The utility model relates to a cleaning device for trichlorosilane tail gas treatment, which comprises a trichlorosilane tail gas treatment device composed of an absorption tower, a light reactor, a mixer and a rectification tower. The upper part of the absorption tower is provided with an absorbent inlet, the lower part is provided with a trichlorosilane tail gas inlet, the top part is provided with a hydrogen chloride production outlet, and the bottom part is provided with a material production outlet, wherein the absorbent inlet is connected with a distillation distillation At the bottom of the tower, the material outlet at the bottom of the tower is connected with a mixer, the top of the photoreactor is equipped with a gas-phase outlet, the upper part is equipped with a reaction product overflow port, the lower part is equipped with a reaction material inlet, wherein the reaction material inlet is connected with a mixer, the gas-phase outlet is connected with an absorption tower, and the reaction product overflow port is connected with a distillation tower; the mixer is equipped with a material inlet, a chlorine gas inlet and a material outlet, wherein the raw material The inlet is connected with the absorption tower, the material outlet is connected with the photoreactor; the top of the distillation tower is equipped with the gas-phase production outlet, and the bottom is equipped with the product production outlet, wherein the product production outlet is connected with the absorption tower. The device reduces material consumption and improves utilization rate.
【技术实现步骤摘要】
一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化装置
本技术属于多晶硅领域,涉及一种尾气处理工艺,特别涉及多晶硅生成过程中三氯氢硅尾气处理的清洁化装置。
技术介绍
三氯氢硅是一种重要的化工原料,在有机硅行业可用于制备硅烷偶联剂,同时又是生产多晶硅的主要原料。三氯氢硅尾气中富含二氯二氢硅、三氯氢硅及氯化氢,直接排放会对环境造成重大破坏,所以一般多晶硅企业采用NaOH溶液直接淋洗的方法处理三氯氢硅尾气,但该方法耗碱量大,反应产生固废NaCl及SiO2,而且尾气中二氯二氢硅、三氯氢硅、氯化氢等组分不能有效回收利用,降低了原料的利用率,提高了生成成本。因此三氯氢硅尾气的综合处理成为三氯氢硅合成工艺是否环保的节能标志,也是多晶硅企业一直关注的重要问题。中国专利CN20101021104.5提出了一种三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法,该方法先采用吸收的方法将三氯氢硅尾气中的二氯二氢硅和三氯氢硅吸收,不能被吸收的氢气从吸收塔顶采出,然后将吸收液送至精馏塔精馏得到粗四氯化硅和氯化氢。该方法有效解决了尾气的排放问题,但精馏塔塔底粗四氯化硅中将含有大量的二氯二氢硅和三氯氢硅,给后续四氯化硅的精制增大了负担和能耗。中国专利CN201510407339.8提出了一种一种三氯氢硅合成尾气的处理方法,该方法先将尾气中的固体杂质过滤后,将尾气通过冷凝的方式将氯硅烷和氢气、氯化氢分离,然后将气相送入吸附装置吸附氯化氢得到高纯的氢气。然而该方法通过深冷的方式将氯硅烷和氢气、氯化氢分离,能耗较大,而且吸附其中的氯化氢,造成原料浪费,且氯化氢解析后仍需处 ...
【技术保护点】
1.一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化装置,其特征是包括吸收塔,光反应器、混合器、精馏塔组成的三氯氢硅尾气处理装置,吸收塔上部设有吸收剂进口,下部设有三氯氢硅尾气进口,顶部设有氯化氢采出口,底部设有塔底物料采出口,其中吸收剂进口连接精馏塔底部,塔底物料采出口连接混合器;光反应器顶部设有气相采出口,上部设有反应产物溢流口,下部设有反应物料进口,其中反应物料进口连接混合器,气相采出口连接吸收塔,反应产物溢流口连接精馏塔;混合器设有物料进口、氯气进口及物料出口,其中原料进口连接吸收塔,物料出口连接光反应器;精馏塔顶部设有气相采出口,底部设有产品采出口,其中产品采出口连接吸收塔。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化装置,其特征是包括吸收塔,光反应器、混合器、精馏塔组成的三氯氢硅尾气处理装置,吸收塔上部设有吸收剂进口,下部设有三氯氢硅尾气进口,顶部设有氯化氢采出口,底部设有塔底物料采出口,其中吸收剂进口连接精馏塔底部,塔底物料采出口连接混合器;光反应器顶部设有气相...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋兴桥,
申请(专利权)人:天津中科拓新科技有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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