基板分割装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具有能够应对各种各样的基板而进行分割的倾动工作台的基板分割装置。该基板分割装置具有固定工作台(1)和倾动工作台(2)，所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板(W)的基板保持面(1a、2a)，并且以这些基板保持面(1a、2a)形成同一水平面的方式空出间隔而邻接，倾动工作台(2)具有：倾动机构，其将所述倾动工作台的与固定工作台(1)邻接的一端部形成的旋转轴(3)作为支点而使倾动工作台(2)倾动；水平移动机构，其以在水平方向上与固定工作台(1)背离的方式使倾动工作台(2)移动；以及升降机构，其使倾动工作台(2)升降。

Base plate dividing device

The invention provides a base plate dividing device with a tilting table capable of dividing various base plates. The base plate dividing device has a fixed working table (1) and a tilting working table (2), the fixed working table and the tilting working table respectively have base plate holding surfaces (1a, 2a) for holding the base plate (W), and are adjacent to each other in a manner of forming the same horizontal plane by these base plate holding surfaces (1a, 2a). The tilting working table (2) has a tilting mechanism, which makes the tilting working table and the fixed working table\uff08 1) the rotating shaft (3) formed at the adjacent end is used as the fulcrum to tilt the tilting table (2); the horizontal moving mechanism makes the tilting table (2) move in a way that deviates from the fixed table (1) in the horizontal direction; and the lifting mechanism makes the tilting table (2) rise and fall.

【技术实现步骤摘要】
基板分割装置
本专利技术涉及由脆性材料构成的基板的基板分割装置。本专利技术特别涉及沿着形成在基板上的多条刻划线(刻划槽)将基板分割成条状或网格状的基板分割装置。
技术介绍
通常，在从母基板切出单元基板的工序中，采用使用刀轮、激光的分割方法。在这种情况下，在母基板的分割预定位置，用刀轮、激光呈网格状加工相互交叉的刻划线，之后通过分割装置沿着刻划线对基板进行分割而切出单元基板。作为对基板进行分割的手段，有如专利文献1、2所示那样通过从形成了刻划线的相反侧的面按压切断杆而使基板弯曲来分割的方法、如专利文献3、4所示那样通过倾动工作台将基板弯曲并沿着刻划线进行分割的方法。在使用了倾动工作台的分割方法中，倾动工作台和吸附并保持基板的固定工作台空出间隙而邻接地设置，倾动工作台以在靠近固定工作台侧的端部下表面通过旋转轴向下方倾动的方式形成。并且，通过在使刻划线位于固定工作台与倾动工作台的间隙的状态下使基板吸附并保持在两个工作台的上表面，并使倾动工作台倾斜，从而向基板施加弯曲力矩而沿着刻划线进行分割。使用了该倾动工作台的分割方法具有如下优点：通过工作台的倾动而向基板施加弯曲力矩，并且与固定工作台邻接的倾动工作台的顶端部相对于邻接的固定工作台向分离的方向位移，由此被分割的基板的端面彼此被拉开，因此能够消除由于基板相互接触而造成的损伤。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-128137号公报；专利文献2：日本特开2014-083821号公报；专利文献3：日本特开平4-280828号公报；专利文献4：日本特开2017-177453号公报。专利技术要解决的课题通常，作为分割加工对象基板，有由玻璃、硅、氧化铝、陶瓷等的物理强度各不相同的脆性材料形成的仅1片的单板、将2片基板进行贴合的贴合基板、或者将由不同材料构成的薄板贴合在玻璃基板的两个面的3层结构的层叠基板等各种各样的类型，各自的厚度在例如玻璃单板的情况下为0.1mm到5mm以上。因此，存在由于基板的类型而仅施加弯曲力矩不能分割的基板，有时需要在施加弯曲力矩的同时施加拉力、或者在上下方向上施加剪切力。但是，由于以往的倾动工作台是通过旋转轴而仅倾动的结构，因此在对上述的各种各样的基板进行分割的方面存在限制。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种能够解决这种现有技术问题、具有能够应对各种各样的基板来进行分割的倾动工作台的基板分割装置。用于解决课题的方案为了达到上述目的，本专利技术采取如下这样的技术手段。即，本专利技术提供采用以下结构的基板分割装置，其沿着在由脆性材料构成的基板的表面形成的刻划线对所述基板进行分割，其中，所述基板分割装置具有固定工作台和倾动工作台，所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板的基板保持面，并且以这些基板保持面形成同一水平面的方式空出间隔而邻接，所述倾动工作台具有：倾动机构，其将所述倾动工作台的与所述固定工作台邻接的一端部形成的旋转轴作为支点而使该倾动工作台倾动；水平移动机构，其以在水平方向上与所述固定工作台背离的方式使所述倾动工作台移动；以及升降机构，其使所述倾动工作台升降。专利技术效果由于本专利技术采用了上述结构，因此在基板分割时，能够使倾动工作台向上方或者下方倾斜并施加弯曲力矩而进行分割，使倾动工作台向上方或下方升降并利用剪切力而进行分割，或者使倾动工作台在倾动的同时在上下方向或者水平方向上移动并在施加弯曲力矩的同时施加剪切力或施加拉力而进行分割。由此，能够与厚度、材料、层叠结构不同的各种类型的基板对应地选择并实施最优选的分割方法。此外，由于倾动工作台以能够在水平方向上移动的方式形成，因此能够在基板分割后将分割了的基板载置在倾动工作台的状态下向外部搬出，由此具有能够省略用于将分割了的基板向外部搬出的输送机等的搬出单元这样的效果。在本专利技术中，所述倾动机构可以具有：支承臂，其通过所述旋转轴可旋转地支承所述倾动工作台；以及液压缸，其与所述倾动工作台的另一端部下表面连接，并以所述旋转轴为支点而使所述倾动工作台上下摆动。由此，能够以旋转轴为支点而使倾动工作台摆动位移为向上或者向下的倾斜姿势。在本专利技术中，可以采用如下结构：所述水平移动机构具有：行驶构件，其对所述支承臂和所述液压缸进行保持；以及台板，其通过第一导轨而在水平方向上可移动地保持所述行驶构件，所述第一导轨向所述倾动工作台背离所述固定工作台的方向延伸而形成，所述行驶构件以通过驱动机构而行驶的方式形成。由此，能够使被行驶构件保持的倾动工作台向从固定工作台拉开的位置移动。在本专利技术中，可以采用如下结构：所述升降机构具有：支柱，其可升降地保持所述台板；滑轮，其设置在所述台板的下表面；滑动构件，其具有承接该滑轮的倾斜承接面；以及底座，其通过第二导轨而在水平方向上可滑动地保持所述滑动构件，所述第二导轨向所述倾动工作台背离所述固定工作台的方向延伸而形成，所述倾斜承接面的倾斜方向沿着所述第二导轨的方向而形成，所述滑动构件以通过驱动机构而滑动的方式形成。由此，能够使被台板保持的倾动工作台相对于固定工作台上移或者下移。附图说明图1为表示本专利技术的基板分割装置的侧视图。图2为图1所示的基板分割装置的后视图。图3为表示本专利技术的倾动工作台的倾动状态的侧视图。图4为表示本专利技术的倾动工作台的向水平方向的移动状态的侧视图。图5为表示本专利技术的倾动工作台的升降状态的侧视图。图6为表示本专利技术的基板分割装置中的倾动工作台的工作的说明图。具体实施方式在以下，基于图1～图5示出的实施例对本专利技术的基板分割装置的细节进行说明。本专利技术的基板分割装置包含具有对由脆性材料构成的基板W进行保持的基板保持面1a、2a的固定工作台1以及倾动工作台2。这两个工作台1、2以基板保持面1a、2a形成同一水平面的方式空开间隔而邻接地设置。基板保持面1a、2a以如下方式形成：在本实施例中，在工作台1、2的表面设置多个吸孔(未图示)，通过吸入空气能够吸附并保持基板W。倾动工作台2在与固定工作台1邻接的一端侧的下表面通过旋转轴3可旋转地保持在支承臂4，在另一端侧的下表面通过枢轴6与沿着上下方向配置的液压缸5的轴5a的顶端连接。支承臂4在其下端部固定于行驶构件7，液压缸5还通过枢轴5b可位移地保持在行驶构件7。通过上述的结构，形成了能够使倾动工作台2倾动的倾动机构。即，通过驱动液压缸5而使轴5a上下移动，从而能够将旋转轴3作为支点使倾动工作台2摆动，成为如图6的(a)、(b)所示那样的向上或者向下的倾斜姿势。进而，上述的行驶构件7以通过导轨8能够在水平方向上移动的方式保持在台板9。导轨8沿着倾动工作台2背离固定工作台1的方向延伸而形成，行驶构件7以通过驱动机构(未图示)能够行驶的方式形成。通过该结构形成了倾动工作台2的水平移动机构。在此，通过使行驶构件7沿着导轨8移动，能够如图6(e)所示那样使倾动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板分割装置，其沿着在由脆性材料构成的基板的表面形成的刻划线对所述基板进行分割，其中，/n所述基板分割装置具有固定工作台和倾动工作台，所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板的基板保持面，并且以这些基板保持面形成同一水平面的方式空出间隔而邻接，/n所述倾动工作台具有：/n倾动机构，其将所述倾动工作台的与所述固定工作台邻接的一端部形成的旋转轴作为支点而使该倾动工作台倾动；/n水平移动机构，其以在水平方向上与所述固定工作台背离的方式使所述倾动工作台移动；以及/n升降机构，其使所述倾动工作台升降。/n

【技术特征摘要】
20180509 JP 2018-0904641.一种基板分割装置，其沿着在由脆性材料构成的基板的表面形成的刻划线对所述基板进行分割，其中，
所述基板分割装置具有固定工作台和倾动工作台，所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板的基板保持面，并且以这些基板保持面形成同一水平面的方式空出间隔而邻接，
所述倾动工作台具有：
倾动机构，其将所述倾动工作台的与所述固定工作台邻接的一端部形成的旋转轴作为支点而使该倾动工作台倾动；
水平移动机构，其以在水平方向上与所述固定工作台背离的方式使所述倾动工作台移动；以及
升降机构，其使所述倾动工作台升降。


2.根据权利要求1所述的基板分割装置，其中，
所述倾动机构具有：
支承臂，其通过所述旋转轴可旋转地支承所述倾动工作台；以及
液压缸，其与所述倾动工作台的另一端部下表面连接，并以所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井敏行，成尾徹，
申请(专利权)人：三星钻石工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP