一种防止晶舟位置偏移的定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种防止晶舟位置偏移的定位装置，在定位板上安装第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块，通过第一棱角定位块和第二棱角定位块对晶舟的前端的两个棱角进行定位，再使用固定扣固定晶舟棱角处的凸起与第一棱角定位块上，使得晶舟无法向上翘起；并且使用固定件对晶舟另一棱角处的槽孔进行固定，使得晶舟无法左右移动。而为晶舟后端的两个背板上安装有第一U型复位块和第二U型复位块，当晶舟被机械手臂放入晶圆发生前后移动时，通过第一U型复位块和第二U型复位块内的复位弹簧，使得晶舟回位保持在原先的位置，避免机械手臂下次再放入晶圆时，由于晶舟的偏移导致晶圆破损，提高晶舟的工作效率。

A positioning device for preventing the position deviation of crystal boat

The utility model provides a positioning device to prevent the position deviation of the crystal boat. The positioning plate is equipped with a first angular positioning block, a second angular positioning block, a first U-shaped reset block and a second U-shaped reset block. The two edges and corners of the front end of the crystal boat are positioned by the first angular positioning block and the second angular positioning block, and then the convex at the edge and the first angular angle of the crystal boat are fixed by the fixed buckle On the block, the crystal boat can not be upwardly raised; and a fixing piece is used to fix the slot hole at the other edge of the crystal boat, so that the crystal boat can not move left and right. The first U-shaped reset block and the second U-shaped reset block are installed on the two backboards at the back end of the crystal boat. When the crystal boat is put into the wafer by the mechanical arm and moves back and forth, the return spring in the first U-shaped reset block and the second U-shaped reset block keeps the crystal boat in its original position to avoid the wafer damage caused by the offset of the crystal boat when the mechanical arm is put into the wafer next time, Improve the working efficiency of crystal boat.

【技术实现步骤摘要】
一种防止晶舟位置偏移的定位装置
本技术涉及晶舟装置领域，尤其涉及一种防止晶舟位置偏移的定位装置。
技术介绍
型号为HitachiCDSem机台在半导体行业中用于纳米尺度的测量。该机台配备有晶圆自动装卸系统，而该系统通过控制机械手臂的移动来实现晶圆在量测单元和晶舟之间的传送。晶圆自动装卸系统配备OF(OrientationFlat：定向平面)寻边装置，该装置可以寻找晶圆的边缘标记，使晶圆以相同的角度进入量测单元。当OF寻边装置在寻找晶圆边缘标记，且因为晶圆的位置不佳而寻边失败时，会导致晶圆在机械手臂上的位置发生偏移。因此，机械手臂会将该寻边失败的晶圆传送回晶舟，加之因为晶圆位置的偏移而造成晶舟位置的移动，从而造成晶圆的划伤甚至破裂，使得生产成本增加，且工作效率较低。
技术实现思路
为此，需要提供一种防止晶舟位置偏移的定位装置，解决现有晶舟定位装置容易发生偏移，使得晶圆破损的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种防止晶舟位置偏移的定位装置，包括定位板、第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块；所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：包括定位板、第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块；/n所述第一棱角定位块设置在定位板上，所述第二棱角定位块的内拐角朝向第一棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第一U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第二U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，且第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面位于同一个垂直面设置；/n所述第一棱角定位块设置有固定扣，且所述固定扣位于第一棱角定位块朝向第二棱角定位块的端面上，所述第二棱角定位块设...

【技术特征摘要】
1.一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：包括定位板、第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块；
所述第一棱角定位块设置在定位板上，所述第二棱角定位块的内拐角朝向第一棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第一U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第二U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，且第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面位于同一个垂直面设置；
所述第一棱角定位块设置有固定扣，且所述固定扣位于第一棱角定位块朝向第二棱角定位块的端面上，所述第二棱角定位块设置有固定件，且所述固定件位于第二棱角定位块朝向第一U型复位块和/或第二U型复位块的端面上，所述第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面上都设置有复位弹簧。


2.根据权利要求1所述的一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：所述固定扣包括卡扣和固定块，所述固定块设置有凹槽，固定块设置在第一棱角定位块朝向第二棱角定位块的端面上，卡扣设置在第一棱角定位块或第二棱角定位块的顶面上，所述卡扣用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：林金炜，许哲维，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35