A method for estimating the spectrum of a beam is performed. The method includes: projecting a light beam onto different spatial areas of the spectrometer, in which each spatial area receives different filtering versions of the spectrum; detecting the characteristics of the projected light beam at each place in different spatial areas of the spectrometer; receiving a two-dimensional matrix, in which each entry of the matrix provides the relationship between one or more spatial areas and each spectral feature, wherein the two The dimension matrix is related to the input-output relationship of the spectrometer; and the spectrum of the beam is estimated based on the analysis of both the detected beam characteristics and the received two-dimensional matrix.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】从空间输出中恢复光谱形状相关申请的交叉引用本申请要求于2017年4月9日提交的题为“RECOVERINGSPECTRALSHAPEFROMSPATIALOUTPUT”的美国申请No.62/483,423和2017年7月17日提交的题为“RECOVERINGSPECTRALSHAPEFROMSPATIALOUTPUT”的美国申请No.15/651,935的权益，二者均通过引用整体并入本文。
所公开的主题涉及一种用于从由例如标准具光谱仪产生的空间输出中恢复光束的光谱形状以由此估计光束的一个或多个光谱特征(诸如带宽或波长)的装置和方法。
技术介绍
在半导体光刻(或光刻)中，集成电路(IC)的制造包括在半导体(例如，硅)衬底(也称为晶片)上执行各种物理和化学处理。光刻曝光装置或扫描仪是一种将期望图案施加到衬底的目标部分上的机器。晶片被沿轴向方向延伸的光束照射，并且晶片被固定到平台使得晶片通常沿基本正交于轴向方向的侧面延伸。光束的波长在深紫外(DUV)范围内，例如，从约10纳米(nm)到约400nm。光束沿轴向方向(与...
【技术保护点】
1.一种估计光束的光谱的方法，所述方法包括：/n将所述光束投射到光谱仪的不同空间区域上，其中每个空间区域接收所述光谱的不同滤波版本；/n在所述光谱仪的所述不同空间区域中的每个空间区域处检测投射的所述光束的特性；/n接收二维矩阵，其中所述二维矩阵的每个条目提供在一个或多个空间区域与每个光谱特征之间的关系，其中所述二维矩阵与所述光谱仪的输入输出关系有关；以及/n基于使用检测到的所述光束特性和接收到的所述二维矩阵两者的分析，估计所述光束的所述光谱。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170409 US 62/483,423;20170717 US 15/651,9351.一种估计光束的光谱的方法，所述方法包括：
将所述光束投射到光谱仪的不同空间区域上，其中每个空间区域接收所述光谱的不同滤波版本；
在所述光谱仪的所述不同空间区域中的每个空间区域处检测投射的所述光束的特性；
接收二维矩阵，其中所述二维矩阵的每个条目提供在一个或多个空间区域与每个光谱特征之间的关系，其中所述二维矩阵与所述光谱仪的输入输出关系有关；以及
基于使用检测到的所述光束特性和接收到的所述二维矩阵两者的分析，估计所述光束的所述光谱。
2.根据权利要求1所述的方法，其中：
将所述光束投射到所述光谱仪的不同空间区域上包括：
分离所述光谱的所述不同滤波版本，包括沿不同方向或不同角度发送每个滤波版本，以及
将所述分离的滤波版本投射到相应空间区域上。
3.根据权利要求1所述的方法，其中：
将所述光束投射到光谱仪的不同空间区域上包括产生彼此干涉的多个光束，以及
所述光谱的所述不同滤波版本是由所述光谱仪的透射中的不同光学谐振引起的。
4.根据权利要求1所述的方法，其中在所述不同空间区域处检测所述投射光束的所述特性包括：检测所述光束沿着延伸通过投射的所述光束的至少一个径向路径的强度。
5.根据权利要求1所述的方法，其中在所述不同空间区域处检测所述投射光束的所述特性包括：检测由所述光谱的所述滤波版本在所述空间区域中沉积的能量。
6.根据权利要求1所述的方法，还包括通过以下方式来创建所述二维矩阵：
使测试光束与所述光谱仪交互；
在N个不同光谱特征的范围内改变所述测试光束的光谱特征；以及
对于所述范围内的每个光谱特征，
在每个空间区域处检测所述测试光束的特性；以及
将在所述光谱仪的M个空间区域中的每个空间区域处检测到的所述测试光束的所述特性存储为初步二维矩阵的列，其中所述列是基于所述光谱特征被分配的，并且其中所述初步二维矩阵捕获所述光谱仪的所述输入输出关系；以及
基于所述初步二维矩阵来计算所述二维矩阵；
其中所述二维矩阵的行数和所述初步二维矩阵的列数等于N，并且所述二维矩阵的列数和所述初步二维矩阵的行数等于M。
7.根据权利要求6所述的方法，其中估计所述光束的所述光谱包括：在所述二维矩阵与检测到的所述光束特性之间执行矩阵乘法。
8.根据权利要求6所述的方法，其中所述不同光谱特征的数目N确定估计的所述光谱的分辨率。
9.根据权利要求1所述的方法，还包括：
通过计算初步二维矩阵的伪逆创建所述二维矩阵，其中所述初步二维矩阵捕获所述光谱仪的所述输入输出关系；以及
存储所述二维矩阵；
其中估计所述光束的所述光谱包括在所述二维矩阵与检测到的所述光束特性之间执行矩阵乘法。
10.根据权利要求9所述的方法，其中计算所述初步二维矩阵的所述伪逆包括：对所述初步二维矩阵执行奇异值分解。
11.根据权利要求10所述的方法，还包括通过减少来自噪声的贡献超过来自信号的贡献的矩阵乘积的分量，减小所述噪声的影响。
12.根据权利要求1所述的方法，还包括将投射的所述光束的检测到的所述特性存储在阵列中，其中所述阵列的行数对应于在一个空间方向上的所述光谱仪的不同空间区域的行数，并且所述阵列的列数对应于在另一空间方向上的所述光谱仪的不同空间区域的列数。
13.根据权利要求12所...
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