一种以氦微滴为载体的样品测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及新材料研发领域，一种以氦微滴为载体的样品测试装置，包括低温容器、低温输液管、真空腔、脉冲阀、真空泵I、样品靶、分流器I、激光器、掺杂炉、分流器II、荧光光谱仪、四极杆质谱、探测器、真空泵II、脉冲阀电源和计算机，采用脉冲氦微滴作为待测样品的载体，采用脉冲氦微滴源，氦微滴的密度较高，且能够与脉冲激光同步，激光熔融产生的样品微粒的嵌入氦微滴的几率较大，而且，氦微滴源采用喇叭形喷嘴来喷射氦微滴，能够发射密度较高的氦微滴，以减少喷嘴内壁与束流之间的碰撞，使得氦微滴束流的强度较高，利于待测样品的微粒的嵌入氦微滴。

A sample testing device with helium droplet as carrier

The utility model relates to the field of new material research and development, a sample testing device taking helium micro drop as carrier, which comprises a low-temperature container, a low-temperature infusion tube, a vacuum chamber, a pulse valve, a vacuum pump I, a sample target, a splitter I, a laser, a doping furnace, a shunt II, a fluorescence spectrometer, a quadrupole mass spectrometer, a detector, a vacuum pump II, a pulse valve power supply and a computer, and adopts a pulse helium micro drop As the carrier of the sample to be tested, the pulse helium micro drop source is used. The density of the helium micro drop is high, and it can be synchronized with the pulse laser. The sample particles produced by laser melting have a greater chance of embedding into the helium micro drop. Moreover, the helium micro drop source uses a horn shaped nozzle to spray the helium micro drop, which can emit the helium micro drop with higher density, so as to reduce the collision between the inner wall of the nozzle and the beam flow, so as to make the helium micro drop The intensity of the droplet flow is high, which is good for the particles of the sample to be measured to be embedded in the helium droplet.

【技术实现步骤摘要】
一种以氦微滴为载体的样品测试装置
本技术涉及新材料研发领域，尤其是一种采用脉冲氦微滴作为待测样品的载体的一种以氦微滴为载体的样品测试装置。
技术介绍
氦微滴指数个氦原子的集合，数目从几十到几万个，温度低于2K的氦微滴具有超流性，且氦原子之间的相互作用很弱，因此能够通过将各种微粒(包括原子、分子或团簇)嵌入氦微滴中来对微粒降温并进行后续测量，一般情况下，氦微滴在经过具有一定密度的大量待测样品的微粒时，待测样品的微粒有一定的几率嵌入到氦微滴中，通常氦微滴通过微滴源生成并通过喷嘴发射进入真空系统中，现有技术中采用的微滴源通常只能产生连续的氦微滴，而考虑到大量氦微滴对真空系统内的真空的影响，在具体实施过程中只能采用包含氦原子数量较少的氦微滴，即氦微滴的密度较低，另外，一般的微滴源采用圆锥形喷嘴，氦微滴束流与喷嘴内壁的碰撞会在喷嘴内侧产生反射激波，以至于从喷嘴喷出后的氦微滴在沿束流运动方向上的温度不是单调下降，导致束流强度下降较快，从而影响待测样品的微粒的嵌入，所述一种以氦微滴为载体的样品测试装置能够解决问题。
技术实现思路
为了解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种以氦微滴为载体的样品测试装置，包括低温容器(1)、低温输液管(2)、真空腔(3)、脉冲阀(4)、真空泵I(5)、样品靶(6)、分流器I(7)、激光器(8)、掺杂炉(9)、分流器II(10)、荧光光谱仪(11)、四极杆质谱(12)、探测器(13)、真空泵II(14)、脉冲阀电源和计算机，xyz为三维空间坐标系，真空腔(3)分为制备腔(3-1)、掺杂腔(3-2)和测量腔(3-3)，制备腔(3-1)与掺杂腔(3-2)之间具有分流器I(7)，分流器I(7)的孔径为0.5毫米，掺杂腔(3-2)与测量腔(3-3)之间具有分流器II(10)，分流器II(10)的孔径为0.2毫米，制备腔(3-1)和测...

【技术特征摘要】
1.一种以氦微滴为载体的样品测试装置，包括低温容器(1)、低温输液管(2)、真空腔(3)、脉冲阀(4)、真空泵I(5)、样品靶(6)、分流器I(7)、激光器(8)、掺杂炉(9)、分流器II(10)、荧光光谱仪(11)、四极杆质谱(12)、探测器(13)、真空泵II(14)、脉冲阀电源和计算机，xyz为三维空间坐标系，真空腔(3)分为制备腔(3-1)、掺杂腔(3-2)和测量腔(3-3)，制备腔(3-1)与掺杂腔(3-2)之间具有分流器I(7)，分流器I(7)的孔径为0.5毫米，掺杂腔(3-2)与测量腔(3-3)之间具有分流器II(10)，分流器II(10)的孔径为0.2毫米，制备腔(3-1)和测量腔(3-3)分别连接有真空泵I(5)和真空泵II(14)，真空泵I(5)和真空泵II(14)的抽速分别为100升/分钟和300升/秒，脉冲阀电源、激光器(8)、荧光光谱仪(11)和探测器(13)均电缆连接计算机；低温容器(1)中储存有液氦，低温容器(1)、低温输液管(2)、脉冲阀(4)和制备腔(3-1)依次连接安装，样品靶(6)位于制备腔(3-1)内，制备腔(3-1)具有透光窗口，激光器(8)发射的激光能够通过所述透光窗口射到样品靶(6)上；掺杂炉(9)安装于掺杂腔(3-2)，掺杂炉(9)能够将掺杂物蒸发到掺杂腔(3-2)中；四极杆质谱(12)和探测器(13)依次位于测量腔(3-3)内，测量腔(3-3)具有透光的真空窗口，随氦微滴进入测量腔(3-3)的样品团簇发出的荧光能够通过所述真空窗口进入荧光光谱仪(11)，荧光光谱仪(11)位于测量腔(3-3)外，
其特征是：脉冲阀(4)包括进液管(4-1)、紧固弹簧(4-2)、移动块(4-3)、陶瓷套管I(4-4)、回位弹簧(4-5)、垫圈I(4-6)、直管(4-7)、线圈(4-8)、外壳(4-9)、往复活塞(4-10)、磁屏蔽罩(4-11)、陶瓷套管II(4-12)、垫圈II(4-13)、喷嘴(4-14)和脉冲阀电源，脉冲阀电源为交流电源，进液管(4-1)、直管(4-7)、线圈(4-8)、外壳(4-9)、磁屏蔽罩(4-11)和喷嘴(4-14)两两之间的相对位置固定，喷嘴(4-14)具有入口和出口，进液管(4-1)通过低温输液管(2)连接低温容器(1)，进液管(4-1)、移动块(4-3)和紧固弹簧(4-2)由内向外依次嵌套，移动块(4-3)为具有凸缘的圆柱管状，紧固弹簧(4-2)的一端连接于外壳(4-9)内侧、另一端连接于移动块(4-3)的凸缘；进液管(4-1)末端、紧固弹簧(4-2)、移动块(4-3)、垫圈I(4-6)、直管(4-7)、线圈(4-8)、磁屏蔽罩(4-11)、垫圈II(4-13)和喷嘴(4-14)的入口同轴地位于外壳(4-9)内，喷嘴(4-14)的出口位于制备腔(3-1)中，陶瓷套管I(4-4)、回位弹簧(4-5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：童春铭，张健伟，王翊，
申请(专利权)人：金华职业技术学院，
类型：新型
国别省市：浙江;33