The invention relates to the technical field of electronic integrated circuit manufacturing. A board conveying line device of an integrated circuit film tearing machine includes a conveying frame, a DC motor, a conveying belt, a heating plate, an active friction wheel, a stepping motor, a pressing wheel component, a material receiving plate component, an empty plate collecting component and a preloading wheel component; the conveying frame is arranged on the frame, and the feeding end of the conveying frame is provided with an active friction wheel, the active friction wheel is driven by a stepping motor, and the main A preloading wheel assembly is arranged above the dynamic friction wheel, and the preloading wheel assembly compresses the roller to the active friction wheel through the spring force; the heating plate is arranged at the end of two conveying frames; the upper part of the heating plate is arranged with a compaction wheel assembly, which includes a compaction air cylinder, a roller mounting plate and a plurality of rollers; the roller is connected with the extension of the compaction air cylinder through the roller mounting plate The roller corresponds to the edge frame strip of the carrier plate; the rear end of the heating plate is provided with a limited position component; the automatic loading and unloading of the invention has high adaptability, reliable transportation and precise positioning.
【技术实现步骤摘要】
一种集成电路撕膜机的载板输送线装置
本专利技术涉及电子集成电路制造
,具体涉及一种集成电路撕膜机的载板输送线装置。
技术介绍
随着社会的发展,半导体器件及其包装的越发变薄和小型化,在一些情况下集成电路的背面需要用保护膜保护,防止损害集成电路芯片,但是贴覆保护膜之后,在集成电路需要进行包装的时候要将保护膜剥离。在现有的集成电路生产过程中,由于底膜通过粘合剂与芯片进行特合,而现有的撕膜设备不能有效的降低底膜粘性,导致撕膜效率低,易对集成电路背侧金属造成损害。国家知识产权局于2018.03.02公开了公开号为CN207068801U,专利名称为一种芯片剥膜机的专利,它包括活动架和紫外光发生器,所述活动架的底部滑动连接于滑套,所述活动架上转动连接有丝杆,所述丝杆的一端连接于电机,所述丝杆上安装有滑块,所述滑块通过固定杆固定连接于夹板,所述活动架的一端通过第一弹簧连接于机架的一端,所述活动架的另一端上方固定连接有刮板,所述活动架的底部固定连接有顶板,所述活动架上还安装有放料辊,所述导柱上安装有紫外光发生器,所述机架内安装有主动辊。该专利通过手动操作,效率低下,大批量生产时无法保证高效合格。国家知识产权局于2017.12.12公开了公开号为CN206742204U,专利名称为一种芯片切割剥膜工装的专利,它包括底座,所述底座上端固定连接有支撑板,所述支撑板中间位置贯穿连接有辊轴,所述辊轴侧连接有薄膜夹片,所述混轴另一端连接有驱动装置,所述支撑板上端连接有传送带,所述驱动装置通过皮带传动连接于传送带,所述传送带前端设有滑道,所述滑道前端连接有与传送带外形相匹配的仿形 ...
【技术保护点】
1.一种集成电路撕膜机的载板输送线装置,其特征在于,该装置包括输送架(21)、直流电机(22)、输送带(23)、加热板(24)、主动摩擦轮(25)、步进电机(26)、压紧轮组件(27)、接料板组件(28)、空板收集组件(29)和预压轮组件(210);所述的输送架(21)包括并列的两条,一条输送架(21)固定设置在机架上,另一条输送架(21)通过滑轨移动连接在机架上;直流电机(22)设置有两个,分别安装在输送架(21),带动输送带(23)运动;输送架(21)的进料端设置有主动摩擦轮(25),所述的主动摩擦轮(25)由步进电机(26)驱动,主动摩擦轮(25)的上方设置有预压轮组件(210),所述的预压轮组件(210)通过弹簧弹力将滚轮向主动摩擦轮(25)压紧;加热板(24)设置在两个输送架(21)的端部;加热板(24)的上方设置有压紧轮组件(27),所述的压紧轮组件(27)包括压紧气缸、滚轮安装板和多个滚轮;滚轮通过滚轮安装板连接在压紧气缸的伸缩端,滚轮对应载板(116)的边缘框条;加热板(24)的后端设置有限位组件(20);所述的限位组件(20)包括传力柱(211)、阻挡块(212)和安 ...
【技术特征摘要】
1.一种集成电路撕膜机的载板输送线装置,其特征在于,该装置包括输送架(21)、直流电机(22)、输送带(23)、加热板(24)、主动摩擦轮(25)、步进电机(26)、压紧轮组件(27)、接料板组件(28)、空板收集组件(29)和预压轮组件(210);所述的输送架(21)包括并列的两条,一条输送架(21)固定设置在机架上,另一条输送架(21)通过滑轨移动连接在机架上;直流电机(22)设置有两个,分别安装在输送架(21),带动输送带(23)运动;输送架(21)的进料端设置有主动摩擦轮(25),所述的主动摩擦轮(25)由步进电机(26)驱动,主动摩擦轮(25)的上方设置有预压轮组件(210),所述的预压轮组件(210)通过弹簧弹力将滚轮向主动摩擦轮(25)压紧;加热板(24)设置在两个输送架(21)的端部;加热板(24)的上方设置有压紧轮组件(27),所述的压紧轮组件(27)包括压紧气缸、滚轮安装板和多个滚轮;滚轮通过滚轮安装板连接在压紧气缸的伸缩端,滚轮对应载板(116)的边缘框条;加热板(24)的后端设置有限位组件(20);所述的限位组件(20)包括传力柱(211)、阻挡块(212)和安装槽座(213);阻挡块(212)的形状为直角折形,转折部设置有连接孔,水平部设置有向上的凸缘,水平部的中间安装有螺钉,竖直部为梯形面状;安装槽座(213)中设置有相应的通槽,阻挡块(212)折角部的连接孔与安装槽座(213)的边角相转动连接,凸缘高度高于安装槽座(213)的上端面;所述的包括传力柱(211)安装在压紧轮组件(27)的滚轮安装板下端面,与传力柱(211)上的螺钉相对应;加热板(24)与输送带(23)的衔接位置设置有接料板组件(28);输送架(21)之间的末端位置设置有空板收集组件(29);所述的空板收集组件(29)包括抬升气缸(291)、抬升板(292)、边条(293)和楔形卡块(294);边条(293)设置有相对的四根,安装在输送架(21)上,边条(293)上转动连接有楔形卡块(294),楔形卡块(294)的下端为倾斜面,可受迫上抬,当下摆则受到限制。2.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜机的载板输送线装置,其特征在于,所述的接料板组件(28)包括接料底板(281)、接料气缸(282)和接料板(283);接料板(283)通过滑轨移动连接在接料底板(281)上,接料气缸(282)的伸缩端与接料板(28...
【专利技术属性】
技术研发人员:曲容容,魏星,魏芙蓉,杨立慈,
申请(专利权)人:宁波市鄞州特尔斐电子有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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