【技术实现步骤摘要】
研磨液流量闭环控制系统
本技术涉及一种研磨液流量闭环控制系统，属于流量控制
技术介绍
目前在蓝宝石的上游加工领域，需要对蓝宝石晶片进行双面研磨。为控制蓝宝石晶片表面应力、平坦度、粗糙度，需对加工工艺严格控制，其中一项是对研磨液流量进行严格控制。目前控制方法是：打液泵工频全速运行，员工定期、定时用量杯采集研磨液进行测量，通过调节管道阀门开度来控制出液量。由于研磨液(碳化硼)硬度极高，打液泵高速运行，因此供液系统零部件磨损消耗过快，流量随之衰减，需频繁校正流量，更换零部件。
技术实现思路
针对现有双研机供液系统存在流量不稳、磨损过快、电能浪费等不足上述缺陷，本技术提出了一种研磨液流量闭环控制系统，实现泵节能运行及流量自动调节的功能；以达到降低成本，提高效率，提高产品稳定性的目的。本技术所述的研磨液流量闭环控制系统，包括电动机、打液泵和供液管道，打液泵与电动机电连接，打液泵一端连接研磨液存储罐，另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连，打液泵与供液管道内流经研磨液；该系统还包括流量计、开关电源和变频器，流量计安装于供液管道上，流量计与开关电源电连接进行供电；变频器设置有P...
【技术保护点】
1.一种研磨液流量闭环控制系统，包括电动机(4)、打液泵(5)和供液管道，打液泵(5)与电动机(4)电连接，打液泵(5)一端连接研磨液存储罐，另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连，打液泵(5)与供液管道内流经研磨液；其特征在于，该系统还包括流量计(6)、开关电源(7)和变频器(1)，流量计(6)安装于供液管道上，流量计(6)与开关电源(7)电连接进行供电；变频器(1)设置有PID控制电路；PID控制电路设置有端子Ⅰ(2)、端子Ⅱ(3)，以及连接电动机(4)的端口U、V、W，其中端子Ⅰ(2)与流量计(6)的输出端相连，端子Ⅱ(3)与上位机的输出端相连；由变频器(1)、电动机(...
【技术特征摘要】
1.一种研磨液流量闭环控制系统，包括电动机(4)、打液泵(5)和供液管道，打液泵(5)与电动机(4)电连接，打液泵(5)一端连接研磨液存储罐，另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连，打液泵(5)与供液管道内流经研磨液；其特征在于，该系统还包括流量计(6)、开关电源(7)和变频器(1)，流量计(6)安装于供液管道上，流量计(6)与开关电源(7)电连接进行供电；变频器(1)设置有PID控制电路；PID控制电路设置有端子Ⅰ(2)、端子Ⅱ(3)，以及连接电动机(4)的端口U、V、W，其中端子Ⅰ(2)与流量计(6)的输出端相连，端子Ⅱ(3)与上位机的输出端相连；由变频器(1)、电动机(4)、打液泵(5)和流量计(6)构成闭环控制系统。2.根据权利要求1所述的研磨液流量闭...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑东，李长生，
申请(专利权)人：青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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