下载带动态金属阀座和其它组件的微机加工集成流体传送系统的技术资料

文档序号:2246647

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一种流体运送(handling)结构,其至少包含一被粘合的金属层组件,其中复数层被粘合的金属层被形成图案用以包括至少一开孔,其穿过这些金属层,使得在粘合这些金属层时可形成一流体运送结构。...
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