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本实用新型涉及一种研磨液流量闭环控制系统,属于流量控制技术领域。本实用新型包括电动机、打液泵和供液管道,打液泵与电动机电连接,打液泵一端连接研磨液存储罐,另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连,打液泵与供液管道内流经研磨液;该系统还包括流量计...该专利属于青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种研磨液流量闭环控制系统,属于流量控制技术领域。本实用新型包括电动机、打液泵和供液管道,打液泵与电动机电连接,打液泵一端连接研磨液存储罐,另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连,打液泵与供液管道内流经研磨液;该系统还包括流量计...