一种砷烷的尾气处理桶制造技术

本实用新型专利技术涉及化工设计领域，公开了一种砷烷的尾气处理桶，包括了温度传感器组件和排气管道，通过结构优化设计，在尾气处理桶内设置有物理吸附层，通过物理吸附的方式对含有砷烷的尾气进行净化处理；经过合理配置，加装有温度温度传感器组件对物理吸附层的温度进行监测，当某一吸附层温度高于设定值时控制砷烷尾气管道流量避免尾气温度过高破坏吸附层，并通过在尾气处理桶外侧嵌套冷液夹层外套，控制整体的温度，防止砷烷由于温度过高燃烧。

A kind of tail gas treatment barrel for Arsene

【技术实现步骤摘要】
一种砷烷的尾气处理桶
本技术涉及化工设计领域，特别是一种砷烷的尾气处理桶。
技术介绍
砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味，与空气混合形成可燃混合气；微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定，在230-240℃下开始分解，是一种溶血性毒物，可中毒神经。砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂，硅中“N”型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。工业上生产的砷烷用于有机合成。处理含砷及砷化合物的废气的方法主要有三种：吸附法、鼓泡法和喷淋法。吸附法是利用浸有一些氧化物的活性炭来吸附砷烷的处理方法，这种方法的处理效率不高，处理结果不能保证，而且吸附砷烷用的吸附剂也很难处理；鼓泡法是将废气通过处理溶液的液面以下，在废气压力的作用下，砷烷被处理液吸收，其他气体从处理液中溢出，这种方法同样存在处理效率不高以及不能保证处理后尾气达标的问题；喷淋法是指气体在喷淋装置中自下而上运动，而处理液自上而下喷淋下来跟气体接触反应，以达到处理砷烷的目的，所用处理液一般都为氧化剂。然而选择不同的氧化剂其处理效率也有很大不同，目前的处理方法处理效率都不高，而且对吸收砷烷后的含砷废水没有进行很好地处理。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种砷烷的尾气处理桶，以有效的去除尾气中少量的砷烷。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术公开了一种砷烷的尾气处理桶，尾气处理桶一端底部与砷烷尾气管道相连，包括了温度传感器组件和排气管道，尾气处理桶为多层过滤结构，通过若干可拆卸隔板进行隔离，隔离出若干的物理吸附层，温度传感器组件安装于尾气处理桶的上方，温度传感器组件的传感器端插入于尾气处理桶的1/3-1/2深处，排气管道安装在尾气处理桶的上方。其中，隔板呈周期性振幅变换连接安装。优选的，隔板呈周期性折线、周期性矩形或周期性正弦连接安装。优选的，还包括有冷液夹层外套，冷液夹层外套嵌套在尾气处理桶的外侧，冷液夹层外套上设置有冷液进液口和冷液出液口，冷液进液口设置于冷液出液口下方，夹套冷却液以逆流的方式在夹套中输送冷却。其中，物理吸附层有三组，包括了初级过滤吸附层、中级过滤吸附层和高级过滤吸附层，初级过滤吸附层、中级过滤吸附层和高级过滤吸附层厚度比例为2-4:1-2:1-2。优选的，初级过滤吸附层由金属氧化物组成，中级过滤吸附层由多孔材料压制而成，高级过滤吸附层为非晶态聚合物材料组成。进一步地，初级过滤吸附层为氧化铜、氧化锰、氧化镍、氧化铬中的一种或多种混合搭配使用。进一步地，中级过滤吸附层由活性炭、泡沫金属、多孔硅材料、碳基催化剂中的一种或多种混合搭配使用。进一步的，高级过滤吸附层为硅胶、非晶态分子筛中的一种或多种混合搭配使用。本技术具有以下有益效果：1.本技术通过结构优化设计，在尾气处理桶内设置有物理吸附层，通过物理吸附的方式对含有砷烷的尾气进行净化处理。2.经过合理配置，加装有温度温度传感器组件对物理吸附层的温度进行监测，当某一吸附层温度高于设定值时控制砷烷尾气管道流量避免尾气温度过高破坏吸附层，并通过在尾气处理桶外侧嵌套冷液夹层外套，控制整体的温度，防止砷烷由于温度过高燃烧。3.经过尾气处理桶处理后的尾气中，砷烷的浓度从0.62g/m3降低至0.7mg/m3，一氧化碳、硫化氢等有害气体也可一并处理达到国家排放标准。附图说明图1为本技术的实施例1的结构示意图。图2为本技术的实施例2的结构示意图。图3为本技术的实施例3的结构示意图。主要部件符号说明:1：尾气处理桶，2：砷烷尾气管道，3：温度传感器组件，4：排气管道，5：隔板，6：传感器端，7：冷液夹层外套，8：冷液进液口，9：冷液出液口，10：初级过滤吸附层，11：中级过滤吸附层，12：高级过滤吸附层。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。实施例1如图1所示，本技术公开了一种砷烷的尾气处理桶，尾气处理桶1一端底部与砷烷尾气管道2相连，包括了尾气处理桶1、温度传感器组件3和排气管道4，尾气处理桶1为多层过滤结构，通过若干可拆卸隔板5进行隔离，其中，隔板5呈周期性折线连接安装，隔离出若干的物理吸附层，温度传感器组件3安装于尾气处理桶1的上方，温度传感器组件3的传感器端6插入于尾气处理桶的1/3-1/2深处，排气管道4安装在尾气处理桶1的上方，还加装有冷液夹层外套7，冷液夹层外套7嵌套在尾气处理桶1的外侧，冷液夹层外套7上设置有冷液进液口8和冷液出液口9，冷液进液口8设置于冷液出液口9下方，夹套冷却液以逆流的方式在夹套中输送冷却。其中，物理吸附层有三组，包括了初级过滤吸附层10、中级过滤吸附层11和高级过滤吸附层12，初级过滤吸附层10、中级过滤吸附层11和高级过滤吸附层12厚度比例为4:2:2。初级过滤吸附层10为氧化铜粉末与氧化锰粉末按质量比1:1混合压制使用，中级过滤吸附层11为活性炭，高级过滤吸附层12为硅胶。工作原理：本技术通过在尾气处理桶1中设置的三组物理吸附层对含有少量砷烷的尾气进行净化处理，含砷烷尾气通过尾气处理桶1底部的砷烷尾气管道2进入到初级过滤吸附层10中，再由下往上走依次通过中级过滤吸附层11和高级过滤吸附层12，由于吸附层中的物理吸附剂的作用可去除尾气中含有的少量砷烷，之后过滤后的其他通过处理桶顶部的排气管道4排出；由于在吸附过程中会产生吸附热量，因此在尾气处理桶1上设置有温度传感器组件3进行监测，当某一吸附层温度高于设定值时控制砷烷尾气管道2流量避免尾气温度过高破坏吸附层，并通过在处理桶外侧加装冷液夹层外套7进行冷却降温，避免由于气体由于热量过高而燃烧。实施例2如图2所示，本技术公开了一种砷烷的尾气处理桶，其中尾气处理桶1为多层过滤结构，通过若干可拆卸隔板5进行隔离，其中，隔板5呈周期性矩形连接安装，隔离出若干的物理吸附层，尾气处理桶其余结构设计及工作原理与实施例1相同。其中，物理吸附层有三组，包括了初级过滤吸附层10、中级过滤吸附层11和高级过滤吸附层12，初级过滤吸附层10、中级过滤吸附层11和高级过滤吸附层12厚度比例为3:2:1。初级过滤吸附层10为氧化铜粉末与氧化镍粉末按质量比2:1混合压制使用，中级过滤吸附层11为泡沫金属，高级过滤吸附层12为非晶态分子筛。实施例3如图3所示，本技术公开了一种砷烷的尾气处理桶，其中尾气处理桶1为多层过滤结构，通过若干可拆卸隔板5进行隔离，其中，隔板5呈周期性正弦连接安装，隔离出若干的物理吸附层，尾气处理桶其余结构设计及工作原理与实施例1相同。其中，物理吸附层有三组，包括了初级过滤吸附层10、中级过滤吸附层11和高级过滤吸附层12，初级过滤吸附层10、中级过滤吸附层11和高级过滤吸附层12厚度比例为2:2:2。初级过滤吸附层10为氧化镍粉末与氧化铬粉末按质量比1:2混合压制使用，中级过滤吸附层11为碳基催化剂，高级过滤吸附层12为硅胶。实施例4本实施例以实施例1-3为研究基础，针对实施例1-3所设计的尾气处理桶进行尾气处理评价，具体实验结果如下所示：表1尾气成分概览表表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种砷烷的尾气处理桶，所述的尾气处理桶一端底部与砷烷尾气管道相连，其特征在于，包括了温度传感器组件和排气管道，所述的尾气处理桶为多层过滤结构，通过若干可拆卸隔板进行隔离，隔离出若干的物理吸附层，所述的温度传感器组件安装于尾气处理桶的上方，温度传感器组件的传感器端插入于尾气处理桶的1/3‑1/2深处，所述的排气管道安装在尾气处理桶的上方。

【技术特征摘要】
1.一种砷烷的尾气处理桶，所述的尾气处理桶一端底部与砷烷尾气管道相连，其特征在于，包括了温度传感器组件和排气管道，所述的尾气处理桶为多层过滤结构，通过若干可拆卸隔板进行隔离，隔离出若干的物理吸附层，所述的温度传感器组件安装于尾气处理桶的上方，温度传感器组件的传感器端插入于尾气处理桶的1/3-1/2深处，所述的排气管道安装在尾气处理桶的上方。2.如权利要求1所述的一种砷烷的尾气处理桶，其特征在于：所述的隔板呈周期性振幅变换连接安装。3.如权利要求2所述的一种砷烷的尾气处理桶，其特征在于：所述的隔板呈周期性折线、周期性矩形或周期性正弦连接安装。4.如权利要求1所述的一种砷烷的尾气处理桶，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，龚施健，彭王生，
申请(专利权)人：博纯材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35