有机电致发光元件用电极、有机电致发光元件、有机电致发光显示装置和有机电致发光元件用电极的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供：通过降低可见光区域的反射率来抑制外部反射、且能够任意地调整功函数、而能用于有机EL元件的阳极、阴极中的任一者的有机EL元件用电极；以及有机EL元件用电极的制造方法。通过有机EL元件用电极(20)解决，所述有机EL元件用电极(20)包含：以金属或合金为主要成分的导电层(1)、设置在该导电层上的可见光区域的反射率为40％以下的黑化层(2)、和设置在该黑化层上且具有规定的功函数的由透明导电氧化物构成的功函数调整层(3)，所述有机电致发光元件用电极的可见光区域的反射率为10％以下，薄层电阻为1Ω/sq以下。

Manufacturing methods of electrodes for organic light-emitting elements, organic light-emitting elements, organic light-emitting display devices and electrodes for organic light-emitting elements

The invention provides an organic EL element electrode which can suppress external reflection by reducing the reflectivity of visible light area, and can adjust work function arbitrarily, and can be used for either anode or cathode of the organic EL element, and a manufacturing method of the electrode for the organic EL element. The electrode (20) for the organic EL element comprises a conductive layer (1) with metal or alloy as the main component, a blackening layer (2) with a reflectivity of less than 40% of the visible light area arranged on the conductive layer, and a work function adjusting layer (3) composed of transparent conductive oxide arranged on the blackening layer and having a specified work function The reflectivity of the visible light region of the electrode for the electroluminescent element is less than 10%, and the resistance of the thin layer is less than 1 \u03a9 / sq.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机电致发光元件用电极、有机电致发光元件、有机电致发光显示装置和有机电致发光元件用电极的制造方法
本专利技术涉及有机电致发光元件用电极、有机电致发光元件、有机电致发光显示装置和有机电致发光元件用电极的制造方法。
技术介绍
近年来，有机电致发光元件(以下称为有机EL元件)被用于各种领域中，特别是被用于智能手机的显示器、薄型电视机等的显示器件、照明器具等用途中。用于使用了有机EL元件的显示装置、照明装置的有机EL面板可根据光的提取方向的不同而大致分为顶部发光型和底部发光型这两种。顶部发光型中，在基板上形成有TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)层，在其上层叠有电极和有机EL层等各层。顶部发光型是从基板的相反侧、即与TFT电路相反一侧提取光的类型。另一方面，底部发光型是从基板侧、即TFT电路以外的区域提取光的类型。顶部发光型的有机EL元件与底部发光型的有机EL元件相比，不受TFT、布线等遮光物的制约，可以确保高的开口率，因此适合于高亮度和高清晰度化。在顶部发光型的有机EL面板中，以往需要在面板表面设置圆偏振板来防止TFT和有机EL元件用电极的外部光反射，由于必需将几片圆偏振膜重叠故难以制作挠性的有机EL面板。要省略圆偏振板则需要防止TFT和有机EL元件的外部光反射。可以通过黑色矩阵来防止自TFT阵列的外部光反射，但是对于有机EL元件的阳极而言，需要电极的反射率低、具有导电性、且需要功函数大的材料。另外，在将反射电极侧作为阴极使用的情况下，则需要功函数小的材料。专利文献1涉及不使用圆偏振膜、且防止EL发光装置的镜面化的技术，其记载有：设置有由氧化物导电膜构成的阳极或阴极、以及遮光膜的EL发光元件。专利文献2涉及在防反射层中使用了钼或氧化铬的有机EL显示元件，其记载有：为了防止金属电极的外部光反射，使用钼或氧化铬作为防反射层。专利文献3涉及自阴极的周围光反射的情况得到抑制的有机发光器件，其记载有：作为反射抑制层而使用氧化锌等n型半导体、六硼化钙。专利文献4涉及构成EL显示装置的EL用彩色膜，其记载有：作为EL用彩色膜的防反射层的材料，使用氧化钼等光吸收性的氧化物。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2002－033185号公报专利文献2:日本特开2004－303481号公报专利文献3:日本特开2001－332391号公报专利文献4:日本特开2003－017263号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题就专利文献1至4而言，有机EL元件中，为了防止外部反射而设置遮光膜、防反射层，但是并未实现可见光区域的反射率低、具有良好的导电性且功函数可调整的电极构成。另外，尚未实现可见光区域的反射率低、具有良好的导电性且功函数可调整的、能够一并蚀刻的电极构成。本专利技术是鉴于上述课题而完成的，本专利技术的目的在于，提供：通过降低可见光区域的反射率来抑制外部反射、且能够任意地调整功函数、能够适用于有机EL元件的阳极、阴极中的任一者的有机EL元件用电极；以及有机EL元件用电极的制造方法。本专利技术的其他目的在于，提供：可见光区域的反射率低、具有良好的导电性且功函数可调整的、能够一并蚀刻的有机EL元件用电极；以及有机EL元件用电极的制造方法。用于解决课题的方案上述课题可通过本专利技术的有机电致发光元件用电极解决，本专利技术的有机电致发光元件用电极包含：以金属或合金为主要成分的导电层、设置在该导电层上的可见光区域的反射率为40％以下的黑化层、和设置在该黑化层上且具有规定的功函数的由透明导电氧化物构成的功函数调整层，所述有机电致发光元件用电极的可见光区域的反射率为10％以下，薄层电阻为1Ω/sq以下。根据上述构成，在导电层上设有黑化层和功函数调整层，因此可以提供通过降低可见光区域的反射率而抑制了外部反射、并且薄层电阻值小、能够任意调整功函数的有机EL元件用电极。从而，能够形成无偏振板的挠性的有机EL面板。此时，上述有机电致发光元件用电极优选由3层构成，所述三层包括上述导电层、上述黑化层和上述功函数调整层。由此，具备了具有低的可见光区域的反射率和充分的导电性、能够作为阳极使用也能够作为阴极使用的优点，并且由于由3层的较少层数构成，因此容易进行电极的制造，并且可以减薄电极。此时，上述导电层优选为以选自包含Al、Cu、Ag、Mo、Cr的组中的一种以上的金属为主要成分的金属或合金。通过使用这些金属或合金，可以通过溅射法等简单的工艺来层叠导电层，可以实现低的薄层电阻。此时，上述黑化层优选由以Mo或Zn为主要成分的低级氧化物、低级氮化物或低级氧氮化物构成。由此，通过使用在可见光区域中具有高吸光度的导电性的物质作为黑化层，可以实现低的可见光区域的反射率和良好的导电性。此时，上述功函数调整层由以In2O3或ZnO为基体的透明导电氧化物构成，优选的是，由在In2O3中添加有选自包含Ga、Ce、Zn、Sn、Si、W、Ti的组中的一种以上的透明导电氧化物构成，或者，由在ZnO中添加有选自包含Al或Ga的组中的一种以上的透明导电氧化物构成。由此，通过使用能够掺杂各种金属、并根据掺杂剂的添加量而能够调整功函数的透明导电氧化物作为功函数调整层，从而可以提供可以作为阳极使用也可以作为阴极使用、并且可见光区域的反射率低的电极。此时，优选的是，上述功函数调整层的功函数为4.6eV以下，上述有机电致发光元件用电极可作为有机电致发光元件的阴极使用，或者上述功函数调整层的功函数为4.7eV以上，上述有机电致发光元件用电极可作为有机电致发光元件的阳极使用。由此，功函数调整层的功函数对应于添加到成为基体的透明导电氧化物中的掺杂剂的种类和添加量而被调整，因此能够作为有机EL元件的阳极使用也能够作为阴极使用。上述课题可以通过具备本专利技术的有机电致发光元件用电极的有机电致发光元件、以及具备上述有机电致发光元件且不具备偏振板的有机电致发光显示装置解决。由此，本专利技术的有机电致发光元件用电极的可见光区域的反射率降低，因此在作为有机EL元件、和有机EL显示装置的电极使用的情况下可抑制外部反射，可以提供无偏振板的有机EL显示装置。上述课题可通过本专利技术的有机电致发光元件用电极的制造方法来解决，所述有机电致发光元件用电极的制造方法进行下述工序：导电层层叠工序，在基材上层叠以选自包含Al、Cu、Ag、Mo、Cr的组中的一种以上的金属为主要成分的导电层；黑化层层叠工序，在上述导电层上层叠由以Mo或Zn为主要成分的低级氧化物、低级氮化物或低级氧氮化物构成、且可见光区域的反射率为40％以下的黑化层；功函数调整层层叠工序，在上述黑化层上层叠由以In2O3或ZnO为基体的透明导电氧化物构成、且具有规定的功函数的功函数调整层；以及蚀刻工序，一并蚀刻已层叠的上述导电层、上述黑化层和上述功函数调整层。由此，由于用合适的材料形成了导电层、黑化层和功函数本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机电致发光元件用电极，其特征在于，包含：/n以金属或合金为主要成分的导电层、/n设置在该导电层上的可见光区域的反射率为40％以下的黑化层、和/n设置在该黑化层上且具有规定的功函数的由透明导电氧化物构成的功函数调整层，/n所述有机电致发光元件用电极的可见光区域的反射率为10％以下，/n薄层电阻为1Ω/sq以下。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170329 JP 2017-0655981.一种有机电致发光元件用电极，其特征在于，包含：
以金属或合金为主要成分的导电层、
设置在该导电层上的可见光区域的反射率为40％以下的黑化层、和
设置在该黑化层上且具有规定的功函数的由透明导电氧化物构成的功函数调整层，
所述有机电致发光元件用电极的可见光区域的反射率为10％以下，
薄层电阻为1Ω/sq以下。


2.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述有机电致发光元件用电极由3层构成，所述3层包括所述导电层、所述黑化层和所述功函数调整层。


3.根据权利要求1或2所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述导电层是以选自包含Al、Cu、Ag、Mo、Cr的组中的一种以上的金属为主要成分的金属或合金。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述黑化层由以Mo或Zn为主要成分的低级氧化物、低级氮化物或低级氧氮化物构成。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述功函数调整层由以In2O3或ZnO为基体的透明导电氧化物构成。


6.根据权利要求5所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述功函数调整层由在In2O3中添加有选自包含Ga、Ce、Zn、Sn、Si、W、Ti的组中的一种以上的透明导电氧化物构成。


7.根据权利要求5所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述功函数调整层由在ZnO中添加有选自包含Al或Ga的组中的一种以上的透明导电氧化物构成。

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【专利技术属性】
技术研发人员：伊东孝洋，
申请(专利权)人：吉奥马科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP