石英炉管自动抛光机制造技术

一种石英炉管自动抛光机，该抛光机具有：石英炉管；机台，是整个抛光机的基座；第一导轨，安装在机台上表面；第二导轨，安装在机台侧表面；内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光；外火焰枪架，用于安装外火焰枪，所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导轨上，使得外火焰枪可以沿着第二导轨移动，对石英炉管外表面进行火焰抛光；转台，通过转台的夹具夹持石英炉管，同时在转台电机的驱动下，使得石英炉管作轴向的旋转运动。

Quartz furnace tube automatic polishing machine

The utility model relates to a quartz furnace tube automatic polishing machine, which has the following features: quartz furnace tube; machine platform, which is the base of the whole polishing machine; the first guide rail, which is installed on the upper surface of the machine platform; the second guide rail, which is installed on the side surface of the machine platform; the inner flame gun frame, which is used for installing the inner flame gun, is installed on the first guide rail through the slide block, and the inner flame gun frame is located on the axis of the quartz furnace tube The inner flame gun can move along the first guide rail to polish the inner surface of the quartz furnace tube with flame; the outer flame gun rack is used to install the outer flame gun, and the outer flame gun rack is installed on the second guide rail through the slider, so that the outer flame gun can move along the second guide rail to polish the outer surface of the quartz furnace tube with flame; the turntable clamps the quartz furnace through the turntable At the same time, driven by the turntable motor, the quartz furnace tube rotates axially.

【技术实现步骤摘要】
石英炉管自动抛光机
本技术属于半导体加工
，特别涉及一种石英炉管自动抛光机。
技术介绍
在8英寸以上集成电路硅片扩散硅片制程中，需要石英炉管做为反应腔体作为反应环境。而现有加工工艺是由两个工人同时用氢氧气火焰对石英炉管内、外表面做火焰抛光处理，以达内外表面光洁度要求。这种工艺需要两位工人手拿火焰抛光枪相互配合，对石英炉管内外表面做抛光处理，不仅对工人的技能有较高的要求(需要培养1-2年)，而且工人的劳动强度很大，很难保证产品加工的一致性。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种石英炉管自动抛光机。本技术实施例之一，一种石英炉管自动抛光机，该抛光机具有：石英炉管；机台，是整个抛光机的基座；第一导轨，安装在机台上表面，第二导轨，安装在机台侧表面，内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光外火焰枪架，用于安装外火焰枪，所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英炉管自动抛光机，其特征在于，该抛光机具有：/n石英炉管；/n机台，是整个抛光机的基座；/n第一导轨，安装在机台上表面；/n第二导轨，安装在机台侧表面；/n内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光；/n外火焰枪架，用于安装外火焰枪，所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导轨上，使得外火焰枪可以沿着第二导轨移动，对石英炉管外表面进行火焰抛光；/n转台，通过转台的夹具夹持石英炉管，同时在转台电机的驱动下，使得石英炉管作轴向的旋转运动；/n控制盒，安装在机台侧面，控制盒...

【技术特征摘要】
1.一种石英炉管自动抛光机，其特征在于，该抛光机具有：
石英炉管；
机台，是整个抛光机的基座；
第一导轨，安装在机台上表面；
第二导轨，安装在机台侧表面；
内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光；
外...

【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，吕红兵，郑小燕，蓝呈，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31