蓄电设备和固体电解质层的制造方法技术

蓄电设备(30)具备：第1导电型的第1氧化物半导体层(14)；固体电解质层(18K)，其配置于第1氧化物半导体层(14)上、且包含质子能移动的固体电解质；绝缘物层(18N)，其配置于固体电解质层(18K)与第1氧化物半导体层(14)之间、且具备绝缘物；和，第2导电型的第2氧化物半导体层(24)，其配置于固体电解质层(18K)上。提供：即使增大蓄电容量、且增加充电电压也不劣化而能进行充电的可靠性得到改善的蓄电设备。

Storage equipment and manufacturing method of solid electrolyte layer

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蓄电设备和固体电解质层的制造方法
本实施方式涉及蓄电设备和固体电解质层的制造方法。
技术介绍
作为从两侧以电极夹持绝缘层的结构，通常为电容器。另外，还提出了如下结构的蓄电设备：依次层叠有n型半导体层、含水性多孔的绝缘层、p型半导体层，且在上下形成有电极。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-82445号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本实施方式提供：即使增大蓄电容量、且增加充电电压也不劣化而能进行充电的可靠性得到改善的蓄电设备和固体电解质层的制造方法。用于解决问题的方案根据本实施方式的一方案，提供一种蓄电设备，其具备：第1导电型的第1氧化物半导体层；固体电解质层，其配置于前述第1氧化物半导体层上、且包含质子能移动的固体电解质；和，第2导电型的第2氧化物半导体层，其配置于前述固体电解质层上。根据本实施方式的另一方案，提供一种固体电解质层的制造方法，通过包括如下工序而制造：将经稀释的硅油进行涂布的工序；将经涂布的硅油进行焙烧的工序；和，对经焙烧的硅油进行紫外线照射的工序。专利技术的效果根据本实施方式，可以提供：即使增大蓄电容量、且增加充电电压也不劣化而能进行充电的可靠性得本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蓄电设备，其特征在于，具备：第1导电型的第1氧化物半导体层；固体电解质层，其配置于所述第1氧化物半导体层上、且包含质子能移动的固体电解质；和，第2导电型的第2氧化物半导体层，其配置于所述固体电解质层上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.15 JP 2017-0495891.一种蓄电设备，其特征在于，具备：第1导电型的第1氧化物半导体层；固体电解质层，其配置于所述第1氧化物半导体层上、且包含质子能移动的固体电解质；和，第2导电型的第2氧化物半导体层，其配置于所述固体电解质层上。2.根据权利要求1所述的蓄电设备，其特征在于，在所述固体电解质层与所述第1氧化物半导体层之间配置有绝缘物层。3.根据权利要求1所述的蓄电设备，其特征在于，所述固体电解质层中还包含绝缘物。4.根据权利要求3所述的蓄电设备，其特征在于，所述固体电解质比所述绝缘物还多地存在于所述固体电解质层的所述第2氧化物半导体层侧。5.根据权利要求1或3所述的蓄电设备，其特征在于，所述固体电解质层包含SiOx。6.根据权利要求2所述的蓄电设备，其特征在于，所述绝缘物层包含SiNy。7.根据权利要求2或6所述的蓄电设备，其特征在于，所述绝缘物层的厚度为10nm以下。8.根据权利要求2、6或7中任一项所述的蓄电设备，其特征在于，所述绝缘物层为非含水性、且为非多孔的等离子体-SiNy...

【专利技术属性】
技术研发人员：殿川孝司，津国和之，小笠原树理，佐藤祐树，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP