按标准形式设计的表面安装歧管制造技术

按标准形式设计的歧管系统用于以减小的面积使流体系统的流体零件相互连接。该系统由一个或多个具有内部流体通道的桥接配件（５２）组成，流体通道的入口端与第一流体零件的出口以流体相通，流体通道的出口端与第二流体零件的入口相通。桥接配件可以安装在用于结构支承的底板（４０）的槽中。可以采用一个任选的定位板（３０），该定位板安装在桥接配件的端部的上方，以使流体零件的入口和出口与桥接配件的入口和出口端对齐。桥接配件也可以在多个方向安装到定位板上，形成多个流动通道。另外，桥接配件可以重叠以形成多个层面，其中一层的桥式配件可以与另一层的桥接配件以流体相通。本发明专利技术还可包括设置在凹槽中的密封件，凹槽在流体端口和匹配的桥接配件端部之间。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及用于流体系统的歧管，尤其涉及一种按标准形式设计的气体，所述分配系统在诸如用于制造半导体晶片的洁净室环境的高纯度流体系统和腐蚀性流体系统中使用。
技术介绍
本申请要求1998年3月5日提交的U.S.在先申请No.60/076,871的利益。为制造半导体，工业上使用各种高纯度气体。这些气体由一个系统控制，该系统由高纯度阀、调节器、压力转换器、流量控制器和其它通过焊接和高纯度金属封装连接到一起的零件构成。在许多应用中不希望有这些连接件，因为它们会增加用于焊接操作的额外的时间和费用，增加零件之间的不必要的空间，并使更换位于其它零件之间的零件变得困难。并且，这些系统采用典型的常规设计和制造，这使得制造成本和更换零件的采购费用非常昂贵。为了克服这些问题，近来已把新的按标准形式设计的歧管系统引入工业生产中。重新配置了这些系统的典型零件，如阀、压力调节器和其它典型的流体零件，使得它们的入口、出口以及连接机构与表面安装歧管相容。这些歧管一般由按标准形式设计的标准块组成，所述标准块由高纯度金属加工制成，并具有已加工好的内部流动通道。这些现有技术按标准形式设计的系统通常在零件和面对的标准块之间使用金属密封，以确保精密的无泻漏密封的整体性。这种系统的一个目的是使用基于工业标准的表面安装标准结构，从而允许表面安装零件的可替代性。现有技术上述类型系统的一个缺点是整个标准块由高纯度金属制成。因此没有有效地利用资金和自然资源。并且，这些标准块零件还具有由在单个标准块中加工多个通道的复杂性造成的更高的制造成本，以及由于制造复杂性形成的更高的昂贵废料的代价。而且，连接标准块要求在它们之间使用连接密封件，这需要额外的制造时间，连接标准块还要求紧固件有合适的固定和装配力矩，以保证紧密密封。专利技术概述因此希望提供一种按标准形式设计的歧管结构，该结构可省去标准连接块之间的密封件，显著减少所用昂贵材料的数量，导致制造一种更简单和低廉的系统，同时提供了减小的系统占地面积或外壳，该系统达到或超过现有系统的性能、完整性和可靠性。本专利技术一方面提供了一种供流体歧管系统使用的桥接配件，该配件用于与两个或多个诸如阀、调节器、压力转换器、流量控制器和类似零件的流体零件以流体相通。桥接配件包括与第二肘形配件相连的第一肘形配件，相连的肘形配件具有一内部流体通道。桥接配件的内部通道具有一入口端和一出口端，入口端与第一流体零件的出口以流体相通，桥接配件出口端与第二流体零件的入口端以流体相通。本专利技术另一方面提供了一种供流体歧管系统使用的桥接配件，该配件用于与三个或多个流体零件以流体相通，其中所述流体零件的一个或多个具有单一开口。桥接配件包括第一和第二肘形配件，肘形配件具有与T形配件相连的相应的端部。T形配件位于肘形配件之间，每个肘形配件和T形配件具有相互以流体相通的内部流体通道。配件的内部通道具有入口端和第一和第二出口端，入口端与第一流体零件的出口以流体相通，流体通道的出口端分别与第二和第三流体零件的入口端以流体相通。本专利技术又一方面提供了一种按标准形式设计的流体歧管系统，该系统与一个或多个表面安装型流体零件连接，流体零件具有一个入口和一个出口，按标准形式设计的系统包括具有从其中穿过的内部流体通道的一个或多个桥接配件；桥接配件的内部通道具有一个用于连接第一流体零件的出口的入口端和一个用于连接第二流体零件的入口的出口端，从而当系统组装后桥接配件的内部流体通道与第一和第二流体零件以流体相通。最后，本专利技术提供了一种按标准形式设计的流体歧管系统，该系统用于与一个或多个包括一个入口和一个或多个出口的流体零件相连。歧管系统包括一个或多个桥接配件，桥接配件具有一个入口端和一个出口端和一个连接所述端部的内部通道。系统还包括一个定位板，定位板具有一个用于在其上安装流体零件的上表面和多个与流体零件的入口和出口对齐的孔。定位板具有一个用于安装桥接配件的下表面。每个桥接配件的入口端与流体零件的出口以流体相通，每个桥接配件的出口端与另一个流体零件的入口以流体相通。通过连同附图一起的详细说明书和随后的权利要求，本专利技术的上述和其它优点将会更清楚。附图的简要描述本专利技术在某些部件和部件的布置方面可采取实际的形式，说明书中将详细地说明本专利技术的最佳实施例，并在作为说明书一部分的附图中图示本专利技术的最佳实施例，其中附图说明图1是完整的歧管装置的立体图，显示了包括本专利技术特征的典型零件和密封件；图2是图1所示的包括本专利技术特征的典型零件和密封件和歧管装置的分解立体图；图3是图2的部分歧管的分解纵剖视图，显示了在两个部分示出的气体桥接配件之间的一个完整的气体桥接配件和任选的典型密封件；图3a是图2的已组装的歧管部分的横截面图；图3b是另一气体桥接配件的横截面图，除了显示在图3和图3a中示出的完整气体桥接配件中的两个肘形配件和管式部分之外，该配件还包括T形配件和附加的管式部分；图4是本专利技术另一歧管系统的立体图，该系统包括在不同方向延伸的多个流动通道。专利技术的详细描述参照附图，图1-4显示了一种独特的歧管系统，其中附图仅仅是为了说明本专利技术的最佳实施例，而不限制本专利技术。例如，作为用于制造半导体装置的高纯度按标准形式设计的气体分配系统和其它必须耐流体腐蚀的流体系统的一部分，如图中所示和说明的本专利技术是非常有用的。本专利技术不限于在高纯度流体系统中使用，可用于涉及流体流量控制的任何应用。参照附图，尤其是附图1，显示了与流体流量控制零件组装在一起的按标准形式设计的流体歧管系统10，流体流量控制零件诸如阀12、流量调节器13、过滤器14和类似零件。流体零件和本专利技术一起使用，但不是本专利技术的一部分。流体零件12-14最好是表面安装型零件，每个零件具有一个入口16，还包括一个或多个出口18，如图3A所示，从而使流体通向流体零件。一系列的流体零件紧固件22穿过流体零件基座凸缘上的孔24，将零件固定到按标准形式设计的歧管系统10上。本专利技术的按标准形式设计的歧管系统10可以包括一个或多个桥接配件50、一个任选的定位板30、一个任选的底板40、任选的端部配件45和任选的密封件60。下面更详细地说明这些零件。如图3所示，桥接配件50是两个肘形配件，图示的这两个肘形配件通过任选的管式延长部分54相连接，管式延长部分通过诸如轨迹焊的常规方法连接到肘形配件52相应的端部。肘形配件52具有内部流体通道56，该流体通道具有入口端58和出口端62,64，入口端58相对于出口端62,64呈90度角取向。任选的管式延长部分54具有一内部流体通道，该通道与两个相邻的肘形端部配件52的邻接流体通道相连，从而在桥接配件50的内部形成一U形流体通道，该通道具有入口端62和出口端64。如图3A所示，桥接配件50的入口端62和流体零件12的相应的出口18以流体相通，桥接配件50的出口端64与相邻流体零件13的入口以流体相通。这样，桥接配件50作为一个“桥”在相邻流体零件12,13之间输送流体，不需要用金属在相邻的桥接配件50之间进行金属密封，而现有技术按标准形式设计的部件的相邻部件的配合通常需要上述的金属密封。桥接配件50最好由诸如316或SCQ的不锈钢或其它适合与半导体加工用流体一起使用的材料构成。对于一般的工业应用，任何合适的材料，例如塑料或金属都可用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种供流体歧管系统使用的桥接配件，该配件用于与两个或多个诸如阀、调节器、压力转换器、流量控制器等的流体零件流体相通，桥接配件包括： 与一第二肘形配件相连的一第一肘形配件，所述相连的肘形配件具有一贯通其中的内部流体通道；所述桥接配件的所述内部通道具有一入口端和一出口端，所述入口端与第一流体零件的出口流体相通，所述桥接配件的所述出口端与第二流体零件的入口流体相通。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：PG埃德斯莫雷，
申请(专利权)人：斯瓦戈洛克公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]