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本实用新型公开了一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置，包括：夹持机构，用于从侧部对圆盘进行夹紧；翻转机构，连接所述夹持机构，用于使所述夹持机构翻转，带动所述夹持机构夹持的圆盘翻转；升降机构，连接所述翻转机构，用于使所述翻转机构升起或降下，带...
该专利属于上海福赛特机器人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海福赛特机器人有限公司授权不得商用。

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