清洗装置及其供液设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了清洗装置及其供液设备，所述供液设备包括加热箱、保温箱、连通管道以及连通阀门。其中，所述加热箱包括加热箱体、入液管道和设置于加热箱体内的第一加热器。所述入液管道用于使加热箱体和液源连通；保温箱包括保温箱体和出液管道，所述出液管道用于使保温箱体和受液设备连通；所述连通管道连通加热箱体和保温箱体；所述连通阀门设置于连通管道上，所述连通阀门打开或关闭以使连通管道流通或截止。所述供液设备可利用保温箱为受液设备输送预先暂存的液体的同时，利用加热箱对液源引入的液体进行加热。因此，利用所述供液设备向作为受液设备的清洗设备进行供液可以无需等待加热的流程，节省了等待加热耗费的时间，提高生产效率。

Cleaning device and its liquid supply equipment

The utility model discloses a cleaning device and a liquid supply device, which comprises a heating box, a heat preservation box, a connecting pipeline and a connecting valve. The heating box includes a heating box body, a liquid inlet pipe and a first heater arranged in the heating box body. The liquid inlet pipe is used to connect the heating box and the liquid source; the heat preservation box includes a heat preservation box and a liquid outlet pipe, and the liquid outlet pipe is used to connect the heat preservation box and the liquid receiving equipment; the connecting pipe is used to connect the heating box and the heat preservation box; the connecting valve is arranged on the connecting pipe, and the connecting valve is opened or closed to make the connecting pipe flow or stop. The liquid supply equipment can use the heat preservation box to transport the liquid temporarily stored in advance for the liquid receiving equipment, while using the heating box to heat the liquid introduced by the liquid source. Therefore, using the liquid supply equipment to supply liquid to the cleaning equipment as the liquid receiving equipment can save the time of waiting for heating and improve the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
清洗装置及其供液设备
本技术涉及半导体材料的清洗的
,尤其涉及清洗装置及其供液设备。
技术介绍
目前，在硅片等半导体材料在切割及脱胶过程中，硅片等半导体材料的表面容易粘附大量的切割液、残料以及胶丝等其他物体的残留，这些残留物体会严重影响产品的品质，因此，对硅片等半导体材料的清洗工序必须使用加热后的纯水等较高温度的液体进行清洗才可以满足生产需求。现有技术中，常常是将纯水加入到清洗机的漂洗槽内，然后再通过槽体内部的加热器对纯水加热后，才能开始为待清洗对象进行清洗，该加热过程需要耗费一定的时间，不利于提高生产效率。
技术实现思路
鉴于现有技术的不足，本技术提供了清洗装置及其供液设备，以解决上述问题。为了实现上述目的，本技术采取了以下的技术方案：一种供液设备，所述供液设备包括加热箱、保温箱、连通管道以及连通阀门，其中，所述加热箱包括加热箱体、入液管道和设置于所述加热箱体内的第一加热器，所述入液管道用于使所述加热箱体和液源连通；所述保温箱包括保温箱体和出液管道，所述出液管道用于使所述保温箱体和受液设备连通；所述连通管道连通所述加热箱体和所述保温箱体；所述连通阀门，设置于所述连通管道上，所述连通阀门打开或关闭，以使所述连通管道流通或截止。优选地，所述加热箱还包括设置于所述加热箱体内的第一温度传感器；所述连通阀门根据所述第一温度传感器探测到的所述加热箱体内的液体温度是否达到预设温度来打开或关闭。优选地，所述加热箱还包括设置于所述加热箱体内的第一低液位检测传感器和第一高液位检测传感器，所述第一低液位检测传感器于所述加热箱体内所处的高度小于所述第一高液位检测传感器于所述加热箱体内所处的高度，所述供液设备还包括设置于所述入液管道上的入液阀门，所述入液阀门根据第一低液位检测传感器或第一高液位检测传感器检测到的所述加热箱体内的液位来打开或关闭。优选地，所述连通阀门根据第一低液位检测传感器检测到的所述加热箱体内的液位来打开或关闭。优选地，所述保温箱还包括设置于所述保温箱体内的第二加热器。优选地，所述保温箱还包括设置于所述保温箱体内的第二温度传感器；所述供液设备还包括：控制器，所述控制器用于根据所述第二温度传感器探测到的所述保温箱体内的液体温度低于预设温度时控制所述第二加热器进行加热。优选地，所述保温箱还包括设置于所述保温箱体内的第二低液位检测传感器和第二高液位检测传感器，所述第二低液位检测传感器于所述保温箱体内所处的高度小于所述第二高液位检测传感器于所述保温箱体内所处的高度。所述供液设备还包括设置于所述出液管道上的出液阀门，所述出液阀门根据第二低液位检测传感器或第二高液位检测传感器检测到的所述保温箱体内的液位来打开或关闭。优选地，所述连通阀门根据第二低液位检测传感器或第二高液位检测传感器检测到的所述保温箱体内的液位来打开或关闭。优选地，所述加热箱体和/或所述保温箱体上设置有溢液口。本技术还提供了一种清洗装置，包括清洗设备和如上所述的供液设备，所述清洗设备为通过所述出液管道与所述供液设备连通的受液设备。本技术提供的清洗装置及其供液设备，通过设置供液设备的加热箱和保温箱，以加热箱中的第一加热器对液体加热至预设温度并暂存于保温箱中。当作为受液设备的清洗设备需要使用加热后的液体时，所述保温箱可实时地为其输送预先暂存的加热后的液体，与此同时，所述加热箱可对液源引入的待加热的液体进行加热，再次准备将加热后的液体存入所述保温箱中，以通过所述保温箱再次向受液设备输送加热后的液体。因此，利用所述供液设备向作为受液设备的清洗设备进行供液，可以无需等待加热的流程，节省了等待加热过程耗费的时间，提高了生产效率。附图说明图1是本技术实施例提供的供液设备分别连通液源和受液设备的示意图；图2是所述供液设备中的加热箱的结构示意图；图3是所述供液设备中的保温箱的结构示意图。附图标记说明：加热箱1，加热箱体11，入液管道12，入液阀门121，第一手动阀门122，第一加热器13，第一低液位检测传感器141，第一高液位检测传感器142，第一温度传感器15；保温箱2，保温箱体21，出液管道22，出液阀门221，第二手动阀门222，第二加热器23，第二低液位检测传感器241，第二高液位检测传感器242，第二温度传感器25；连通管道3，连通阀门31，第三手动阀门32；溢液口4；变频水泵5；液源100，受液设备200。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。这些优选实施方式的示例在附图中进行了例示。附图中所示和根据附图描述的本技术的实施方式仅仅是示例性的，并且本技术并不限于这些实施方式。在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本技术，在附图中仅仅示出了与根据本技术的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本技术关系不大的其他细节。参照图1所示，本技术实施例提供了一种供液设备，所述供液设备包括加热箱1、保温箱2、连通管道3以及连通阀门31。其中，如图2所示，所述加热箱1包括加热箱体11、入液管道12和设置于所述加热箱体11内的第一加热器13，所述入液管道12用于使所述加热箱体11和液源100连通。如图3所示，所述保温箱2包括保温箱体21和出液管道22，所述出液管道22用于使所述保温箱体21和受液设备200连通。所述连通管道3连通所述加热箱体1和所述保温箱体21。所述连通阀门31设置于所述连通管道3上，所述连通阀门31打开或关闭，以使所述连通管道3流通或截止。本技术提供的供液设备，通过设置加热箱1和保温箱2，先从入液管道12向所述加热箱体11引入一定量待加热的液体，利用所述加热箱体11中的第一加热器13对液体进行加热；待加热至所需预设温度后，打开所述连通阀门31，使加热箱体11内的被加热的液体流入所述保温箱体21中进行暂存；待所述保温箱体21中存储所需量的被加热的液体后，关闭所述连通阀门31，重新从入液管道12向所述加热箱体11引入液体进行加热，在一边利用所述加热箱1对液体进行加热的同时，一边能实时地先将保温箱体21中的被加热的液体提供给受液设备200。当应用于清洗装置中时，所述供液设备通过其出液管道22与清洗设备连通，清洗设备的清洗槽可通过所述保温箱体21实时获取被加热箱体11加热后的热水，清洗流程与所述加热箱体11中的加热过程可以同步进行，无需等待加热水的流程即可开始进行清洗，节省了等待加热过程耗费的时间，提高了生产效率。结合图1和图2所示，具体地，所述加热箱1还包括设置于所述加热箱体11内的第一温度传感器15；所述连通阀门31根据所述第一温度传感器15探测到的所述加热箱体11内的液体温度是否达到预设温度来打开或关闭。当所述第一温度传感器15探测到所述加热箱体11内的液体温度未达到预设温度，所述连通阀门31关闭，当确认达到预设温度，所述连通阀门31打开。示例性地，为提高温度检测的精准度，可在所述加热箱体11的底部设置多个第一温度传感器15以分别对液体温度进行检测。进一步地，在本实施例中，所述第一加热器13根据所述第一温度传感器15探测到的所述加热箱体11内的液体温度是否达到预设温度来进行启动或停止，以实现自动对液体进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供液设备，其特征在于，所述供液设备包括：加热箱(1)，包括加热箱体(11)、入液管道(12)和设置于所述加热箱体(11)内的第一加热器(13)，所述入液管道(12)用于使所述加热箱体(11)和液源(100)连通；保温箱(2)，包括保温箱体(21)和出液管道(22)，所述出液管道(22)用于使所述保温箱体(21)和受液设备(200)连通；连通管道(3)，连通所述加热箱体(11)和所述保温箱体(21)；连通阀门(31)，设置于所述连通管道(3)上，所述连通阀门(31)打开或关闭，以使所述连通管道(3)流通或截止。

【技术特征摘要】
1.一种供液设备，其特征在于，所述供液设备包括：加热箱(1)，包括加热箱体(11)、入液管道(12)和设置于所述加热箱体(11)内的第一加热器(13)，所述入液管道(12)用于使所述加热箱体(11)和液源(100)连通；保温箱(2)，包括保温箱体(21)和出液管道(22)，所述出液管道(22)用于使所述保温箱体(21)和受液设备(200)连通；连通管道(3)，连通所述加热箱体(11)和所述保温箱体(21)；连通阀门(31)，设置于所述连通管道(3)上，所述连通阀门(31)打开或关闭，以使所述连通管道(3)流通或截止。2.根据权利要求1所述的供液设备，其特征在于，所述加热箱(1)还包括设置于所述加热箱体(11)内的第一温度传感器(15)，所述连通阀门(31)根据所述第一温度传感器(15)探测到的所述加热箱体(11)内的液体温度是否达到预设温度来打开或关闭。3.根据权利要求1或2所述的供液设备，其特征在于，所述加热箱(1)还包括设置于所述加热箱体(11)内的第一低液位检测传感器(141)和第一高液位检测传感器(142)，所述第一低液位检测传感器(141)于所述加热箱体(11)内所处的高度小于所述第一高液位检测传感器(142)于所述加热箱体(11)内所处的高度；所述供液设备还包括设置于所述入液管道(12)上的入液阀门(121)，所述入液阀门(121)根据第一低液位检测传感器(141)或第一高液位检测传感器(142)检测到的所述加热箱体(11)内的液位来打开或关闭。4.根据权利要求3所述的供液设备，其特征在于，所述连通阀门(31)根据第一低液位检测传感器(141)检测到的所述加热箱体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵凯，李春燕，王亮，杜立宁，刘海阳，张飞，朱延松，
申请(专利权)人：楚雄隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：云南,53