The invention discloses an enhanced graphene near-infrared wide band light absorption structure and a preparation method thereof. The light absorption structure comprises: a metal substrate, a medium layer, a metal micro nano array and graphene arranged in turn from bottom to top. According to the invention, by placing a metal micro nano array on the top of the metal substrate, a strong interaction between the electric fields of the two metals results in a local plasmon resonance coupling, and the graphene is combined with this structure, so that the local field on the surface of the graphene is enhanced, thereby enhancing the light absorption rate of the graphene; by adjusting the duty cycle of the metal micro nano array It can enhance the light absorption of graphene.
【技术实现步骤摘要】
一种增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构及其制备方法
本专利技术涉及光电
，特别涉及一种增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构及其制备方法。
技术介绍
光探测器作为一种重要的信息感知器件，极大的推动了人类科技发展和信息化进程。广谱探测与成像在卫星遥感、成像及光通信等领域有广阔的应用前景，近红外宽光谱探测器作为其关键部分有十分重要的研究价值。目前，传统的基于碲化汞镉(HgCdTe)、砷铟镓(InGaAs)等材料的红外探测器，为了提高信噪比，通常需要制冷，导致探测器的体积大、成本高。实现便携、低成本的红外探测是重要的发展趋势。石墨烯以其独特的机械、电学、光学方面的显著优势，成为目前光探测器领域的研究热点。与传统的半导体材料相比，石墨烯具有零带隙结构，其作为一种广谱探测器，可以实现从紫外波段到太赫兹波段的全谱检测，从而在广谱探测方面优势显著；此外，石墨烯还具有超高的载流子迁移率，且其表面无悬挂键，可以直接与硅基基底通过范德瓦尔斯外延形成异质结，而不用担心传统异质结的晶格失配问题。然而，虽然石墨烯有较强的光与物质相互作用，但...
【技术保护点】
1.一种增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构，其特征在于，包括从下往上依次层叠设置的金属基底(4)、介质层(3)、金属微纳阵列(2)及石墨烯(1)。/n
【技术特征摘要】
1.一种增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构，其特征在于，包括从下往上依次层叠设置的金属基底(4)、介质层(3)、金属微纳阵列(2)及石墨烯(1)。
2.如权利要求1所述的增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构，其特征在于，所述金属基底(4)由银金属制成。
3.如权利要求1所述的增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构，其特征在于，所述金属基底(4)的厚度为100nm。
4.如权利要求1所述的增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构，其特征在于，所述介质层(3)为三氧化二铝。
5.如权利要求1所述的增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构，其特征在于，所述介质层(3)的厚度为55nm。
6.如权利要求1所述的增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构，其特征在于，所述金属微纳阵列(2)由银金属制成。
7.一种如权利要求1所述增强型石墨烯近红外宽波段光吸收结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)提供金属基底(4)；
2)在金属基底(4)上沉积介质层(3)；
3)在介质层(3)上制备金属微纳阵列(2)；
4)将石墨烯(1)转移至金属微纳阵列(...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘永，杜明，
申请(专利权)人：苏州众为光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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