节流孔内设阀制造技术

提供一种节流孔内设阀，可用于具有半导体制造装置或化学品制造设备中所使用的压力式流量控制装置的供气设备中，不仅能够降低制造成本，而且能够提高节流孔的加工精度并在进行阀的组装时能够防止节流孔变形，从而能够获得优良的流量控制特性。为此，本发明专利技术中，由形成有与上开口的阀室连通的气体流入通路和气体流出通路的耐热材料制造的阀本体，设置在阀本体的阀室内的、形成有与所说阀本体的气体流出通路连通的气体流出通路及阀座的合成树脂制造的阀座体，可自由拆装地安装在阀座体的气体流出通路中的耐热材料制造的节流孔盘，以及形成于节流孔盘上的、使阀座体的气体流出通路缩径的节流孔构成节流孔内设阀的主要部分；预先在不锈钢制造的节流孔盘上形成节流孔，并且，将另行加工而形成了该节流孔的金属制造的节流孔盘和合成树脂制造的阀座体可自由拆装地加以组合，经由金属制造的节流孔盘推压合成树脂制造的阀座体使其压缩，从而将二者呈气密状态组装在阀本体上。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种节流孔内设阀，具备，形成有与上开口的阀室连通的气体流入通路和气体流出通路的耐热材料制造的阀本体，设置在阀本体的阀室内的、形成有与所说阀本体的气体流出通路连通的气体流出通路及阀座的合成树脂制造的阀座体，可自由拆装地安装在阀座体的气体流出通路中的耐热材料制造的节流孔盘，以及形成于节流孔盘上的、使阀座体的气体流出通路变细的节流孔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：大见忠弘，西野功二，池田信一，山路道雄，土肥亮介，出田英二，广濑隆，
申请(专利权)人：株式会社富士金，大见忠弘，
类型：发明
国别省市：JP[日本]