The utility model discloses a disc high-precision turning device for a clean environment, which comprises: a clamping mechanism for clamping the disc from the side; a turning mechanism for connecting the clamping mechanism for turning the clamping mechanism and driving the disc held by the clamping mechanism to turn; a lifting mechanism for connecting the turning mechanism for raising the turning mechanism or Lowering, driving the disc clamped by the clamping mechanism to raise or lower. The utility model has a compact structure, can be installed on the automatic production line to do a high-precision turning function of a disc, or can be used as a separate device. The control of the whole positioning process is simple and fast, which can improve the beat of the entire automatic process, thus increasing the production capacity of the production line and bringing better economic benefits to the factory.
【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置
本技术涉及半导体行业自动化制程设备
，更具体地，涉及一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置。
技术介绍
在半导体行业自动化制程中，经常需要在ISOCLASS5的洁净环境下，对搬运过程中的圆盘类零件进行高精度的翻转。目前，一般都是采用人工方式对圆盘类零件进行翻转。然而，这种方式难以与前后的自动化工位进行时间上的匹配，因而不适合用在自动化设备上，并且，采用这种方式在对圆盘类零件进行翻转之后，也不能保证定位精度。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置。为实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置，包括：夹持机构，用于从侧部对圆盘进行夹紧；翻转机构，连接所述夹持机构，用于使所述夹持机构翻转，带动所述夹持机构夹持的圆盘翻转；升降机构，连接所述翻转机构，用于使所述翻转机构升起或降下，带动所述夹持机构夹持的圆盘升起或降下。进一步...
【技术保护点】
1.一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置，其特征在于，包括：/n夹持机构，用于从侧部对圆盘进行夹紧；/n翻转机构，连接所述夹持机构，用于使所述夹持机构翻转，带动所述夹持机构夹持的圆盘翻转；/n升降机构，连接所述翻转机构，用于使所述翻转机构升起或降下，带动所述夹持机构夹持的圆盘升起或降下。/n
【技术特征摘要】
20190107 CN 20192002584011.一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置，其特征在于，包括：
夹持机构，用于从侧部对圆盘进行夹紧；
翻转机构，连接所述夹持机构，用于使所述夹持机构翻转，带动所述夹持机构夹持的圆盘翻转；
升降机构，连接所述翻转机构，用于使所述翻转机构升起或降下，带动所述夹持机构夹持的圆盘升起或降下。
2.根据权利要求1所述的用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置，其特征在于，所述升降机构为一电缸，所述电缸设有缸体，所述缸体中设有丝杆，所述丝杆连接设于缸体一端的第一电机，所述丝杆上耦合有螺母，所述螺母通过滑块连接所述缸体上设有的滑轨，所述滑块同时连接所述翻转机构。
3.根据权利要求2所述的用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置，其特征在于，所述翻转机构设有第二电机，所述第二电机通过支架连接所述滑块，所述第二电机通过其转轴连接所述夹持机构。
4.根据权利要求3所述的用于洁净环境的...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈朝星，
申请(专利权)人：上海福赛特机器人有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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