The utility model discloses a metalworking tool for nano vacuum coating, which comprises a working box, a metalworking tool kettle is arranged inside the working box, an installation frame is fixedly connected on the outside of the metalworking tool kettle, two rows of microwave heaters and a single microwave heater are respectively installed on both sides of the installation frame, an extension tube is arranged on the outside of the metalworking tool kettle, the metalworking tool kettle is installed with an external tube through the extension tube, the The top of the external pipe is equipped with an adding pipe, the bottom of the smelting tool buss is equipped with a reinforcing bottom layer, the middle of the reinforcing bottom layer is equipped with a lower discharge port, the bottom of the reinforcing bottom layer is equipped with a storage cavity, the bottom of the storage cavity is equipped with a discharge pipe, and the outer side of the discharge pipe is equipped with a switch valve. The utility model relates to the technical field of nano processing tools. The tool for nano vacuum coating can melt, process and mix nano vacuum coating materials, facilitate the uniformity of materials used in the later processing of nano vacuum coating, improve the use effect and the quality of products processed.
【技术实现步骤摘要】
一种纳米真空镀膜用冶具
本技术涉及纳米加工用具
,具体为一种纳米真空镀膜用冶具。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜,传统的蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素有许多,譬如基片材料与靶材的晶格匹配程度、基片表面温度、蒸发功率与速率、真空度等,目前在纳米真空镀膜加工前需要对物料进行融化冶炼,但是目前的冶具加工效率低,混合均匀性差。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种纳米真空镀膜用冶具,解决了目前的冶具加工效率低,混合均匀性差的问题。(二)技术方案为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种纳米真空镀膜用冶具,包括工作箱,所述工作箱内部设置有冶具釜,所述冶具釜外侧固定连接有安装架,所述安装架两侧分别安装有双排微波加热器和单微波加热器,所述冶具釜外侧设置有延伸管,所述冶具釜通过延伸管安装有外置管,所述外置管顶部安装有添加管,所述冶具釜底部设置有加固底层,所述加固底层中部开设有下排口,所述加固底层底部安装有存放腔,所述存放腔底 ...
【技术保护点】
1.一种纳米真空镀膜用冶具,包括工作箱(1),其特征在于:所述工作箱(1)内部设置有冶具釜(2),所述冶具釜(2)外侧固定连接有安装架(3),所述安装架(3)两侧分别安装有双排微波加热器(4)和单微波加热器(5),所述冶具釜(2)外侧设置有延伸管,所述冶具釜(2)通过延伸管安装有外置管(6),所述外置管(6)顶部安装有添加管(7),所述冶具釜(2)底部设置有加固底层(12),所述加固底层(12)中部开设有下排口,所述加固底层(12)底部安装有存放腔(13),所述存放腔(13)底部安装有出料管(14)。/n
【技术特征摘要】
1.一种纳米真空镀膜用冶具,包括工作箱(1),其特征在于:所述工作箱(1)内部设置有冶具釜(2),所述冶具釜(2)外侧固定连接有安装架(3),所述安装架(3)两侧分别安装有双排微波加热器(4)和单微波加热器(5),所述冶具釜(2)外侧设置有延伸管,所述冶具釜(2)通过延伸管安装有外置管(6),所述外置管(6)顶部安装有添加管(7),所述冶具釜(2)底部设置有加固底层(12),所述加固底层(12)中部开设有下排口,所述加固底层(12)底部安装有存放腔(13),所述存放腔(13)底部安装有出料管(14)。
2.根据权利要求1所述的一种纳米真空镀膜用冶具,其特征在于:所述出料管(14)外侧设置有开关阀。
3.根据权利要求1所述的一种纳米真空镀膜用冶具,其特征在于:所述工作箱(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员:江成龙,
申请(专利权)人:玛奇纳米科技苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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