一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域，具体涉及一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，包括有基座、设置在基座上的模具固定架以及设置在基座上方的热丝，热丝分为沿水平横向排布的第一热丝、沿水平纵向排布的第二热丝以及沿竖向排布的第三热丝，第一热丝能够穿过模具的内孔，模具固定架上设置有能够容置模具的V形槽或楔形槽；本实用新型专利技术通过水平横向排布的第一热丝、水平纵向排布的第二热丝以及纵向排布的第三热丝而形成一个稳定的加热区域，其中第一热丝能够穿过模具的内孔，这样的方式能够避免内孔两端的温度衰减，提升纳米金刚石涂层的质量，保证内孔纳米金刚石涂层的圆度均匀，提高成品率。

A hot wire CVD chemical vapor deposition device for nano diamond coating

The utility model relates to the technical field of chemical vapor deposition coating equipment, in particular to a hot wire CVD chemical vapor deposition nano diamond coating device, which comprises a base, a mold fixing frame arranged on the base and a hot wire arranged above the base. The hot wire is divided into a first hot wire arranged horizontally, a second hot wire arranged horizontally and longitudinally and a second hot wire arranged vertically Three hot wires, the first hot wire can pass through the inner hole of the mould, and the mould fixing frame is provided with a V-shaped groove or a wedge-shaped groove capable of holding the mould; the utility model forms a stable heating area through the first hot wire horizontally arranged, the second hot wire horizontally arranged and the third hot wire longitudinally arranged, wherein the first hot wire can pass through the inner hole of the mould, in this way It can avoid the temperature decay at both ends of the inner hole, improve the quality of the nano diamond coating, ensure the uniformity of the roundness of the inner hole nano diamond coating, and improve the yield.

【技术实现步骤摘要】
一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置
本技术涉及化学气相沉积镀膜设备
，具体涉及一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置。
技术介绍
化学气相沉积金刚石薄膜具有许多接近天然金刚石的优异性能，如硬度高、弹性模量大，摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等，CVD金刚石薄膜的制备不受基体形状的制约，能够直接沉积在复杂形状基体的表面，因此，它非常适合作为耐磨、减摩以及保护性涂层材料应用于具有复杂形状的硬质合金整体式模具表面，达到提高模具耐磨性、延长刀具使用寿命等目的；CVD金刚石薄膜可被分为微米金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜；现有的热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置大多是手工安装热丝，并且热丝仅仅穿过拉丝模具内孔中心，其在受热时热丝容易软化歪斜，使得拉丝模具内孔受热不均匀，而且内孔两端的温度衰减较快，降低内孔边缘的纳米金刚石涂层质量，导致纳米金刚石涂层厚度不均，使得拉丝模具的内孔圆度不足，成品率较低。
技术实现思路
本技术为解决上述问题所采用的技术方案是提供一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，包括有基座、设置在基座上的模具固定架以及设置在基座上方的热丝，所述热丝分为沿水平横向排布的第一热丝、沿水平纵向排布的第二热丝以及沿竖向排布的第三热丝，所述第一热丝能够穿过模具的内孔，所述模具固定架上设置有能够容置模具的V形槽或楔形槽。作为上述方案的进一步改进，还包括有分设在模具固定左右侧、前后侧以及上下侧的热丝固定架，热丝的两端分别固定在热丝固定架上。作为上述方案的进一步改进，所述热丝固定架包括有弹簧定位架以及压片定位架。作为上述方案的进一步改进，所述压片定位架包括有支杆，支杆上套设有第一压片和第二压片，支杆上还螺纹连接有锁紧螺母，所述锁紧螺母分别位于第一压片及第二压片的上下表面。作为上述方案的进一步改进，还包括有定位环，所述定位环上开设有能够容热丝卡入的限位槽。作为上述方案的进一步改进，所述第三热丝能够穿过模具固定架。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过水平横向排布的第一热丝、水平纵向排布的第二热丝以及纵向排布的第三热丝而形成一个稳定的加热区域，其中第一热丝能够穿过模具的内孔，这样的方式能够避免内孔两端的温度衰减，提升纳米金刚石涂层的质量，保证内孔纳米金刚石涂层的圆度均匀，提高成品率；其次，热丝的一端通过弹簧连接，防止热丝受热软化时中部垮塌，导致模具内孔的加热温度不均匀，保证了纳米金刚石涂层的质量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然，所描述的附图只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得的其他设计方案和附图。图1是本技术纳米金刚石涂层装置的较佳实施例的结构正视图；图2是本技术纳米金刚石涂层装置的较佳实施例的结构俯视图；图3是本技术另一个较佳实施例的结构正视图；图4本技术另一个较佳实施例的结构俯视图；图5是图1中A处的放大示意图。具体实施方式以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。如图1与图2所示的一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，其包括有基座1、设置在基座1上的模具固定架2以及设置在基座1上方的热丝，模具固定架2上设置有V型槽或者是楔形槽，其目的在于模具固定架2能够放置模具3，该模具3是具有内孔的环形金属体，热丝能够自内孔穿过，所述热丝分为水平横向排布的第一热丝4、水平纵向排布的第二热丝5以及竖向排布的第三热丝6，第一热丝4穿过模具3的内孔，所述基座1上还设置有热丝固定架，其包括有弹簧定位架7以及压片定位架8，所述热丝固定架分设在模具固定架2的左右侧、前后侧以及上下侧，即，三个热丝固定架围成一个中空结构的框体，模具固定架2容置在框体中，热丝的一端固定在弹簧定位架7上，另一端固定在压片定位架8上，即热丝将模具3包围在中间，使得模具3能够在稳定温度的空间内进行纳米金刚石涂层操作，提升纳米金刚石涂层的质量。作为上述方案的进一步改进，如图3所示，所述第三热丝6能够穿过模具固定架2，具体地，用于固定第三热丝6的热丝定位架，其压片定位架8设置在基座1内，第三热丝6沿竖向自弹簧定位架7朝下穿过模具3定位架之后，固定在压片固定架上，其目的在于通过第三热丝6能够加热模具3定位架，使得模具3贴近模具3定位架的下端能够保持稳定的温度，提升纳米金刚石涂层的质量。作为上述方案的进一步改进，如图4所示，所述基座1上还设置有定位环13，热丝绕制在定位环13上，起到拉紧的作用，该定位环13上设置能够容热丝卡入的限位槽14，热丝卡入限位槽14内，固定后不会再定位环13上左右移动，定位更加稳固。作为上述方案的进一步改进，如图5所示，所述压片定位架8包括有支杆9，支杆9上套设有第一压片10以及第二压片11，支杆9上还螺纹连接有锁紧螺母12，所述锁紧螺母12分别文娱第一压片10及第二压片11的上下表面，第一压片10与第二压片11的相对表面还可以设置有容热丝卡入的卡槽，热丝的末端通过第一压片10和第二压片11固定，利用锁紧螺母12将第一压片10和第二压片11压紧，防止热丝移位。需要说明的是，所述弹簧定位架7可以采用市面上常用的框型架子，弹簧15的一端固定在弹簧固定架上，另一端连接热丝，常态下弹簧15受热丝拉伸作用，其在使用时弹簧15对热丝保持拉紧状态，保证热丝在加热软化时，其中部不会垮塌，保证纳米金刚石涂层的质量。以上，只是本技术的较佳实施例而已，本技术并不局限于上述实施方式，只要其以相同的手段达到本技术的技术效果，都应属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，包括有基座(1)、设置在基座(1)上的模具固定架(2)以及设置在基座(1)上方的热丝，其特征在于，所述热丝分为沿水平横向排布的第一热丝(4)、沿水平纵向排布的第二热丝(5)以及沿竖向排布的第三热丝(6)，所述第一热丝(4)能够穿过模具(3)的内孔，所述模具固定架(2)上设置有能够容置模具(3)的V形槽或楔形槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，包括有基座(1)、设置在基座(1)上的模具固定架(2)以及设置在基座(1)上方的热丝，其特征在于，所述热丝分为沿水平横向排布的第一热丝(4)、沿水平纵向排布的第二热丝(5)以及沿竖向排布的第三热丝(6)，所述第一热丝(4)能够穿过模具(3)的内孔，所述模具固定架(2)上设置有能够容置模具(3)的V形槽或楔形槽。


2.根据权利要求1所述的一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，其特征在于，还包括有分设在模具(3)固定左右侧、前后侧以及上下侧的热丝固定架，热丝的两端分别固定在热丝固定架上。


3.根据权利要求2所述的一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，其特征在于，所述热丝固定架包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛强，李万春，郭乃祝，
申请(专利权)人：珠海中纳金刚石有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44