用于密闭箱室内的真空装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于密闭箱室内的真空装置，包括真空室和真空泵，真空室与真空泵之间依次连接波纹管、弯头管道和高真空管道，五者之间均设有金属密封结构；真空室安装在支架平台上；真空室前门通过前门运动机构安装于真空室上，前门运动机构与桁架固定连接，进而安装在支架平台上；真空室设有真空室底门法兰，真空室底门安装在底门升降机构上；真空室前门和真空室底门与真空室之间均设有密封圈密封结构。本发明专利技术除运动机构的门密封之外，所有的密封连接采用金属密封，保证连接可靠和真空密封；运动机构的门由电机驱动，通过动力机械手实现电机的远程检维修；密封圈保持架法兰设计有动力机械手接口，方便机械手远程操作。

Vacuum device for airtight chamber

The invention discloses a vacuum device for a sealed box chamber, which comprises a vacuum chamber and a vacuum pump. The bellows, an elbow pipe and a high vacuum pipe are successively connected between the vacuum chamber and the vacuum pump, and the metal sealing structure is arranged between them; the vacuum chamber is installed on a bracket platform; the front door of the vacuum chamber is installed on the vacuum chamber through the front door moving mechanism, and the front door moving mechanism is fixed with the truss The vacuum chamber is equipped with a flange of the bottom door of the vacuum chamber, and the bottom door of the vacuum chamber is installed on the lifting mechanism of the bottom door; the front door of the vacuum chamber, the bottom door of the vacuum chamber and the vacuum chamber are equipped with a sealing ring sealing structure. In addition to the door seal of the moving mechanism, all the sealing connections adopt the metal seal to ensure the reliable connection and the vacuum seal; the door of the moving mechanism is driven by the motor, and the remote inspection and maintenance of the motor is realized by the power manipulator; the flange of the seal ring cage is designed with the power manipulator interface, which is convenient for the remote operation of the manipulator.

【技术实现步骤摘要】
用于密闭箱室内的真空装置
本专利技术涉及真空装置领域，具体是一种用于密闭箱室内的真空装置。
技术介绍
在医疗、核工业等有洁净要求和需要强辐射防护的应用领域中，实验设备往往安装在由一定密封要求的大型箱室内，箱室内由于有较强的辐射剂量和超洁净要求，人员不宜进入箱室内进行直接操作设备，而且在辐照条件下许多元器件的性能与常态时不一样，对装置本身性能及检维修性提出了更高的要求。真空类设备与其他设备不同，真空性能指标是设备核心参数，影响因素较多，对密封性要求很高。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述的技术问题，而提供一种用于密闭箱室内的真空装置。本专利技术是按照以下技术方案实现的：一种用于密闭箱室内的真空装置，包括安装于密闭箱室内的真空室以及安装于密闭箱室外的真空泵，真空室与真空泵之间依次连接波纹管、弯头管道和高真空管道；所述真空室和波纹管、波纹管和弯头管道、弯头管道和高真空管道之间均设有金属密封结构；所述真空室安装在支架平台上；真空室前门通过前门运动机构安装于真空室上，前门运动机构与桁架固定连接，进而安装在支架平台上；所述真空室设有真空室底门法兰，真空室底门安装在底门升降机构上；所述真空室前门和真空室底门与真空室之间均设有密封圈密封结构。进一步的，所述金属密封结构包括第一法兰、第二法兰、定位组件、金属密封圈和连接件；所述第一法兰密封侧四个角设均有安装孔，安装孔底部形成螺纹孔；所述定位组件包括螺栓、第二弹簧和定位销；定位销通过螺栓安装在第一法兰安装孔底部的螺纹孔内；所述定位销与第一法兰安装孔孔壁之间设有第二弹簧；所述金属密封圈弯曲为方形，套在第一法兰四角安装的定位组件中的定位销上；所述第一法兰和第二法兰通过连接件紧固。进一步的，所述定位销为内部中空结构，螺栓位于定位销内，定位销一端内径形成缩径，螺栓的螺帽卡在定位销的内径缩径处；所述定位销与内径缩径同端的外径形成缩径，第二弹簧套在定位销的外径缩径部。进一步的，所述密封圈密封结构包括真空室法兰、保持架法兰、门法兰、夹取块、挂件组件、密封圈；所述真空室法兰上端设有用于安装挂件组件的安装定位槽；所述保持架法兰上部设有一个以上的安装孔，与安装孔数量对应的挂件组件固定于安装孔内，所述挂件组件包括销柱、垫片和螺钉；所述保持架法兰顶部正中安装有夹取块；所述保持架法兰两侧均设有密封槽，密封圈置于密封槽内。进一步的，所述前门运动机构包括门架、动力机构和活动连接机构；所述门架通过活动连接机构连接真空室前门；所述活动连接机构包括安装在门架上的加力块，加力块通过加力轴和第一弹簧与挡块连接；所述挡块上安装有第三滑块，第三滑块在第三导轨上滑动，第三导轨安装在门架上；所述挡块还与连杆连接；所述连杆两端分别通过摆臂与真空室前门连接，连杆、摆臂、真空室前门之间的连接形式为铰链连接，形成四连杆结构；所述门架上设计有螺纹孔，顶丝与螺纹孔配合安装，实现真空室前门的手动预紧；所述真空室前门底部安装有支撑滚轮，滚轮支撑在轨道上运动；所述轨道为L形截面轨道，其侧面有缺口，以便于支撑滚轮能通过缺口进行前后运动；真空室法兰侧面安装有真空室前门的限位滚轮。进一步的，所述动力机构包括电机，以及位于真空室前门上方的第一丝杆和第一导轨、位于真空室前门下方的第二丝杆和第二导轨；所述第一丝杆和第二丝杆上分别嵌套与之相配合的第一螺母和第二螺母，第一丝杆和第二丝杆的末端均通过丝杆支撑结构分别安装在桁架和支架平台上；所述第一导轨和第二导轨分别安装有第一滑块、第二滑块，门架的上端与第一滑块和第一螺母连接，门架的下端与第二滑块和第二螺母连接。进一步的，所述电机通过减速机和联轴器与第一换向器连接，第一换向器与第一丝杆连接；第一换向器通过连轴与第二换向器连接，第二换向器与第二丝杆连接。进一步的，所述第一换向器与第一丝杆之间、第一换向器与连轴之间设有柔性联轴器，所述柔性联轴器为波纹管联轴器。进一步的，所述门架在第一滑块、第二滑块的约束下，沿第一导轨和第二导轨平移运动，门架平移运行到位碰触限位开关，限位开关输出信号使电机停止运行。进一步的，所述前门运动机构和底门升降机构采用电机-减速机-丝杠驱动方式，电机设计有动力机械手接口。本专利技术具有的优点和有益效果是：1.本专利技术除运动机构的门密封之外，所有的密封连接采用金属密封，保证连接可靠和真空密封；2.本专利技术运动机构的门由电机驱动，能够通过动力机械手实现电机的远程检维修；3.本专利技术密封圈保持架法兰设计有动力机械手接口，方便机械手远程操作；4.本专利技术按照辐射设计指标选取元器件，保证装置的耐辐射性能。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术前门运动机构的主视图；图3为本专利技术前门运动机构的俯视图；图4为本专利技术前门运动机构的侧视图；图5为本专利技术缓冲组件局部图；图6为本专利技术缓冲组件中第三导轨和第三滑块的结构示意图；图7为本专利技术密封圈压紧后的金属密封结构示意图；图8为本专利技术密封圈压紧前的金属密封结构示意图（局部）图9为本专利技术真空密封圈保持架安装及密封示意图；图10为专利技术真空室法兰的主视图；图11为专利技术真空室法兰的侧视图图12为专利技术真空密封圈保持架主视图；图13为专利技术真空密封圈保持架侧视图；图14为本专利技术真空密封圈保持架局部结构示意图。其中，1.真空室；2.前门运动机构；2-1.电机；2-2.减速机；2-3.联轴器；2-4.第一换向器；2-5.第一丝杆；2-6.第一螺母；2-7.第一滑块；2-8.第一导轨；2-9.连轴；2-10.第二换向器；2-11.第二丝杆；2-12.第二螺母；2-13.第二滑块；2-14.第二导轨；2-15.丝杆支撑结构；2-16.门架；2-17.加力块；2-18.加力轴；2-19.挡块；2-20.第一弹簧；2-21.第三导轨；2-22.第三滑块；2-23.连杆；2-24.摆臂；2-26.支撑滚轮；2-27.轨道；2-29.限位滚轮；2-31.限位开关；2-32.顶丝；3.真空室前门；5.波纹管；6.弯头管道；7.高真空管道；8.真空泵；9.电极法兰；10.桁架；11.水管；12.底门升降机构；13.密闭箱室；14.支架平台；15.水贯穿件；16.电贯穿件；17.真空室底门；18.第一法兰；19.第二法兰；20.定位组件；20-1.螺栓；20-2.第二弹簧；20-3.定位销；21.金属密封圈；22.连接件；23.真空室法兰；24.保持架法兰；25.门法兰；26.安装定位槽；27.夹取块；28.安装孔；29.挂件组件；30.垫片；31.螺钉；32.销柱；33.密封槽；34.密封圈。具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术进行详细的说明。如图1-14所示，一种用于密闭箱室内的真空装置，包括安装于密闭箱室13内的真空室1以及安装于密闭箱室13外的真空泵8，真空室1与真空泵8之间依次连接波纹管5、弯头管道6和高真空管道7，起到抽真空的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，包括安装于密闭箱室（13）内的真空室（1）以及安装于密闭箱室（13）外的真空泵（8），真空室（1）与真空泵（8）之间依次连接波纹管（5）、弯头管道（6）和高真空管道（7）；所述真空室（1）和波纹管（5）、波纹管（5）和弯头管道（6）、弯头管道（6）和高真空管道（7）之间均设有金属密封结构；/n所述真空室（1）安装在支架平台（14）上；真空室前门（3）通过前门运动机构（2）安装于真空室（1）上，前门运动机构（2）与桁架（10）固定连接，进而安装在支架平台（14）上；所述真空室（1）设有真空室底门法兰，真空室底门（17）安装在底门升降机构（12）上；所述真空室前门（3）和真空室底门（17）与真空室（1）之间均设有密封圈密封结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，包括安装于密闭箱室（13）内的真空室（1）以及安装于密闭箱室（13）外的真空泵（8），真空室（1）与真空泵（8）之间依次连接波纹管（5）、弯头管道（6）和高真空管道（7）；所述真空室（1）和波纹管（5）、波纹管（5）和弯头管道（6）、弯头管道（6）和高真空管道（7）之间均设有金属密封结构；
所述真空室（1）安装在支架平台（14）上；真空室前门（3）通过前门运动机构（2）安装于真空室（1）上，前门运动机构（2）与桁架（10）固定连接，进而安装在支架平台（14）上；所述真空室（1）设有真空室底门法兰，真空室底门（17）安装在底门升降机构（12）上；所述真空室前门（3）和真空室底门（17）与真空室（1）之间均设有密封圈密封结构。


2.根据权利要求1所述的一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，所述金属密封结构包括第一法兰（18）、第二法兰（19）、定位组件（20）、金属密封圈（21）和连接件（22）；所述第一法兰（18）密封侧四个角设均有安装孔，安装孔底部形成螺纹孔；所述定位组件（20）包括螺栓（20-1）、第二弹簧（20-2）和定位销（20-3）；定位销（20-3）通过螺栓（20-1）安装在第一法兰安装孔底部的螺纹孔内；所述定位销（20-3）与第一法兰安装孔孔壁之间设有第二弹簧（20-2）；所述金属密封圈（21）弯曲为方形，套在第一法兰（18）四角安装的定位组件（20）中的定位销（20-3）上；所述第一法兰（18）和第二法兰（19）通过连接件（22）紧固。


3.根据权利要求2所述的一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，所述定位销（20-3）为内部中空结构，螺栓（20-1）位于定位销（20-3）内，定位销（20-3）一端内径形成缩径，螺栓（20-1）的螺帽卡在定位销（20-3）的内径缩径处；所述定位销（20-3）与内径缩径同端的外径形成缩径，第二弹簧（20-2）套在定位销（20-3）的外径缩径部。


4.根据权利要求1所述的一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，所述密封圈密封结构包括真空室法兰（23）、保持架法兰（24）、门法兰（25）、夹取块（27）、挂件组件（29）、密封圈（34）；所述真空室法兰（23）上端设有用于安装挂件组件（29）的安装定位槽（26）；所述保持架法兰（24）上部设有一个以上的安装孔（28），与安装孔（28）数量对应的挂件组件（29）固定于安装孔（28）内，所述挂件组件（29）包括销柱（32）、垫片（30）和螺钉（31）；所述保持架法兰（24）顶部正中安装有夹取块（27）；所述保持架法兰（24）两侧均设有密封槽（33），密封圈（34）置于密封槽（33）内。


5.根据权利要求1所述的一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，所述前门运动机构（2）包括门架（2-16）、动力机构和活动连接机构；所述门架（2-16）通过活动连接机构连接真空室前门（3）；所述活动连接机构包括安装在门架（2-16）上的加力块（2-...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志平，张黎源，许忠政，姜正鹤，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：发明
国别省市：天津;12