一种硅片生产用除胶机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片生产用除胶机构，包括除胶池、除料机构和清扫机构，所述的除胶池为内部中空的无盖结构，除胶池内部的下端安装有除料机构，除胶池的上端面安装有清扫机构，除料机构包括倾斜板，除胶池前后内侧面的下端安装有倾斜板，倾斜板的下方安装有沉淀盒，倾斜板的上端面从左往右均匀设有除料台，除料台的上端面安装有除料防水电动推杆，除料防水电动推杆的顶端安装有除料支撑板，除料支撑板的上端面设有通孔。本实用新型专利技术可以解决人工除胶时容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、去胶池清扫困难、人工除胶步骤繁琐和工作效率低等问题，可以实现对晶棒的高效快速除胶，具有操作简单、安全，工作效率高和去胶池清扫方便的优点。

A degumming mechanism for silicon wafer production

The utility model relates to a degumming mechanism for silicon wafer production, which includes a degumming pool, a degumming mechanism and a cleaning mechanism. The degumming pool is a hollow and uncovered structure inside. The lower end of the degumming pool is equipped with a degumming mechanism, the upper end of the degumming pool is equipped with a cleaning mechanism, the degumming mechanism includes an inclined plate, the lower end of the front and rear inner sides of the degumming pool is equipped with an inclined plate, and the lower part of the inclined plate The square is equipped with a settling box, the upper end face of the inclined plate is uniformly equipped with a material removal platform from left to right, the upper end face of the material removal platform is equipped with a material removal waterproof electric push rod, the top end of the material removal waterproof electric push rod is equipped with a material removal support plate, and the upper end face of the material removal support plate is equipped with a through hole. The utility model can solve the problems of being easily scalded by water during manual degumming, inconvenient operation when removing leftover materials, difficult cleaning of degumming pool, tedious steps of manual degumming and low working efficiency, and can realize efficient and rapid degumming of crystal rod, which has the advantages of simple operation, safety, high working efficiency and convenient cleaning of degumming pool.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产用除胶机构
本技术涉及硅片加工领域，特别涉及一种硅片生产用除胶机构。
技术介绍
随着科研技术的进步，硅片在芯片、电子产品和电池等领域得到了广泛的应用，同时硅片的生产加工技术也有了很大的进步，硅片的加工一般需要经过粘棒、开方、去胶、滚磨、切片、清洗烘干、检测、包装等步骤，在现有技术中已经有很多步骤采用机械化操作，但是其中的去胶、检测和包装等步骤还以采用人工操作为主。在硅片加工的除胶过程中，现有状态下的除胶步骤一般是先将晶棒放置到晶拖上，将晶棒放置到80摄氏度的热水中将胶融化，然后用隔热手套将边角料去除，接着将晶棒取出将晶拖取下，再将残留的胶擦拭干净，在这一系列步骤中存在一定的弊端，人工除胶工作效率较低、水的温度过高容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、胶水在水中无任何处理，去胶池清扫困难、人工去胶分多步进行工作流程繁琐。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种硅片生产用除胶机构，可以解决人工除胶时容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、去胶池清扫困难、人工除胶步骤繁琐和工作效率低等问题，可以实现对晶棒的高效快速除胶，具有操作简单、安全，工作效率高和去胶池清扫方便的优点。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案，一种硅片生产用除胶机构，包括除胶池、除料机构和清扫机构，所述的除胶池为内部中空的无盖结构，除胶池内部的下端安装有除料机构，除胶池的上端面安装有清扫机构。所述的除料机构包括倾斜板，除胶池前后内侧面的下端安装有倾斜板，倾斜板的下方安装有沉淀盒，倾斜板的上端面从左往右均匀设有除料台，除料台的上端面安装有除料防水电动推杆，除料防水电动推杆的顶端安装有除料支撑板，除料支撑板的上端面设有通孔，除料支撑板的上端面从左往右均匀设有除料支链，除料支链包括放置台，通孔内通过轴承安装有放置台，放置台的下端面与防水转动电机的输出轴相连接，防水转动电机通过电机箱安装在放置台的下端面，放置台侧壁的中部安装有延伸板，延伸板上端面的边沿铰接有固定架，固定架右端面的上端安装有固定板，固定板为弧形结构，固定架的右端安装有限位板，限位板为L型，放置台侧壁的上端设有圆孔，圆孔内安装有限位弹簧，限位弹簧的左端与固定板的右端面相连接，工作时，除料防水电动推杆伸缩运动将放置台升起，将需要除胶的晶棒放置到放置台上固定，然后除料防水电动推杆伸缩运动将晶棒侵入到水中，防水转动电机转动带动放置台转动，晶棒能够受热均匀，当需要清洗除胶池时，待水冷却后，将除胶池中的水放出，胶沉淀到沉淀盒中，将沉淀盒取出清理即可，从而除胶池清理时简便快捷。所述的清扫机构包括清扫支链，除胶池的上端面从左往右均匀设有清扫支链，清扫支链的中部安装有转动支链，转动支链的下端安装有去料支链，清扫支链包括清扫电动推杆，除胶池的上端面安装有清扫电动推杆，清扫电动推杆的顶端安装有清扫连接板，清扫连接板的中部设有凹槽，凹槽的下端安装有连接筒，连接筒的内部为中空结构，连接筒的下端面安装有圆板，圆板的中部设有圆槽，圆槽的直径与连接筒的内径相同，转动支链包括转动筒，连接筒内通过轴承安装有转动筒，转动筒的内部沿其周向方向均匀设有清扫刷，转动筒的上端穿过凹槽且转动筒的侧壁上安装有从动齿轮，从动齿轮的前端啮合有主动齿轮，主动齿轮的下端面与转动轴的上端面相连接，转动轴的下端面通过联轴器与清扫电机的输出轴相连接，清扫电机通过电机架安装在清扫连接板的下端面，去料支链包括去料电动滑块，圆板的下端面沿其周向方向均匀设有滑槽，滑槽内通过滑动配合的方式安装有去料电动滑块，去料电动滑块的下端面安装有去料连接板，去料连接板的下端面安装有去料卡齿，转动筒的下端面与去料卡齿的下端在同一高度，工作时，当需要去除边角料时，清扫电动推杆伸缩运动带动去料支链向下运动，去料卡齿卡接到需要去除的边角料上，然后去料电动滑块与除胶防水电动推杆同时工作，去料电动滑块向左运动将边角料向左推动，同时除胶防水电动推杆伸缩运动将需要的晶棒向上推动，当需要对晶棒进行清扫时，清扫电机通过主动齿轮带动从动齿轮转动，可以带动转动筒转动，转动筒内的清扫刷能够对转动筒内的晶棒进行清扫，从而能够快速的将晶棒的边角料去除，同时能够对晶棒进行清扫，除胶步骤简单，工作效率高。工作时，首先，除料防水电动推杆伸缩运动将放置台升起，将需要除胶的晶棒放置到放置台上固定，然后除料防水电动推杆伸缩运动将晶棒侵入到水中，防水转动电机转动带动放置台转动，晶棒能够受热均匀；然后，当需要去除边角料时，清扫电动推杆伸缩运动带动去料支链向下运动，去料卡齿卡接到需要去除的边角料上，然后去料电动滑块与除胶防水电动推杆同时工作，去料电动滑块向左运动将边角料向左推动，同时除胶防水电动推杆伸缩运动将需要的晶棒向上推动；接着，当需要对晶棒进行清扫时，清扫电机通过主动齿轮带动从动齿轮转动，可以带动转动筒转动，转动筒内的清扫刷能够对转动筒内的晶棒进行清扫；最后，当需要清洗除胶池时，待水冷却后，将除胶池中的水放出，胶沉淀到沉淀盒中，将沉淀盒取出清理即可，可以解决人工除胶时容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、去胶池清扫困难、人工除胶步骤繁琐和工作效率低等问题，可以实现对晶棒的高效快速除胶。本技术的有益效果在于：一、本技术可以解决人工除胶时容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、去胶池清扫困难、人工除胶步骤繁琐和工作效率低等问题，可以实现对晶棒的高效快速除胶，具有操作简单、安全，工作效率高和去胶池清扫方便的优点。二、本技术设置有去料支链，去料支链能够快速的将晶棒四周的边角料去除，避免了被水烫伤；三、本技术设置有除料机构和清扫机构，防水转动电机能够使晶棒受热均匀，在去料同时能够对晶棒进行清扫，简化了除胶步骤，工作效率高；四、本技术的沉淀盒能够收集水冷却后的胶，使得除胶池清理简单方便。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的立体结构示意图；图2是本技术图1的剖面图；图3是本技术的除胶池与除料机构之间的立体结构示意图；图4是本技术图3的A向放大示意图；图5是本技术的除胶池与清扫机构之间的立体结构示意图；图6是本技术图5的B向放大示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。如图1至图6所示，一种硅片生产用除胶机构，包括除胶池1、除料机构2和清扫机构3，所述的除胶池1为内部中空的无盖结构，除胶池1内部的下端安装有除料机构2，除胶池1的上端面安装有清扫机构3。所述的除料机构2包括倾斜板21，除胶池1前后内侧面的下端安装有倾斜板21，倾斜板21的下方安装有沉淀盒22，倾斜板21的上端面从左往右均匀设有除料台23，除料台23的上端面安装有除料防水电动推杆24，除料防水电动推杆24的顶端安装有除料支撑板25，除料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片生产用除胶机构，包括除胶池(1)、除料机构(2)和清扫机构(3)，其特征在于：所述的除胶池(1)为内部中空的无盖结构，除胶池(1)内部的下端安装有除料机构(2)，除胶池(1)的上端面安装有清扫机构(3)；其中：/n所述的除料机构(2)包括倾斜板(21)，除胶池(1)前后内侧面的下端安装有倾斜板(21)，倾斜板(21)的下方安装有沉淀盒(22)，倾斜板(21)的上端面从左往右均匀设有除料台(23)，除料台(23)的上端面安装有除料防水电动推杆(24)，除料防水电动推杆(24)的顶端安装有除料支撑板(25)，除料支撑板(25)的上端面设有通孔，除料支撑板(25)的上端面从左往右均匀设有除料支链(26)；/n所述的清扫机构(3)包括清扫支链(31)，除胶池(1)的上端面从左往右均匀设有清扫支链(31)，清扫支链(31)的中部安装有转动支链(32)，转动支链(32)的下端安装有去料支链(33)；/n所述的清扫支链(31)包括清扫电动推杆(311)，除胶池(1)的上端面安装有清扫电动推杆(311)，清扫电动推杆(311)的顶端安装有清扫连接板(312)，清扫连接板(312)的中部设有凹槽，凹槽的下端安装有连接筒(313)，连接筒(313)的内部为中空结构，连接筒(313)的下端面安装有圆板(314)，圆板(314)的中部设有圆槽，圆槽的直径与连接筒(313)的内径相同。/n...

【技术特征摘要】
1.一种硅片生产用除胶机构，包括除胶池(1)、除料机构(2)和清扫机构(3)，其特征在于：所述的除胶池(1)为内部中空的无盖结构，除胶池(1)内部的下端安装有除料机构(2)，除胶池(1)的上端面安装有清扫机构(3)；其中：
所述的除料机构(2)包括倾斜板(21)，除胶池(1)前后内侧面的下端安装有倾斜板(21)，倾斜板(21)的下方安装有沉淀盒(22)，倾斜板(21)的上端面从左往右均匀设有除料台(23)，除料台(23)的上端面安装有除料防水电动推杆(24)，除料防水电动推杆(24)的顶端安装有除料支撑板(25)，除料支撑板(25)的上端面设有通孔，除料支撑板(25)的上端面从左往右均匀设有除料支链(26)；
所述的清扫机构(3)包括清扫支链(31)，除胶池(1)的上端面从左往右均匀设有清扫支链(31)，清扫支链(31)的中部安装有转动支链(32)，转动支链(32)的下端安装有去料支链(33)；
所述的清扫支链(31)包括清扫电动推杆(311)，除胶池(1)的上端面安装有清扫电动推杆(311)，清扫电动推杆(311)的顶端安装有清扫连接板(312)，清扫连接板(312)的中部设有凹槽，凹槽的下端安装有连接筒(313)，连接筒(313)的内部为中空结构，连接筒(313)的下端面安装有圆板(314)，圆板(314)的中部设有圆槽，圆槽的直径与连接筒(313)的内径相同。


2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用除胶机构，其特征在于：所述的除料支链(26)包括放置台(261)，通孔内通过轴承安装有放置台(261)，放置台(261)的下端面与防水转动电机(262)的输出轴相连接，防水转动电机(262)通过电机箱(263)安...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵续凯，
申请(专利权)人：西安科技成果转化工程有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61