一种减摩抗磨液压泵零件的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种减摩抗磨液压泵零件的制备方法，属于液压泵制造技术领域，液压泵零件基体材料经过淬火、高温回火、粗精加工后采用离子镀方法进行渗碳处理，然后再通过离子镀和磁控溅射复合方法沉积表面的HfVTiC碳化物涂层，能够减缓碳化物涂层与液压泵零件基体材料之间的物理性能差异，提高基体材料的表面硬度与支撑作用，具有很高的表面硬度和芯部韧性，表面摩擦系数较低，具有良好的减摩润滑及摩擦磨损性能；同时由于制备工艺温度低、表面光洁度好，表面尺寸和形状精度不受影响，可以作为最终处理工艺。

A preparation method of parts for antifriction and antiwear hydraulic pump

The invention relates to a preparation method of antifriction and antiwear hydraulic pump parts, belonging to the technical field of hydraulic pump manufacturing. After quenching, high temperature tempering and rough finishing, the base material of hydraulic pump parts is carburized by ion plating method, and then the hfvtic carbide coating on the surface is deposited by ion plating and magnetron sputtering composite method, which can slow down the carbide coating and zero of hydraulic pump The difference of physical properties between the substrate materials can improve the surface hardness and supporting effect of the substrate materials, which has high surface hardness and core toughness, low surface friction coefficient, good antifriction and lubrication and friction and wear performance; at the same time, due to the low preparation temperature, good surface finish, surface size and shape accuracy are not affected, it can be used as the final treatment process \u3002

【技术实现步骤摘要】
一种减摩抗磨液压泵零件的制备方法
本专利技术涉及一种减摩抗磨液压泵零件的制备方法，属于液压泵制造

技术介绍
液压泵是液压传动系统的动力元件，其作用是将动力机(如电机和内燃机等)的机械能转换成油液的液压能，并为整个液压系统提供动力。随着工业技术的快速发展，液压泵逐渐朝着高压、高速及大流量方向发展。由于液压泵在高速运转同时还要承受高而集中的交变载荷作用，泵内的零件磨损是国产液压泵尤其是高压液压泵的主要损坏形式，因此，提高液压泵零件材料的使用性能是发展高压、高速液压泵的关键技术之一。由于碳化物涂层具备高硬度，高强度，化学性质稳定，耐热，耐磨损等优良特性，因此有望通过在零件表面制备碳化物涂层或通过金属表层的碳化处理来提高零件的耐磨性。目前制备碳化物涂层的技术主要有喷涂、渗碳以及气相沉积等方法。其中，喷涂是指借助压力或离心力，将涂层材料喷射到工件的表面，该方法制备涂层虽然具有较高的喷涂效率，但是涂层与工件基体的结合力很差，而且涂层的表面非常粗糙，不适合高压高速的恶劣工况条件；渗碳是指使碳原子渗入到钢类工件表层的过程，从而使工件表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减摩抗磨液压泵零件的制备方法，其特征在于：液压泵零件基体材料经过淬火、高温回火、粗精加工后采用离子镀方法进行渗碳处理，然后再通过离子镀和磁控溅射复合方法沉积表面的HfVTiC碳化物涂层，沉积时采用2个C离子镀靶，1个Hf磁控溅射靶，1个V磁控溅射靶和1个Ti磁控溅射靶；具体包括以下步骤：/n(1)零件基体加工：零件基体毛坯→淬火→高温回火→粗加工→半精加工→去应力回火→精加工；/n(2)零件表面预处理：采用金属清洗剂去除工件表面油污，漂洗烘干；/n(3)零件表面处理：将零件依次放入酒精和丙酮中，超声清洗各25min，去除表面杂质和其它附着物，干燥充分后迅速放入PVD复合镀膜机，抽真空至...

【技术特征摘要】
1.一种减摩抗磨液压泵零件的制备方法，其特征在于：液压泵零件基体材料经过淬火、高温回火、粗精加工后采用离子镀方法进行渗碳处理，然后再通过离子镀和磁控溅射复合方法沉积表面的HfVTiC碳化物涂层，沉积时采用2个C离子镀靶，1个Hf磁控溅射靶，1个V磁控溅射靶和1个Ti磁控溅射靶；具体包括以下步骤：
(1)零件基体加工：零件基体毛坯→淬火→高温回火→粗加工→半精加工→去应力回火→精加工；
(2)零件表面预处理：采用金属清洗剂去除工件表面油污，漂洗烘干；
(3)零件表面处理：将零件依次放入酒精和丙酮中，超声清洗各25min，去除表面杂质和其它附着物，干燥充分后迅速放入PVD复合镀膜机，抽真空至5.0×10-3Pa，加热至300℃，保温40min；
(4)表面辉光清洗：通Ar气，其压力为2.0-2.5Pa，温度280℃，打开偏压电源电压700V，占空比0.3，表面辉光放电清洗25min；
(5)表面离子清洗：偏压调至650V，占空比0.2，Ar气压1.2Pa，温度260℃，开启离子源，离子清洗25min，开启电弧C靶电源，C靶电流120A，离子轰击5～6min；
(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：张璇，宋文龙，韩冰，朱伟伟，
申请(专利权)人：济宁学院，
类型：发明
国别省市：山东;37