TFT基板和具备TFT基板的扫描天线制造技术

TFT基板(106)具有电介质基板(1)和在电介质基板上排列的多个天线单位区域(U)。多个天线单位区域各自具有：TFT(10)；贴片电极(15)，其电连接到TFT的漏极电极(7D)；辅助电容电极(7C)，其与漏极电极电连接；第1辅助电容相对电极(3C)，其隔着电介质层(4)与辅助电容电极相对；以及第2辅助电容相对电极(15C)，其位于辅助电容电极的与第1辅助电容相对电极相反的一侧，隔着其它电介质层(11)与辅助电容电极相对。

TFT substrate and scanning antenna with TFT substrate

The TFT substrate (106) has a dielectric substrate (1) and a plurality of antenna unit areas (U) arranged on the dielectric substrate. A plurality of antenna unit areas are respectively provided with: TFT (10); patch electrode (15), which is electrically connected to the drain electrode (7D) of TFT; auxiliary capacitor electrode (7c), which is electrically connected with the drain electrode; the first auxiliary capacitor relative electrode (3C), which is separated by a dielectric layer (4) and is opposite to the auxiliary capacitor electrode; and the second auxiliary capacitor relative electrode (15C), which is located at the auxiliary capacitor electrode, which is opposite to the first auxiliary capacitor electrode The opposite side of the electrode is opposite to the auxiliary capacitance electrode through other dielectric layers (11).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】TFT基板和具备TFT基板的扫描天线
本专利技术涉及扫描天线，特别是涉及天线单位(有时也称为“元件天线”。)具有液晶电容的扫描天线(有时也称为“液晶阵列天线”。)和这种扫描天线所使用的TFT基板。
技术介绍
移动体通信或卫星广播用天线需要能改变波束的方向(被称为“波束扫描”或者“波束定向(beamsteering)”。)的功能。作为具有这种功能的天线(以下称为“扫描天线(scannedantenna)”。)，已知具备天线单位的相控阵列天线。但是，现有的相控阵列天线的价格高，这成为向消费品普及的障碍。特别是，当天线单位的数量增加时，成本会显著上升。因此，已提出利用了液晶材料(包括向列液晶、高分子分散液晶)的大的介电各向异性(双折射率)的扫描天线(专利文献1～5和非专利文献1)。液晶材料的介电常数具有频率分散性，因此在本说明书中将微波的频带中的介电常数(有时也称为“相对于微波的介电常数”。)特别标记为“介电常数M(εM)”。在专利文献3和非专利文献1中，记载了通过利用液晶显示装置(以下称为“LCD”。)的技术能得到价格低的扫描天线。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2007-116573号公报专利文献2：特开2007-295044号公报专利文献3：特表2009-538565号公报专利文献4：特表2013-539949号公报专利文献5：国际公开第2015/126550号非专利文献非专利文献1：R.A.Stevensonetal.，“RethinkingWirelessCommunications：AdvancedAntennaDesignusingLCDTechnology”，SID2015DIGEST，pp.827-830.非专利文献2：M.ANDOetal.，“ARadialLineSlotAntennafor12GHzSatelliteTVReception”，IEEETransactionsofAntennasandPropagation，Vol.AP-33，No.12，pp.1347-1353(1985).
技术实现思路
专利技术要解决的问题如上所述，虽然已知通过应用LCD技术来实现价格低的扫描天线这样的想法，但是没有具体地记载了利用LCD技术的扫描天线的结构、其制造方法以及其驱动方法的文献。因此，本专利技术的目的在于提供能利用现有的LCD的制造技术批量生产的扫描天线和这种扫描天线所使用的TFT基板。用于解决问题的方案本专利技术的实施方式的TFT基板具有电介质基板和在上述电介质基板上排列的多个天线单位区域，上述多个天线单位区域各自具有：TFT；贴片电极，其电连接到上述TFT的漏极电极；辅助电容电极，其与上述漏极电极电连接；第1辅助电容相对电极，其隔着电介质层与上述辅助电容电极相对；以及第2辅助电容相对电极，其位于上述辅助电容电极的与上述第1辅助电容相对电极相反的一侧，隔着其它电介质层与上述辅助电容电极相对。在某实施方式中，上述第1辅助电容相对电极或上述第2辅助电容相对电极由包含上述贴片电极的导电层形成。在某实施方式中，上述第1辅助电容相对电极或上述第2辅助电容相对电极包含透明导电层。在某实施方式中，上述第1辅助电容相对电极和上述第2辅助电容相对电极被供应共用的电压。在某实施方式中，上述第2辅助电容相对电极包含于比包含上述第1辅助电容相对电极的导电层靠上的导电层，上述第2辅助电容相对电极的边缘包含在从上述电介质基板的法线方向观看时位于上述辅助电容电极的内侧的部分。在某实施方式中，上述辅助电容电极的边缘包含在从上述电介质基板的法线方向观看时位于上述第1辅助电容相对电极的内侧的部分。在某实施方式中，在上述电介质层和上述其它电介质层形成有到达上述第1辅助电容相对电极的接触孔，上述第2辅助电容相对电极在上述接触孔内与上述第1辅助电容相对电极电连接。在某实施方式中，上述TFT基板具有：栅极金属层，其支撑于上述电介质基板，包含上述TFT的栅极电极；源极金属层，其支撑于上述电介质基板，包含上述TFT的源极电极；以及栅极绝缘层，其形成在上述栅极金属层与上述源极金属层之间，上述辅助电容电极包含于上述源极金属层，上述第1辅助电容相对电极包含于上述栅极金属层，上述电介质层是上述栅极绝缘层。在某实施方式中，上述TFT基板还具有：第1绝缘层，其形成在上述栅极金属层和上述源极金属层之上；以及贴片金属层，其形成在上述第1绝缘层上，包含上述贴片电极。在某实施方式中，上述第2辅助电容相对电极包含于上述贴片金属层，上述其它电介质层是上述第1绝缘层。在某实施方式中，上述TFT基板还具有形成在上述第1绝缘层与上述贴片金属层之间的下部导电层。在某实施方式中，上述第2辅助电容相对电极包含于上述下部导电层，上述其它电介质层是上述第1绝缘层。在某实施方式中，上述TFT基板还具有：第2绝缘层，其形成在上述贴片金属层上；以及上部导电层，其形成在上述第2绝缘层上。在某实施方式中，上述第2辅助电容相对电极包含于上述上部导电层，上述其它电介质层包含上述第1绝缘层和上述第2绝缘层。在某实施方式中，上述上部导电层包含：第1上部导电层，其包含透明导电层；以及第2上部导电层，其形成在上述第1上部导电层之下，由从包括Ti层、MoNb层、MoNbNi层、MoW层、W层以及Ta层的组中选择的至少1个层形成。在某实施方式中，上述栅极金属层还包含连接到上述TFT的上述栅极电极的栅极总线，上述源极金属层还包含连接到上述TFT的上述源极电极的源极总线，上述源极总线形成为在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述栅极总线重叠的部分的宽度比与上述栅极总线不重叠的部分的宽度小。在某实施方式中，上述栅极总线形成为在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述源极总线重叠的部分的宽度比与上述源极总线不重叠的部分的宽度小。在某实施方式中，上述栅极金属层还包含电连接到上述第1辅助电容相对电极和上述第2辅助电容相对电极的CS总线，上述源极总线形成为在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述CS总线重叠的部分的宽度比与上述CS总线不重叠的部分的宽度小。在某实施方式中，上述CS总线形成为在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述源极总线重叠的部分的宽度比与上述源极总线不重叠的部分的宽度小。本专利技术的实施方式的扫描天线具备：上述任意一个TFT基板；缝隙基板，其以与上述TFT基板相对的方式配置；液晶层，其设置在上述TFT基板与上述缝隙基板之间；以及反射导电板，其以隔着电介质层与上述缝隙基板的与上述液晶层相反的一侧的表面相对的方式配置，上述缝隙基板具有：其它电介质基板；以及缝隙电极，其形成在上述其它电介质基板的上述液晶层侧的表面，上述缝隙电极具有多个缝隙，上述多个缝隙与上述TFT基板的上述多个天线单位区域中的上述贴片电极对应地配置。专利技术效果根据本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种TFT基板，其特征在于，/n具有电介质基板和在上述电介质基板上排列的多个天线单位区域，/n上述多个天线单位区域各自具有：/nTFT；/n贴片电极，其电连接到上述TFT的漏极电极；/n辅助电容电极，其与上述漏极电极电连接；/n第1辅助电容相对电极，其隔着电介质层与上述辅助电容电极相对；以及/n第2辅助电容相对电极，其位于上述辅助电容电极的与上述第1辅助电容相对电极相反的一侧，隔着其它电介质层与上述辅助电容电极相对。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170406 JP 2017-0761801.一种TFT基板，其特征在于，
具有电介质基板和在上述电介质基板上排列的多个天线单位区域，
上述多个天线单位区域各自具有：
TFT；
贴片电极，其电连接到上述TFT的漏极电极；
辅助电容电极，其与上述漏极电极电连接；
第1辅助电容相对电极，其隔着电介质层与上述辅助电容电极相对；以及
第2辅助电容相对电极，其位于上述辅助电容电极的与上述第1辅助电容相对电极相反的一侧，隔着其它电介质层与上述辅助电容电极相对。


2.根据权利要求1所述的TFT基板，
上述第1辅助电容相对电极或上述第2辅助电容相对电极由包含上述贴片电极的导电层形成。


3.根据权利要求1或2所述的TFT基板，
上述第1辅助电容相对电极或上述第2辅助电容相对电极包含透明导电层。


4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的TFT基板，
上述第1辅助电容相对电极和上述第2辅助电容相对电极被供应共用的电压。


5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的TFT基板，
上述第2辅助电容相对电极包含于比包含上述第1辅助电容相对电极的导电层靠上的导电层，上述第2辅助电容相对电极的边缘包含在从上述电介质基板的法线方向观看时位于上述辅助电容电极的内侧的部分。


6.根据权利要求5所述的TFT基板，
上述辅助电容电极的边缘包含在从上述电介质基板的法线方向观看时位于上述第1辅助电容相对电极的内侧的部分。


7.根据权利要求5或6所述的TFT基板，
在上述电介质层和上述其它电介质层形成有到达上述第1辅助电容相对电极的接触孔，上述第2辅助电容相对电极在上述接触孔内与上述第1辅助电容相对电极电连接。


8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的TFT基板，
具有：
栅极金属层，其支撑于上述电介质基板，包含上述TFT的栅极电极；
源极金属层，其支撑于上述电介质基板，包含上述TFT的源极电极；以及
栅极绝缘层，其形成在上述栅极金属层与上述源极金属层之间，
上述辅助电容电极包含于上述源极金属层，
上述第1辅助电容相对电极包含于上述栅极金属层，
上述电介质层是上述栅极绝缘层。


9.根据权利要求8所述的TFT基板，
还具有：
第1绝缘层，其形成在上述栅极金属层和上述源极金属层之上；以及
贴片金属层，其形成在上述第1绝缘层上，包含上述贴片电极。


10.根据权利要求9所述的TFT基板，
上述第2辅助电容相对电极包含于上述贴片金属层，
上述其它电介质层是上述第1绝缘层。


11.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：美崎克纪，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP