【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种节省空间的集成流体传送系统，其对于将气体散布在半导体处理设备中特别有用。本专利技术还涉及一种开/关阀的精简设计，其被设计来容许或禁止气体流进入半导体处理设备中。本专利技术还涉及其它集成流体组件，如过滤器、压力感应器、流体热感应器、层流组件、压力调节器、控制阀、流量限制器及止回阀，它们可被不同程度地整合至流体传送网络架构的结构中。
技术介绍
在依赖流体运送的化学处理中，特别是当将被运送的流体是危险且具活性的物质时，流体运送装置与网络架构的系统泄漏可靠度的改善及小心地整合至该处理系统中都是很重要的。此外，使用在流体运送中的所有构件装置被良好地整合到整个流体网络架构中是很重要的，以确保系统泄漏可靠度、缩小尺寸并提供控制上的弹性。在像是半导体处理的应用中，流体构件装置也必须表现出特殊的能力来确保流体传送处理的洁净性，使得被制造的这些固态装置不受污染、不影响其性能及可靠度。最被广泛地使用的流体构件中的一种为开/关阀，其在过去为微粒污染物的来源。该流体开/关阀必需表现出数项特殊的能力。第一，其必须能够容许及防止流体流量，包括在一大气压力的压差下将氦气的流...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：马克·克罗克特，约翰·W·莱恩，迈克尔·J·德谢力斯，克里斯·梅尔塞，埃丽卡·R·波拉斯，阿尼什·胡勒，巴拉拉贝·N·穆罕默德，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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