发光分光分析装置制造方法及图纸

在发光分光分析装置中设置：放电室113，通过在内部产生放电来使试样进行激发发光；加压器146，作为收容液体的容器；气体供给源141，填充有被压缩成大气压以上的惰性气体；气体供给用管路142，一端与气体供给源141连接，另一端与放电室113连接；气体排出用管路145，一端与放电室113连接，另一端朝加压器146内的液体中打开；排气管路147，一端在加压器146内配置于比液体的液面更上方，另一端朝所述加压器146的外部打开；压力传感器151，测定气体供给用管路142内的惰性气体的压力；以及警告部件130、132，当由压力传感器151所得的测定值超过事先规定的值时对用户发出警告。由此，用户可立即知道在来自所述加压器的排气的流路产生了堵塞。

Luminescent spectrophotometer

A discharge chamber 113 is arranged in the light-emitting spectroscopic analysis device to excite the sample by generating a discharge inside; a pressurizer 146 is used as a container for receiving liquid; a gas supply source 141 is filled with inert gas compressed to above atmospheric pressure; a gas supply pipe 142 is connected with a gas supply source 141 at one end and a discharge chamber 113 at the other end; a gas discharge pipe One end of the circuit 145 is connected with the discharge chamber 113, the other end is opened to the liquid in the pressurizer 146; the exhaust pipe 147 is arranged in the pressurizer 146 above the liquid level, and the other end is opened to the outside of the pressurizer 146; the pressure sensor 151 measures the pressure of the inert gas in the gas supply pipe 142; and the warning components 130, 132, when the pressure sensor 1 51 a warning is given to the user when the measured value exceeds the predetermined value. Thus, the user can immediately know that the flow path of the exhaust gas from the pressurizer is blocked.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】发光分光分析装置
本专利技术涉及一种通过放电来使固体试样进行激发发光，并对其发光光进行分光测定的发光分光分析装置。
技术介绍
在发光分光分析装置中，通常通过电弧放电或火花放电等来对作为金属或非金属的固体试样赋予能量，由此使所述试样进行蒸发气化及激发发光，将其发光光导入至分光器中后取出具有各元素所特有的波长的光谱线来进行检测(例如，参照专利文献1)。尤其，将火花放电用于激发源的发光分光分析装置可进行精度高的分析，因此例如在钢铁材料或非铁金属材料等的生产工厂中，广泛地用于进行所生产的金属体中的组成分析。将习知一般的发光分光分析装置的构成示于图3中。所述发光分光分析装置包括：激发部210，使固体试样S进行激发发光；分光部220，使来自所述试样S的发光光进行波长分散来进行检测；以及控制与处理部230，进行各部的控制及数据处理。激发部210具备：放电产生部211、电极棒212、放电室213、试样载置板214及聚光透镜215。在放电室213设置有朝斜上方敞开的分析开口及用以自放电室213中取出光的导光孔213a，试样载置板214以覆盖所述分析开口的方式装卸自如地安装于放电室213的上部。试样载置板214具有比试样S小的中央开口214a，将试样S以覆盖试样载置板214的中央开口214a的方式载置于试样载置板214，由此试样S的下表面(被分析面)的一部分露出至放电室213的内部。用于放电的电极棒212以使其前端朝向所述中央开口214a的状态配设于放电室213的内部。放电产生部211将脉冲状的高电压与规定频率(例如400Hz)同步地施加至电极棒212。铁或非铁金属等试样S通过来自电极棒212的火花放电而进行激发发光。由试样S的激发发光所产生的发光光穿过设置于放电室213的导光孔213a，由聚光透镜215聚光后经由入口狭缝221而被导入至分光部220。分光部220如专利文献1等中所公开那样，为了获得多个元素各自所特有的波长的光谱线，而具有用以使来自试样S的光进行波长分散的衍射光栅222，配置于各波长的光谱线到达的位置上的出口狭缝223a、出口狭缝223b、出口狭缝223c，以及配置于各出口狭缝223a、223b、223c的后方的多个光检测器(通常为光电倍增管)224a、224b、224c。自所述激发部210经由入口狭缝221而射入至分光部220的光通过所述衍射光栅222而进行波长分散，其波长分散光中的穿过各出口狭缝223a、223b、223c的规定的波长范围的光由各光检测器224a、224b、224c来进行检测。通过试样的测定所获得的源自各光检测器224a、224b、224c的检测信号经由模拟/数字(Analog/Digital，A/D)转换部225而被输入至控制与处理部230，通过进行规定的数据处理来求出具有某一含量的某一元素的光谱线的强度，并根据其执行对于各元素的定量分析等。在如所述那样的发光分光分析装置中，以抑制放电室213内的气体成分对于分析结果的影响、或使放电稳定来提高分析精度、不使具有真空紫外区域的波长的光衰减而导入至分光器(分光部220)、以及防止由因放电而蒸发的源自试样的微粒子停留于放电室213内所引起的分析精度的恶化等为目的，在试样的测定时，将高纯度氩气导入至放电室213。因此，在放电室213连接有用以自储气罐等气体供给源241朝放电室213供给氩气的气体供给用管路242、及用以自放电室213中排出气体的气体排出用管路245。在气体供给用管路242上设置有开关阀243与流量调节阀244，通过控制与处理部230或用户驱动这些阀来执行朝放电室213的氩气导入。进而，为了防止由来自周围的空气的流入所引起的氩气纯度的下降，放电室213内必须维持成比大气压高的压力。因此，气体排出用管路245的末端并非朝大气打开，而被导入至被称为加压器246的容器，朝所述加压器246所收容的水或油等液体246a中打开。此时，自气体排出用管路245的末端导入至加压器246内的气体经由设置于加压器246的排气管路247而排出至外部。再者，所述排气管路247的一端配置于比加压器246内的液面更上方，另一端在加压器246的外部朝大气打开。在放电室213内蒸发的源自试样的微粒子中的一部分由所述加压器246内的液体246a捕捉，但大部分穿过加压器246。因此，为了防止所述微粒子被放出至室内，通常经由排气设备而将来自加压器246的排气放出至室外，或如图3所示，穿过设置于排气管路247上的过滤器248而放出至室内。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2001-83096号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题当如所述那样使用过滤器248时，必须定期地更换过滤器。假设在不进行更换而继续使用的情况下，存在因过滤器248的堵塞而导致来自加压器246的排气流量下降，最终完全不流动之虞。另外，即便在不使用过滤器，经由排气设备而朝室外放出排气的情况下，例如也存在因已蒸发的试样的微粒子堆积于排气设备的流路内、或在寒冷地区用以朝室外放出排气的管路的末端结冰，而导致来自加压器246的排气不流动的可能性。若因此种流路的堵塞而导致来自加压器246的排气积压，则在试样的测定时自气体供给源241至加压器246的气体流路内(即气体供给用管路242、放电室213、气体排出用管路245及加压器246的内部空间)的压力增大，在测定结束后在自试样载置板214移除试样S的瞬间，有可能产生加压器246内的液体246a倒流至放电室213而污染放电室213内等不良情况。本专利技术是鉴于此点而成者，其目的在于提供一种不会产生如所述那样的由自加压器起的排气流路的堵塞所引起的不良情况的发光分光分析装置。解决问题的技术手段为了解决所述问题而形成的第1专利技术的发光分光分析装置的特征在于包括：a)放电室，通过在内部产生放电来使试样进行激发发光；b)加压器，作为收容液体的容器；c)气体供给源，填充有被压缩成大气压以上的惰性气体；d)气体供给用管路，一端与所述气体供给源连接，另一端与所述放电室连接；e)气体排出用管路，一端与所述放电室连接，另一端朝所述加压器内的所述液体中打开；f)排气管路，一端在所述加压器内配置于比所述液体的液面更上方，另一端朝所述加压器的外部打开；g)压力传感器，测定所述气体供给用管路、所述放电室、所述气体排出用管路或所述加压器的任一个的内部空间内的所述惰性气体的压力；以及h)警告部件，当由所述压力传感器所得的测定值超过事先规定的值时对用户发出警告。在如所述那样的具备自气体供给源经由气体供给用管路而朝放电室内供给惰性气体，进而自放电室经由气体排出用管路、加压器及排气管路而将所述惰性气体朝外部排出的功能的发光分光分析装置中，若在来自加压器的排气的流路上产生堵塞，则自所述气体供给源经由放电室而到达加压器的惰性气体的流路内的压力异常地上升。因此，在所述第1专利技术中，利用压力传感器对所述惰性气体的流路，即气体供给用管路、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种发光分光分析装置，其特征在于，包括：/na)放电室，通过在内部产生放电来使试样进行激发发光；/nb)加压器，作为收容液体的容器；/nc)气体供给源，填充有被压缩成大气压以上的惰性气体；/nd)气体供给用管路，一端与所述气体供给源连接，另一端与所述放电室连接；/ne)气体排出用管路，一端与所述放电室连接，另一端朝所述加压器内的所述液体中打开；/nf)排气管路，一端在所述加压器内配置于比所述液体的液面更上方，另一端朝所述加压器的外部打开；/ng)压力传感器，测定所述气体供给用管路、所述放电室、所述气体排出用管路或所述加压器的任一个的内部空间内的所述惰性气体的压力；以及/nh)警告部件，当由所述压力传感器所得的测定值超过事先规定的值时对用户发出警告。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种发光分光分析装置，其特征在于，包括：
a)放电室，通过在内部产生放电来使试样进行激发发光；
b)加压器，作为收容液体的容器；
c)气体供给源，填充有被压缩成大气压以上的惰性气体；
d)气体供给用管路，一端与所述气体供给源连接，另一端与所述放电室连接；
e)气体排出用管路，一端与所述放电室连接，另一端朝所述加压器内的所述液体中打开；
f)排气管路，一端在所述加压器内配置于比所述液体的液面更上方，另一端朝所述加压器的外部打开；
g)压力传感器，测定所述气体供给用管路、所述放电室、所述气体排出用管路或所述加压器的任一个的内部空间内的所述惰性气体的压力；以及
h)警告部件，当由所述压力传感器所得的测定值超过事先规定的值时对用户发出警告。


2.一种发光分光分析装置，其特征在于，包括：
a)放电室，通过在内部产生放电来使试样进行激发发光；
b)加压器，作为收容液体的容器；
c)气体供给源，填充有被压缩成大气压以上的惰性气体；
d)气体供给用管路，一端与所述气体供给源连接，另一端朝所述放电室内打开；
e)气体排出用管路，一端朝所述放电室内打开，另一端朝所述加压器内的所述液体中打开；
f)排气管路，一端在所述加压器内配置于比所述液体的液面更上方，另一端朝所述加压器的外部打开；
g)流量传感器，测定所述气体供给用管路、所述气体排出用管路或所述排气管路中的所述惰...

【专利技术属性】
技术研发人员：菅濑晶，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP