一种可消除气泡的电镀槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可消除气泡的电镀槽，包括内槽和外槽，所述外槽底部内壁下方左右对称设有两驱动电机，驱动电机的输出端伸向外槽内腔且固定连接有丝杆，所述外槽内壁两侧焊接有滑轨，滑轨上设有滑块，所述滑块上焊接有过滤网，所述过滤网上开设有配合丝杆的螺纹孔，所述丝杆背离外槽底部内壁方向上还固定有限位板，所述外槽内壁上还设有多个防止镀液冲击的挡板，所述挡板由相同材质的塑料板组成且相邻挡板成一定角度抵触连接。本实用新型专利技术能够有效的减少了镀液气泡的产生，提高电镀质量，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种可消除气泡的电镀槽
本技术涉及晶粒挑拣机设备领域，具体是一种可消除气泡的电镀槽。
技术介绍
电镀就是利用电解原理采用电镀机构在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止腐蚀，提高耐磨性、导电性、反光性及增进美观等作用。槽式电镀机在镀液自内槽溢流至外槽时，因内外槽高低差，镀液冲击时会产生大量气泡，气泡过多会产生循环泵作业异常，流量计计量错误，气泡累积到晶圆表面使得金属镀层不能均匀覆盖工件表面，形成砂眼。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可消除气泡的电镀槽，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可消除气泡的电镀槽，包括内槽和外槽，所述外槽底部内壁下方左右对称设有两驱动电机，驱动电机的输出端伸向外槽内腔且固定连接有丝杆，所述外槽内壁两侧焊接有滑轨，滑轨上设有滑块，所述滑块上焊接有过滤网，所述过滤网上开设有配合丝杆的螺纹孔，所述丝杆背离外槽底部内壁方向上还固定有限位板，所述外槽内壁上还设有多个防止镀液冲击的挡板，所述挡板由相同材质的塑料板组成且相邻挡板成一定角度抵触连接。作为本技术进一步的方案：所述挡板数量为三个且相邻挡板首尾呈∠90°抵触连接。作为本技术再进一步的方案：所述驱动电机间还设有减速机，驱动电机的一端通过联轴器与减速机的输出轴固定连接。作为本技术再进一步的方案：所述挡板两端的水平宽度小于外槽宽度且大于外槽宽度的一半。与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过挡板，降低镀液从内槽溢流到外槽的冲击高度，减少了镀液气泡的产生；通过驱动电机的正反转带动滑块的上下运动，从而带动过滤网的运动，使得电镀过程中镀液内的气泡得以消除，提高电镀质量；通过减速机的设置，有效的防止过滤网上下移动过快使镀液温度升高影响电镀质量。附图说明图1为可消除气泡的电镀槽的结构示意图。图2为图1中A的放大结构示意图。图中：1、内槽；2、外槽；3、驱动电机；4、丝杆；5、滑轨；6、滑块；7、过滤网；8、限位板；9、挡板；10、减速机。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1～2，本技术实施例中，一种可消除气泡的电镀槽，包括内槽1和外槽2，外槽2底部内壁下方左右对称设有两驱动电机3，驱动电机3间还设有减速机10，驱动电机3的一端通过联轴器与减速机10的输出轴固定连接，驱动电机3的输出端伸向外槽2内腔且固定连接有丝杆4，外槽2内壁两侧焊接有滑轨5，滑轨5上设有滑块6，滑块6上焊接有过滤网7，过滤网7上开设有配合丝杆4的螺纹孔，丝杆4背离外槽2底部内壁方向上还固定有限位板8，外槽2内壁上还设有多个防止镀液冲击的挡板9，挡板9相同材质的塑料板组成且相邻挡板9成一定角度抵触连接，挡板9数量为三个且相邻挡板9首尾呈∠90°抵触连接，挡板9两端的水平宽度小于外槽2宽度且大于外槽2宽度的一半。本技术的工作原理是：通过挡板，降低镀液从内槽溢流到外槽的冲击高度，减少了镀液气泡的产生；通过驱动电机的正反转带动滑块的上下运动，从而带动过滤网的运动，使得电镀过程中镀液内的气泡得以消除，提高电镀质量；通过减速机的设置，有效的防止过滤网上下移动过快使镀液温度升高影响电镀质量。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可消除气泡的电镀槽，包括内槽(1)和外槽(2)，其特征在于，所述外槽(2)底部内壁下方左右对称设有两驱动电机(3)，驱动电机(3)的输出端伸向外槽(2)内腔且固定连接有丝杆(4)，所述外槽(2)内壁两侧焊接有滑轨(5)，滑轨(5)上设有滑块(6)，所述滑块(6)上焊接有过滤网(7)，所述过滤网(7)上开设有配合丝杆(4)的螺纹孔，所述丝杆(4)背离外槽(2)底部内壁方向上还固定有限位板(8)，所述外槽(2)内壁上还设有多个防止镀液冲击的挡板(9)，所述挡板(9)由相同材质的塑料板组成且相邻挡板(9)成一定角度抵触连接。

【技术特征摘要】
1.一种可消除气泡的电镀槽，包括内槽(1)和外槽(2)，其特征在于，所述外槽(2)底部内壁下方左右对称设有两驱动电机(3)，驱动电机(3)的输出端伸向外槽(2)内腔且固定连接有丝杆(4)，所述外槽(2)内壁两侧焊接有滑轨(5)，滑轨(5)上设有滑块(6)，所述滑块(6)上焊接有过滤网(7)，所述过滤网(7)上开设有配合丝杆(4)的螺纹孔，所述丝杆(4)背离外槽(2)底部内壁方向上还固定有限位板(8)，所述外槽(2)内壁上还设有多个防止镀液冲击的挡板(9)，所述挡板(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：张飞凡，韦磊，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34