The utility model discloses a plane target leveling device, which moves horizontally along its length direction through the plane target to be leveled, and measures the flatness error with the leveling measuring device to obtain the flatness error value at the deformation position of the plane target, and manually presses the deformation position through the manual leveling device, which has simple structure and can be used for the plane target It has the advantages of fast leveling, high leveling accuracy, good leveling effect, and no damage to the plane target, so that the sputtering film formation of the plane target is even, the adhesion between the film formation and the substrate is good, and the production quality of the plane target is improved.
【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材校平装置
本技术涉及平面靶加工
,尤其是涉及一种平面靶材校平装置。
技术介绍
平面靶材是板状的,长度长,厚度较薄,刚性差,容易弯曲变形,而且对于一些材料如高纯铜、高纯铝等金属材料制成的高纯平面靶,其靶材强度更差,在平面靶材加工过程中,会对平面靶进行多次吊运,难免会因搬运或应力加工等原因而造成平面靶材的弯曲变形。平面靶材在进行溅射成膜加工时,平面靶材的平面度误差过大,会导致成膜不均匀,成膜与衬底之间的附着力差等问题。为保证生产出高质量的平面靶,需提供一种平面靶材校平装置,以保证平面靶材的溅射加工精度,提高平面靶的生产质量。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的是提供一种平面靶材校平装置,能够快速对发生弯曲变形的平面靶材进行物理校平,使用方便,校平精度高,提高了平面靶的溅射加工精度,提高了平面靶的生产质量。为了实现上述目的,本技术所采用的技术方案是:一种平面靶材校平装置,校平装置包括机架、工作台、校平测量装置和手动校平装置,工作台,用于带动待校平的平面靶材沿其长度方向进行水平移动,与手动校平装置进行校平配合,工作台移动安装在机架的中部,工作台的台面活动设置有至少两个用于活动支撑平面靶材的支撑件,各支撑件分别沿工作台的移动方向间隔分布,相邻的两个支撑件之间的区间形成有校平区间,各支撑件的顶部均设置有支撑部,支撑部活动抵顶平面靶材的底面;校平测量装置,用于检测平面靶材的平整度,校平测量装置设置在机架的中部,校平测量装置具有一测量杆,测量杆活动抵顶于该平面 ...
【技术保护点】
1.一种平面靶材校平装置,其特征在于:校平装置包括机架(1)、工作台(11)、校平测量装置和手动校平装置,/n工作台(11),用于带动待校平的平面靶材(4)沿其长度方向进行水平移动,与手动校平装置进行校平配合,工作台(11)移动安装在机架(1)的中部,工作台(11)的台面活动设置有至少两个用于活动支撑平面靶材(4)的支撑件(111),各支撑件(111)分别沿工作台(11)的移动方向间隔分布,相邻的两个支撑件(111)之间的区间形成有校平区间,各支撑件(111)的顶部均设置有支撑部(112),支撑部(112)活动抵顶平面靶材(4)的底面;/n校平测量装置,用于检测平面靶材(4)的平整度,校平测量装置设置在机架(1)的中部,校平测量装置具有一测量杆(32),测量杆(32)活动抵顶于所述平面靶材(4)的上表面;/n手动校平装置,用于对平面靶材(4)与各校平区间相应的各个部分进行手工校平,手动校平装置安装在机架(1)的中上部,手动校平装置具有一可以作升降运动的抵压杆(23),抵压杆(23)位于平面靶材(4)的上方,抵压杆(23)垂直于工作台(11),抵压杆(23)的端部设置有抵压部(231), ...
【技术特征摘要】
1.一种平面靶材校平装置,其特征在于:校平装置包括机架(1)、工作台(11)、校平测量装置和手动校平装置,
工作台(11),用于带动待校平的平面靶材(4)沿其长度方向进行水平移动,与手动校平装置进行校平配合,工作台(11)移动安装在机架(1)的中部,工作台(11)的台面活动设置有至少两个用于活动支撑平面靶材(4)的支撑件(111),各支撑件(111)分别沿工作台(11)的移动方向间隔分布,相邻的两个支撑件(111)之间的区间形成有校平区间,各支撑件(111)的顶部均设置有支撑部(112),支撑部(112)活动抵顶平面靶材(4)的底面;
校平测量装置,用于检测平面靶材(4)的平整度,校平测量装置设置在机架(1)的中部,校平测量装置具有一测量杆(32),测量杆(32)活动抵顶于所述平面靶材(4)的上表面;
手动校平装置,用于对平面靶材(4)与各校平区间相应的各个部分进行手工校平,手动校平装置安装在机架(1)的中上部,手动校平装置具有一可以作升降运动的抵压杆(23),抵压杆(23)位于平面靶材(4)的上方,抵压杆(23)垂直于工作台(11),抵压杆(23)的端部设置有抵压部(231),抵压部(231)活动抵压校平区间上的平面靶材(4)。
2.根据权利要求1所述的一种平面靶材校平装置,其特征在于:所述校平区间的间距设置为30~50cm。
3.根据权利要求2所述的一种平面靶材校平装置,其特征在于:各所述支撑件(111)均设置为垫板,各垫板相互平行设置,相邻的两块垫板之间的间隔形成所述校平区间。
4.根据权利要求3所述的一种平面靶材校平装置,其特征在于:所述支撑部(112)包括一垫片,垫片固接于所述垫板的顶面,垫片的上表面设置为光面,所述垫板通过垫片的上表面活动支撑平面靶材(4)。
5.根据权利要求1至4任一项所述的一种平面靶材校平装置,其特征在于:所述机架(1)的中上部设置有一横架(12),横架(12)设置有至少两根竖直的导...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶峰,
申请(专利权)人:东莞市欧莱溅射靶材有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。