一种砷烷的尾气处理桶制造技术

本实用新型专利技术涉及化工设计领域，公开了一种砷烷的尾气处理桶，包括了温度传感器组件和排气管道，通过结构优化设计，在尾气处理桶内设置有物理吸附层，通过物理吸附的方式对含有砷烷的尾气进行净化处理；经过合理配置，加装有温度温度传感器组件对物理吸附层的温度进行监测，当某一吸附层温度高于设定值时控制砷烷尾气管道流量避免尾气温度过高破坏吸附层，并通过在尾气处理桶外侧嵌套冷液夹层外套，控制整体的温度，防止砷烷由于温度过高燃烧。

A kind of tail gas treatment barrel for Arsene

【技术实现步骤摘要】
一种砷烷的尾气处理桶
本技术涉及化工设计领域，特别是一种砷烷的尾气处理桶。
技术介绍
砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味，与空气混合形成可燃混合气；微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定，在230-240℃下开始分解，是一种溶血性毒物，可中毒神经。砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂，硅中“N”型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。工业上生产的砷烷用于有机合成。处理含砷及砷化合物的废气的方法主要有三种：吸附法、鼓泡法和喷淋法。吸附法是利用浸有一些氧化物的活性炭来吸附砷烷的处理方法，这种方法的处理效率不高，处理结果不能保证，而且吸附砷烷用的吸附剂也很难处理；鼓泡法是将废气通过处理溶液的液面以下，在废气压力的作用下，砷烷被处理液吸收，其他气体从处理液中溢出，这种方法同样存在处理效率不高以及不能保证处理后尾气达标的问题；喷淋法是指气体在喷淋装置中自下而上运动，而处理液自上而下喷淋下来跟气体接触反应，以达到处理砷烷的目的，所用处理液一般都为氧化剂。然而选本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种砷烷的尾气处理桶，所述的尾气处理桶一端底部与砷烷尾气管道相连，其特征在于，包括了温度传感器组件和排气管道，所述的尾气处理桶为多层过滤结构，通过若干可拆卸隔板进行隔离，隔离出若干的物理吸附层，所述的温度传感器组件安装于尾气处理桶的上方，温度传感器组件的传感器端插入于尾气处理桶的1/3‑1/2深处，所述的排气管道安装在尾气处理桶的上方。

【技术特征摘要】
1.一种砷烷的尾气处理桶，所述的尾气处理桶一端底部与砷烷尾气管道相连，其特征在于，包括了温度传感器组件和排气管道，所述的尾气处理桶为多层过滤结构，通过若干可拆卸隔板进行隔离，隔离出若干的物理吸附层，所述的温度传感器组件安装于尾气处理桶的上方，温度传感器组件的传感器端插入于尾气处理桶的1/3-1/2深处，所述的排气管道安装在尾气处理桶的上方。2.如权利要求1所述的一种砷烷的尾气处理桶，其特征在于：所述的隔板呈周期性振幅变换连接安装。3.如权利要求2所述的一种砷烷的尾气处理桶，其特征在于：所述的隔板呈周期性折线、周期性矩形或周期性正弦连接安装。4.如权利要求1所述的一种砷烷的尾气处理桶，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，龚施健，彭王生，
申请(专利权)人：博纯材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35