一种集成电路及其撕膜方法和撕膜排板设备技术

本发明专利技术涉及集成电路制造技术领域。一种集成电路撕膜排版设备，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置、载板输送线装置、撕膜装置、搬运机械手和视觉检测装置、托盘上料装置和托盘输送线装置；所述的载板上料装置、载板输送线装置和撕膜装置设置有对称的两组，撕膜装置位于载板上料装置的下方，载板输送线装置与载板上料装置相衔接；托盘上料装置位于两个载板上料装置之间，托盘输送线装置位于两条载板输送线装置之间，托盘输送线装置与托盘上料装置相衔接；搬运机械手和视觉检测装置安装在机架上，位于载板输送线装置和托盘输送线装置的上方。本发明专利技术撕胶动作高效精准，自动化上下料，加工效率高，集成电路收集摆放。

An integrated circuit and its film tearing method and film tearing device

The invention relates to the technical field of integrated circuit manufacturing. An integrated circuit film tearing and typesetting device includes a frame, a loading device for a carrier plate, a conveying line device for a carrier plate, a film tearing device, a conveying manipulator and a visual inspection device, a loading device for a carrier plate and a conveying line device for a carrier plate; the loading device for a carrier plate, the conveying line device for a carrier plate and the film tearing device are provided with two symmetrical groups, and the film tearing device is arranged on the loading device for a carrier plate At the lower part of the device, the carrier conveying line device is connected with the carrier feeding device; the tray feeding device is located between the two carrier feeding devices, the tray conveying line device is located between the two carrier conveying line devices, and the tray conveying line device is connected with the tray feeding device; the conveying manipulator and the visual detection device are installed on the frame, and the carrier conveying line device and the tray conveying line device are installed On top of it. The rubber tearing action of the invention is efficient and accurate, automatic loading and unloading, high processing efficiency, and integrated circuit collection and placement.

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路及其撕膜方法和撕膜排板设备
本专利技术涉及集成电路制造
，具体涉及一种集成电路撕膜排版设备和工作方法。
技术介绍
随着社会的发展,半导体器件及其包装的越发变薄和小型化,在一些情况下集成电路的背面需要用保护膜保护,防止损害集成电路芯片,但是贴覆保护膜之后,在集成电路需要进行包装的时候要将保护膜剥离。在现有的集成电路生产过程中，由于底膜通过粘合剂与芯片进行特合，而现有的撕膜设备不能有效的降低底膜粘性，导致撕膜效率低，易对集成电路背侧金属造成损害。国家知识产权局于2018.03.02公开了公开号为CN207068801U，专利名称为一种芯片剥膜机的专利，它包括活动架和紫外光发生器,所述活动架的底部滑动连接于滑套,所述活动架上转动连接有丝杆,所述丝杆的一端连接于电机,所述丝杆上安装有滑块,所述滑块通过固定杆固定连接于夹板,所述活动架的一端通过第一弹簧连接于机架的一端,所述活动架的另一端上方固定连接有刮板,所述活动架的底部固定连接有顶板,所述活动架上还安装有放料辊,所述导柱上安装有紫外光发生器,所述机架内安装有主动辊。该专利通过手动操作，效率低下，大批量生产时无法保证高效合格。国家知识产权局于2017.12.12公开了公开号为CN206742204U，专利名称为一种芯片切割剥膜工装的专利，它包括底座，所述底座上端固定连接有支撑板，所述支撑板中间位置贯穿连接有辊轴，所述辊轴侧连接有薄膜夹片，所述混轴另一端连接有驱动装置，所述支撑板上端连接有传送带，所述驱动装置通过皮带传动连接于传送带，所述传送带前端设有滑道，所述滑道前端连接有与传送带外形相匹配的仿形块，所述仿形块固定连接于支撑板，所述传送带上端一侧设有导热板，所述导热板端连接有加热装置，所述加热装置固定连接于支撑板，所述滑道下端设有收集盘。该专利单次只能分离一个芯片，效率低下，取出的芯片未进行收集。综上所述，现有集成电路撕膜操作存在上下料自动化程度低，无法连续加工，撕胶过程繁琐，集成电路无法完成收集的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术存在的不足，提供一种撕胶动作高效精准，自动化上下料，加工效率高，集成电路收集摆放整齐的集成电路撕膜排版设备。为本专利技术之目的，采用以下技术方案予以实现：一种集成电路撕膜排版设备，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置、载板输送线装置、撕膜装置、搬运机械手和视觉检测装置、托盘上料装置和托盘输送线装置；所述的载板上料装置、载板输送线装置和撕膜装置设置有对称的两组，撕膜装置位于载板上料装置的下方，载板输送线装置与载板上料装置相衔接；托盘上料装置位于两个载板上料装置之间，托盘输送线装置位于两条载板输送线装置之间，托盘输送线装置与托盘上料装置相衔接；搬运机械手和视觉检测装置安装在机架上，位于载板输送线装置和托盘输送线装置的上方；所述的载板上料装置用于将叠放的集成电路载板逐个进行上料至载板输送线装置，撕膜装置用于对集成电路载板的下端面胶膜进行剥离，搬运机械手和视觉检测装置用于从剥离胶膜的集成电路载板的集成电路进行搬运，并在搬运的过程中进行视觉检测；托盘输送线装置用于托盘的上料，该托盘用于放置集成电路，托盘输送线装置用于收集装满集成电路的托盘。作为优选，所述的载板上料装置包括料仓组件和引料组件；引料组件位于料仓组件的侧方，与料仓组件相衔接；所述的料仓组件包括连接支座、第一滑台部件、安装台板、限位挡块、置料框和载板；第一滑台部件通过连接支座竖直安装在机架上，安装台板安装在第一滑台部件的移动部，限位挡块包括四周的四块，其中相邻两块固定设置在安装台板上，另外两块上设置有槽，通过螺栓调节设置在安装台板上；所述的第一滑台部件包括底座、电机、丝杆组件和移动架，移动架移动配合在底座上，移动架通过丝杆组件与底座相连接，丝杆组件由电机驱动；置料框放置在安装台板上，所述的置料框两侧边板的内侧上设置有水平的通槽，通槽设置有多行，通槽的高度与载板厚度相匹配，通槽端部设置有外扩的楔角；所述的载板设置在置料框中的通槽中；所述的载板包括多个集成电路和连接外框，集成电路和连接外框通过底端贴有的胶膜相连接，将胶膜撕开即可实现集成电路的分离。作为优选，所述的引料组件包括立座、第二滑台组件、横移支架、夹板机构、压板机构和吸板机构；第二滑台组件通过立座水平安装在机架上，横移支架安装在第二滑台组件的移动部；夹板机构、压板机构和吸板机构依次并列布置，均连接在横移支架的侧边。作为优选，所述的夹板机构包括第一气缸、升降板、手指气缸、折形条和夹块；第一气缸固定设置横移支架上，升降板通过滑轨移动配合在横移支架侧边，第一气缸的伸缩端与升降板相连接；手指气缸水平安装在升降板上，折形条安装在手指气缸的两移动端，夹块安装在折形条的下端，两个夹块相上下对应；所述的压板机构包括第二气缸、连接板、直角条、下压块、光纤传感器和光纤放大器；第二气缸固定设置在横移支架上，第二气缸的伸缩端与连接板相连接；连接板与直角条相固定，连接板通过滑轨移动连接在横移支架上，直角条的水平部下端设置有三个下压块，下压块之间的间隙中设置有光纤传感器，所述的光纤传感器连到光纤放大器，光纤放大器设置在直角条上端；所述的吸板机构包括第三气缸、滑板、卡槽块和吸气块；第三气缸固定设置在横移支架上，滑板移动配合在横移支架上，第三气缸的伸缩端与滑板相连接；卡槽块固定设置在滑板的下端，所述的卡槽块包括对称的两块，形成一个T形的槽、卡槽块侧方设置有螺纹孔；吸气块上端为T形块，下端为吸气盘，上端的T形块配合在卡槽块之间的槽中，通过侧方的紧定螺钉相连接。作为优选，所述的载板输送线装置包括输送架、直流电机、输送带、加热板、主动摩擦轮、步进电机、压紧轮组件、接料板组件、空板收集组件和预压轮组件；所述的输送架包括并列的两条，一条固定设置在机架上，另一条通过滑轨移动连接在机架上；直流电机设置有两个，分别安装在输送架，带动输送带运动；输送架的进料端设置有主动摩擦轮，所述的主动摩擦轮由步进电机驱动，主动摩擦轮的上方设置有预压轮组件，所述的预压轮组件通过弹簧弹力将滚轮向主动摩擦轮压紧；加热板设置在两个输送架的端部，所述的加热板通过电热丝加热，传导至上端面上设置的载板上；加热板的上方设置有压紧轮组件，所述的压紧轮组件包括压紧气缸、滚轮安装板和多个滚轮；滚轮通过滚轮安装板连接在压紧气缸的伸缩端，滚轮对应载板的边缘框条；加热板的后端设置有限位组件，限位组件设置有两侧的两组，所述的限位组件包括传力柱、阻挡块和安装槽座；阻挡块的形状为直角折形，转折部设置有连接孔，水平部设置有向上的凸缘，水平部的中间安装有螺钉，竖直部为梯形面状；安装槽座中设置有相应的通槽，阻挡块折角部的连接孔与安装槽座的边角相转动连接，凸缘高度高于安装槽座的上端面；所述的包括传力柱安装在压紧轮组件的滚轮安装板下端面，与传力柱上的螺钉相对应；加热板与输送带的衔接位置设置有接料板组件，所述的接料板组件包括接料底板、接料气缸和接料板；接料板通过滑轨移动连接在接料底板上，接料气缸的伸缩端与接料板相连接，所述的接料板倾斜设置，接料板的接料平面为水平面；输送架之间的末端位置设置有空板收集组件；所述的空板收集组件包括抬升气缸、抬升板、边条和楔形卡块；边条设置有相对的四根，安装在输送架上，边条上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置（1）、载板输送线装置（2）、撕膜装置（3）、搬运机械手和视觉检测装置（4）、托盘上料装置（5）和托盘输送线装置（6）；所述的载板上料装置（1）、载板输送线装置（2）和撕膜装置（3）设置有对称的两组，撕膜装置（3）位于载板上料装置（1）的下方，载板输送线装置（2）与载板上料装置（1）相衔接；托盘上料装置（5）位于两个载板上料装置（1）之间，托盘输送线装置（6）位于两条载板输送线装置（2）之间，托盘输送线装置（6）与托盘上料装置（5）相衔接；搬运机械手和视觉检测装置（4）安装在机架上，位于载板输送线装置（2）和托盘输送线装置（6）的上方；所述的载板上料装置（1）用于将叠放的集成电路载板逐个进行上料至载板输送线装置（2），撕膜装置（3）用于对集成电路载板的下端面胶膜进行剥离，搬运机械手和视觉检测装置（4）用于集成电路的搬运，并在搬运的过程中进行视觉检测；托盘输送线装置（6）用于托盘的上料，该托盘用于放置集成电路，托盘输送线装置（6）用于收集装满集成电路的托盘。

【技术特征摘要】
1.一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置（1）、载板输送线装置（2）、撕膜装置（3）、搬运机械手和视觉检测装置（4）、托盘上料装置（5）和托盘输送线装置（6）；所述的载板上料装置（1）、载板输送线装置（2）和撕膜装置（3）设置有对称的两组，撕膜装置（3）位于载板上料装置（1）的下方，载板输送线装置（2）与载板上料装置（1）相衔接；托盘上料装置（5）位于两个载板上料装置（1）之间，托盘输送线装置（6）位于两条载板输送线装置（2）之间，托盘输送线装置（6）与托盘上料装置（5）相衔接；搬运机械手和视觉检测装置（4）安装在机架上，位于载板输送线装置（2）和托盘输送线装置（6）的上方；所述的载板上料装置（1）用于将叠放的集成电路载板逐个进行上料至载板输送线装置（2），撕膜装置（3）用于对集成电路载板的下端面胶膜进行剥离，搬运机械手和视觉检测装置（4）用于集成电路的搬运，并在搬运的过程中进行视觉检测；托盘输送线装置（6）用于托盘的上料，该托盘用于放置集成电路，托盘输送线装置（6）用于收集装满集成电路的托盘。2.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的载板上料装置（1）包括料仓组件（11）和引料组件（12）；引料组件（12）位于料仓组件（11）的侧方，与料仓组件（11）相衔接；所述的料仓组件（11）包括连接支座（111）、第一滑台部件（112）、安装台板（113）、限位挡块（114）、置料框（115）和载板（116）；第一滑台部件（112）通过连接支座（111）竖直安装在机架上，安装台板（113）安装在第一滑台部件（112）的移动部，限位挡块（114）包括四周的四块，其中相邻两块固定设置在安装台板（113）上，另外两块上设置有槽，通过螺栓调节设置在安装台板（113）上；所述的第一滑台部件（112）包括底座、电机、丝杆组件和移动架，移动架移动配合在底座上，移动架通过丝杆组件与底座相连接，丝杆组件由电机驱动；置料框（115）放置在安装台板（113）上，所述的置料框（115）两侧边板的内侧上设置有水平的通槽，通槽设置有多行，通槽的高度与载板（116）厚度相匹配，通槽端部设置有外扩的楔角；所述的载板（116）设置在置料框（115）中的通槽中；所述的载板（116）包括多个集成电路和连接外框，集成电路和连接外框通过底端贴有的胶膜相连接，将胶膜撕开即可实现集成电路的分离。3.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的引料组件（12）包括立座（122）、第二滑台组件（122）、横移支架（123）、夹板机构（124）、压板机构（125）和吸板机构（126）；第二滑台组件（122）通过立座（122）水平安装在机架上，横移支架（123）安装在第二滑台组件（122）的移动部；夹板机构（124）、压板机构（125）和吸板机构（126）依次并列布置，均连接在横移支架（123）的侧边。4.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的夹板机构（124）包括第一气缸（1241）、升降板（1242）、手指气缸（1243）、折形条（1244）和夹块（1245）；第一气缸（1241）固定设置横移支架（123）上，升降板（1242）通过滑轨移动配合在横移支架（123）侧边，第一气缸（1241）的伸缩端与升降板（1242）相连接；手指气缸（1243）水平安装在升降板（1242）上，折形条（1244）安装在手指气缸（1243）的两移动端，夹块（1245）安装在折形条（1244）的下端，两个夹块（1245）相上下对应；所述的压板机构（125）包括第二气缸（1251）、连接板（1252）、直角条（1253）、下压块（1254）、光纤传感器（1255）和光纤放大器（1256）；第二气缸（1251）固定设置在横移支架（123）上，第二气缸（1251）的伸缩端与连接板（1252）相连接；连接板（1252）与直角条（1253）相固定，连接板（1252）通过滑轨移动连接在横移支架（123）上，直角条（1253）的水平部下端设置有三个下压块（1254），下压块（1254）之间的间隙中设置有光纤传感器（1255），所述的光纤传感器（1255）连到光纤放大器（1256），光纤放大器（1256）设置在直角条（1253）上端；所述的吸板机构（126）包括第三气缸（1261）、滑板（1262）、卡槽块（1263）和吸气块（1264）；第三气缸（1261）固定设置在横移支架（123）上，滑板（1262）移动配合在横移支架（123）上，第三气缸（1261）的伸缩端与滑板（1262）相连接；卡槽块（1263）固定设置在滑板（1262）的下端，所述的卡槽块（1263）包括对称的两块，形成一个T形的槽、卡槽块（1263）侧方设置有螺纹孔；吸气块（1264）上端为T形块，下端为吸气盘，上端的T形块配合在卡槽块（1263）之间的槽中，通过侧方的紧定螺钉相连接。5.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的载板输送线装置（2）包括输送架（21）、直流电机（22）、输送带（23）、加热板（24）、主动摩擦轮（25）、步进电机（26）、压紧轮组件（27）、接料板组件（28）、空板收集组件（29）和预压轮组件（210）；所述的输送架（21）包括并列的两条，一条固定设置在机架上，另一条通过滑轨移动连接在机架上；直流电机（22）设置有两个，分别安装在输送架（21），带动输送带（23）运动；输送架（21）的进料端设置有主动摩擦轮（25），所述的主动摩擦轮（25）由步进电机（26）驱动，主动摩擦轮（25）的上方设置有预压轮组件（210），所述的预压轮组件（210）通过弹簧弹力将滚轮向主动摩擦轮（25）压紧；加热板（24）设置在两个输送架（21）的端部，所述的加热板（24）通过电热丝加热，传导至上端面上设置的载板上；加热板（24）的上方设置有压紧轮组件（27），所述的压紧轮组件（27）包括压紧气缸、滚轮安装板和多个滚轮；滚轮通过滚轮安装板连接在压紧气缸的伸缩端，滚轮对应载板（116）的边缘框条；加热板（24）的后端设置有限位组件（20），限位组件（20）设置有两侧的两组，所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲容容，魏星，魏芙蓉，杨立慈，
申请(专利权)人：宁波市鄞州特尔斐电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33