一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房技术方案

本发明专利技术涉及洁净生产厂房技术领域，公开了一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房，该具有二次加湿系统的洁净室布置结构包括：至少一组二次加湿系统，每一组二次加湿系统包括：加湿装置，设于洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；相对湿度传感器；与相对湿度传感器和加湿装置连接的湿度控制器，湿度控制器用于接收相对湿度传感器的湿度信号以根据湿度信号控制加湿装置工作。该具有二次加湿系统的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有二次加湿系统，有效对室内空气进行二次加湿，增加洁净生产区的环境相对湿度，使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值，有利于保证良好的生产工序制造环境，提高产品良率。

A kind of clean room layout structure and clean production workshop with secondary humidification system

The invention relates to the technical field of clean production workshop, and discloses a clean room layout structure with a secondary humidification system and a clean production workshop. The clean room layout structure with a secondary humidification system includes at least one group of secondary humidification systems, each group of secondary humidification system includes: humidification device, upper technical interlayer, lower technical interlayer, return air channel or In the clean production area; relative humidity sensor; humidity controller connected with relative humidity sensor and humidification device, the humidity controller is used to receive the humidity signal of relative humidity sensor to control the operation of humidification device according to the humidity signal. In the layout structure of the clean room with the secondary humidification system, the secondary humidification system is set in the clean room to effectively humidify the indoor air, increase the environmental relative humidity of the clean production area, make the relative humidity of the production environment of the product reach the optimal value, which is conducive to ensuring a good production process manufacturing environment and improving the product yield.

【技术实现步骤摘要】
一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房
本专利技术涉及洁净生产厂房
，特别涉及一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房。
技术介绍
目前电子工业的主流产品显示器件(TFT-LCD)生产厂房阵列曝光区(ArrayPhoto)、彩膜曝光区(CFPhoto)涂胶与烘烤生产工序，以及配向膜(PI区)PI涂布、烘烤、PI重工生产工序在有机溶剂清洗过程产生的有机废气通过废气管道接至屋面沸石转轮机组、蓄热燃烧炉进行集中处理；但仍存在一部分挥发性有机物(VOC)遗留在上述产VOC生产工序的洁净室内，对人体及制造环境均有一定的不良影响；尤其是某些生产工序(如液晶滴注ODF区)对VOC比较敏感，当产VOC生产工序区遗留VOC浓度较高且通过空气流扩散至ODF区时，会严重影响产品良率；目前去除洁净室内VOC的有效措施是在产VOC生产工序的洁净区下技术夹层设置沸石转轮机组对空气中的VOC进行持续吸附再生的去除方法，将浓缩脱附后的VOC排放至屋面有机废气处理主系统。但处理空气通过沸石转轮机组的转轮(Rotor)时，约会发生0.5g/kg减湿，沸石转轮设置区洁净室内的相对湿度相应被降低。比如，洁净室温/湿度要求：23±1℃/55％±5％，如果洁净室现有温/湿度为23℃/55％状态，处理空气通过沸石转轮机组发生减湿后温/湿度变化为：23℃/52.25％；温湿度变化后不是最佳的生产环境温湿度状态，进而会对产品良率产生一定的影响。另外，随着高世代TFT-LCD显示器行业的发展，洁净厂房面积需求越来越大；例如：第11代显示器生产厂房一般包括两层核心生产区，单层核心生产区洁净室面积可达到12万㎡，每层根据各生产工序洁净等级、温湿度、VOC浓度管控等不同的需求设置多个独立的洁净生产房间(简称独立分区)；目前此类高世代TFT-LCD项目一般采用洁净新风处理机组(MAU)+干盘管(DCC)+风机过滤器机组(FFU)净化空调送风系统；项目为节省支持区辅助空调机房面积，一般在生产厂房支持区集中设置空调机房，空调机房内布置多台洁净新风处理机组；室外空气经洁净新风处理机组集中降温除湿(或加热加湿)处理后进入各独立分区，由洁净新风处理机组确保洁净室所需要的相对湿度。无足够的空间条件针对各独立分区不同的相对湿度要求设置不同的新风处理系统；通过集中新风处理机组供应新风至各独立分区，只能实现各独立分区同一种温湿度需求。针对上述生产环境湿度变化或者对生产环境相对湿度要求不同的情况，现有技术中针对湿度变化明显或湿度要求较高的洁净室的房间，在不增加室内空气含湿量(即室内空气含湿量保持不变)的情况下仅通过设低洁净室内的温度值来提高相对湿度的措施来接近室内温湿度需求值，但是实施该措施之后室内温湿度值始终会与生产需求温湿度值具有一定的偏差，对生产环境具有一定的影响，容易造成产品良率降低，所以，现在怎样可以维持洁净室内温湿度值满足产品生产要求是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术提供了一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房，该具有二次加湿系统的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有二次加湿系统，可以有效对室内空气进行二次加湿，可以增加洁净生产区的环境相对湿度，以使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值，有利于保证良好的生产工序制造环境，提高产品良率。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构，包括：至少一组二次加湿系统，每一组所述二次加湿系统包括：加湿装置，设于所述洁净室的上技术夹层、下技术夹层或回风夹道或洁净生产区内；用于检测所述洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器；与所述相对湿度传感器和所述加湿装置连接的湿度控制器，所述湿度控制器用于接收所述相对湿度传感器的湿度信号以根据所述湿度信号控制所述加湿装置工作。上述具有二次加湿系统的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有至少一组二次加湿系统，其中，每一组二次加湿系统包括：设置在洁净室内用于检测室内的空气湿度的相对湿度传感器，其中，可以将相对湿度传感器设置在洁净室的洁净生产区内，洁净生产区即放置生产设备的地方，在洁净生产区设置相对湿度传感器可以对洁净生产区的湿度进行检测，即对产品的生产环境进行湿度检测，可以更加准确的确定产品的制作环境的实际湿度，另外，加湿装置用于对室内空气进行直接加湿，其中，加湿装置可以设置在洁净室的上技术夹层内，也可以设置在洁净室的下技术夹层内，或者设置在洁净室的回风夹道内，或者设置在洁净室的洁净生产区内，被加湿的空气可以进入到洁净室内的风系统中可以对整个洁净室内的环境进行加湿，当然，加湿的空气可以在洁净室内风系统流通过程中进入到洁净生产区，洁净室内的生产环境得到二次加湿的效果，湿度控制器与相对湿度传感器信号连接且与加湿装置电连接，可以通过接收相对湿度传感器检测到的湿度信号，并通过该湿度信号对加湿装置进行控制，且湿度信号为洁净生产区的相对湿度值，根据洁净生产区生产的产品对洁净生产区的湿度要求设定一个预设值，当相对湿度传感器检测到洁净生产区内湿度值小于预设值时，湿度控制器控制加湿装置进行工作，对室内空气进行加湿，可实现加湿量的比例调节；当相对湿度传感器检测到洁净生产区内的湿度值大于或等于预设值时，湿度控制器控制加湿装置比例调小加湿量至恒定持续加湿状态或不启动工作，因此，湿度控制器通过接收相对湿度传感器的湿度信号控制加湿装置对室内空气进行自动加湿，满足洁净生产区内生产环境的相对湿度要求，可以使洁净生产区内生产环境的相对湿度达到最佳值。因此，上述具有二次加湿系统的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有二次加湿系统，可以有效对室内空气进行二次加湿，可以增加洁净生产区的环境湿度，以使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值，有利于保证良好的生产工序制造环境，提高产品良率。可选地，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，所述二次加湿系统设置于所述第一独立分区内。可选地，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，且所述二次加湿系统设置至少两组，所述第一独立分区和第二独立分区均设置有所述二次加湿系统。可选地，所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间的一个间隔墙，所述间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，以将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔开；或者，所述间隔墙组件包括设于所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，包括：至少一组二次加湿系统，每一组所述二次加湿系统包括：/n加湿装置，设于所述洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；/n用于检测所述洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器；/n与所述相对湿度传感器和所述加湿装置连接的湿度控制器，所述湿度控制器用于接收所述相对湿度传感器的湿度信号以根据所述湿度信号控制所述加湿装置工作。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，包括：至少一组二次加湿系统，每一组所述二次加湿系统包括：
加湿装置，设于所述洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；
用于检测所述洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器；
与所述相对湿度传感器和所述加湿装置连接的湿度控制器，所述湿度控制器用于接收所述相对湿度传感器的湿度信号以根据所述湿度信号控制所述加湿装置工作。


2.根据权利要求1所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，所述二次加湿系统设置于所述第一独立分区内。


3.根据权利要求1所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，且所述二次加湿系统设置有至少两组，所述第一独立分区和第二独立分区均设置有所述二次加湿系统。


4.根据权利要求2或3所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间的一个间隔墙，所述间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，以将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔开；或者，
所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙和第二间隔墙，所述第一间隔墙和第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：李传琰，李鹏，王江标，张欣赏，阎冬，王威，肖红梅，
申请(专利权)人：中国电子工程设计院有限公司，世源科技工程有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11