真空镀膜传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种真空镀膜传送装置，包括两个相互平行设置的传输架，各传输架的相对的一侧设置有两个传送轮，每个传输架的两个传送轮上缠绕有传输带，且每个传输架上的传送轮通过传输带同步转动；传输架上设置有一个以上用于支撑传输带的凸轮轴承随动器，凸轮轴承随动器设置于每个传输架上的传送轮之间；每个凸轮轴承随动器的一侧表面与两个传送轮的公切线相切。本实用新型专利技术中安装简单方便，通过凸轮轴承随动器减小传送过程的摩擦，结合U型传输架及钢带，在节省空间的同时，传动更高效。

Vacuum coating conveyor

The utility model provides a vacuum coating transmission device, which comprises two transmission racks arranged in parallel with each other, two transmission wheels are arranged on opposite sides of each transmission rack, two transmission wheels of each transmission rack are wrapped with a transmission belt, and the transmission wheels on each transmission rack rotate synchronously through the transmission belt; more than one cam bearing for supporting the transmission belt is arranged on the transmission rack The follower of the cam bearing is arranged between the transmission wheels on each transmission frame; one side surface of each cam bearing follower is tangent to the common tangent of the two transmission wheels. The utility model has the advantages of simple and convenient installation, reducing the friction in the transmission process through the cam bearing follower, combining with the U-shaped transmission frame and steel strip, which saves space and makes the transmission more efficient.

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜传送装置
本技术属于真空蒸镀
，尤其涉及一种真空镀膜传送装置。
技术介绍
有机发光显示屏，0LED，即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示(OrganicElectroluminesenceDisplay，0ELD)。因为具备轻薄、省电等特性，被广泛应用。OLED基片在进行蒸镀的过程中需要在真空腔体中有效的传送，由于在真空环境对传动部件的要求较高，大多数动能损耗较多，传送结构设计过程中配置多采用非标加工件作为传动主要部件，其磨损情况较为频繁，很容易导致传送结构后期维护周期长，成本高。同时，过多的传动步骤也会导致精准度的降低，增加传动精度控制的难度。
技术实现思路
为了解决现有技术的不足，本技术提供了一种真空镀膜传送装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种真空镀膜传送装置，包括两个相互平行设置的传输架，各所述传输架的相对的一侧设置有两个传送轮，每个所述传输架的两个传送轮上缠绕有传输带，且每个所述传输架上的传送轮通过传输带同步转动；所述传输架上设置有一个以上用于支撑所述传输带的凸轮轴承随动器，所述凸轮轴承随动器设置于每个传输架上的传送轮之间；每个所述凸轮轴承随动器的侧表面与两个所述传送轮的公切的传输带相切。优选地，所述传输架上还设置有同步传动机构，包括设置在各所述传输架上的第一传动轮和第二传动轮，及连接两个所述传输架的传动杆，两个所述第一传动轮分别设置于传动杆两端；各所述传输架上，所述第二传动轮与其中一个所述传送轮同轴连接；各所述传输架上，所述第一传动轮与第二传动轮之间通过传动带连接。优选地，还包括有驱动组件，所述驱动组件包括依次连接的万向接头，磁流体密封件及电机，所述万向接头远离磁流体密封件的一端与所述第一传动轮或第二传动轮连接。优选地，所述第一传动轮与第二传动轮为链轮，所述传动带与所述第一传动轮及第二传动轮相啮合。优选地，所述传动杆与所述传输架垂直设置，且所述传动杆有两个，分别为在两所述传输架之间平行的第一传动杆及第二传动杆，两所述传输架上的第一传动轮分别连接于所述第一传动杆的两端。优选地，各所述传输架上所述传送轮分别设置于传输架的两端，所述第二传动杆设置于传输架的端部，且所述第二传动杆的两端分别与两所述传输架上对应的传送轮同轴连接。优选地，所述传输架上设置有微型法兰轴承，所述传动杆通过所述微型法兰轴承与所述传输架固定位置。优选地，所述传输架上设置有位置传感器。优选地，所述传输带为传送钢带。优选地，所述装置还包括有设置在两传送轮之间的张紧轮，所述传输带绕过两个传送轮及张紧轮首尾相接。本技术的有益效果体现在：本技术中安装简单方便，通过凸轮轴承随动器减小传送过程的摩擦，所述凸轮轴承随动器为无油部件，在真空和环境中无需进行无油处理，不需要额外去油后重新涂抹硅脂达到真空环境预期的效果，缩短了抽真空的时间，提高了工作效率。附图说明图1：本技术的立体结构示意图。图2：本技术图1的俯视图。图3：本技术图2沿A-A线的剖视图。具体实施方式以下结合实施例具体阐述本技术的技术方案，本技术揭示了一种真空镀膜传送装置，结合图1-图3所示，包括两个相互平行设置的传输架1，各所述传输架1的相对的一侧设置有第一传送轮23及第二传送轮24，两个传送轮各设置于各所述传输架1的两端。且每个所述传输架1的两个传送轮上缠绕有传输带5，每个所述传输架1上的传送轮通过传输带5同步转动，传送样品8将通过传输带5进行传送。所述传输架1上设置有一个以上用于支撑所述传输带5的凸轮轴承随动器7，本实施例中，各所述凸轮轴承随动器7均匀间隔设置于每个传输架1上的第一传送轮23及第二传送轮24之间，每个所述凸轮轴承随动器7的侧表面与同一传输架上的两个传送轮的公切的传输带相切。所述凸轮轴承随动器7即随动轴承，凸轮导向器，可以做滚轮用。本技术采用所述凸轮轴承随动器作为传送的主要部件，可大大降低非标加工件的配合及摩擦问题，从而降低摩擦和传动时的阻力，提高传动效能，可更好的节省成本。所述凸轮轴承随动器7为无油部件，在真空和环境中无需进行无油处理，不需要额外去油后重新涂抹硅脂达到真空环境预期的效果，缩短了抽真空的时间，提高了工作效率。所述传输架1上还设置有同步传动机构，包括设置在各所述传输架1上的第一传动轮21和第二传动轮22，及连接两个所述传输架1的传动杆。所述传输架1上设置有微型法兰轴承71，所述传动杆通过所述微型法兰轴承71与所述传输架1固定位置，微型法兰轴承71使得传动杆的位置精度得到保证。具体的，所述传动杆设置有两个，且与所述传输架1垂直设置，分别为在两所述传输架1之间平行的第一传动杆6及第二传动杆61。第二传动杆61两端分别穿过两传输架，与两传输架上的第二传送轮24同轴连接，保证两传输架上传输带的同步运转。所述第一传动轮21分别设置于第一传动杆6两端，各所述传输架1上，所述第二传动轮22与第一传送轮23同轴连接，所述第一传动轮21与第二传动轮22之间通过传动带4连接。所述传动带4与所述第一传动轮21及第二传动轮22相啮合。本实施例中，第一传动轮21分别连接于所述第一传动杆6的两端，所述第一传动轮21与第二传动轮22为链轮，所述传输带5为采用粗糙度较小的传动钢带，使其传动摩擦小，传动更高效。本装置还包括有驱动组件，所述驱动组件包括依次连接的万向接头3，磁流体密封件及电机，所述万向接头3远离磁流体密封件的一端通过连接轴2与所述第一传动轮21或第二传动轮22连接。具体地，本装置主要应用在真空蒸镀设备中，所述电机设置在所述真空蒸镀设备外部，通过所述磁流体密封件与万向接头3传动连接，保证了所述真空蒸镀设备内部的密封性。本实施例图中，所述万向接头3与第一传动轮21连接，所述万向接头3在电机的驱动下，进行转动，从而驱动第一传动轮21转动，通过传动带4将带动传送轮的运转，从而使得传输带5做运输动作，相互传动的过程中，所述凸轮轴承随动器7也将随之一起运转以配合传输。本技术利用第一传动轮21、第二传动轮22、第一传动杆6、传动带4及第一传送轮23形成U型传动路线，避免传动轴位置太过刚性的传动，易引起扰度波动和设备损伤。为了更好的辅助传输和蒸镀，所述传输架1上设置有位置传感器，通过结合所述位置传感器给出的位置信息，所述电机能够按预定指令运作，控制传动轮和传输带5可以在传输过程中按照需求进行往复、来回的运输基片，从而达到蒸镀时基片上膜厚的均匀性。本实施例所述一种真空镀膜传送装置，还包括有张紧轮（图未示），所述张紧轮设置在两传送轮之间，所述传输带5绕过两个传送轮及张紧轮首尾相接，所述张紧轮用于增加传送轮与传输带5之间的摩擦力，避免打滑，确保精确传动。为了在有限空间能合理安排各组件，以更好的节省空间，所述的传输架上凹设有安装槽，所述传动轮及传动带设置于安装槽内，保证其传动不受干扰，传送轮设置在安装槽外，传送轮与传动轮通过传输架自身的安装槽形成的格挡进行位置的区分和定位。当然本技术尚有多种具体的实施方式，在此就不一一列举。凡采用等同替换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本技术要求保护的范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜传送装置，其特征在于：包括两个相互平行设置的传输架，各所述传输架的相对的一侧设置有两个传送轮，每个所述传输架的两个传送轮上缠绕有传输带，且每个所述传输架上的传送轮通过传输带同步转动；所述传输架上设置有一个以上用于支撑所述传输带的凸轮轴承随动器，所述凸轮轴承随动器设置于每个传输架上的传送轮之间；每个所述凸轮轴承随动器的侧表面与两个所述传送轮的公切的传输带相切。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜传送装置，其特征在于：包括两个相互平行设置的传输架，各所述传输架的相对的一侧设置有两个传送轮，每个所述传输架的两个传送轮上缠绕有传输带，且每个所述传输架上的传送轮通过传输带同步转动；所述传输架上设置有一个以上用于支撑所述传输带的凸轮轴承随动器，所述凸轮轴承随动器设置于每个传输架上的传送轮之间；每个所述凸轮轴承随动器的侧表面与两个所述传送轮的公切的传输带相切。2.如权利要求1所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：所述传输架上还设置有同步传动机构，包括设置在各所述传输架上的第一传动轮和第二传动轮，及连接两个所述传输架的传动杆，两个所述第一传动轮分别设置于传动杆两端；各所述传输架上，所述第二传动轮与其中一个所述传送轮同轴连接；各所述传输架上，所述第一传动轮与第二传动轮之间通过传动带连接。3.如权利要求2所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：还包括有驱动组件，所述驱动组件包括依次连接的万向接头，磁流体密封件及电机，所述万向接头远离磁流体密封件的一端与所述第一传动轮或第二传动轮连接。4.如权利要求2所述的真空镀膜传送装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张敬娣，武启飞，廖良生，赵平，胡淳，
申请(专利权)人：苏州方昇光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32