供了一种分配阀箱管道的固定卡盘，用于全方位固定穿过分配阀箱顶板的管道。它除了包括管道卡盘，锁母，还包括固定组件和锁紧箍。锁紧箍为具有一定锥度的锁紧箍，锁母开有固定孔和锁紧孔，管道卡盘的下端开有收缩槽的内孔；锁紧箍置于锁母的锁紧孔...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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