【技术实现步骤摘要】
一种螺钉的上料装置
本技术涉及半导体设备
,更具体地,涉及一种螺钉的上料装置。
技术介绍
在半导体行业的图形化蓝宝石衬底(PatternedSapphireSubstrate,PSS)工艺生产中,所有设备都放置于洁净室中。由于场地布置的需求,往往将设备的上料端布置在同一侧,将设备主体布置在另一侧,中间通过墙壁等进行隔离。因为上料端会频繁上下料,所以洁净度等级相对较低;而设备主体的洁净度等级较高,以确保产品对洁净度的要求。因此,在设备布局满足生产工艺的前提下,设备的上料端和工作区域之间会有一定的距离,需要一种设备来运输物料。目前,在PSS工艺中,针对盘和盘盖之间锁紧用的螺钉的上下料,传统是以手工方式对螺钉进行上料,上下料需要将设备暂停,因而会耽误设备的节拍。因此,就需要设计一种新型上料装置,来自动运输螺钉。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷,提供一种螺钉的上料装置。为实现上述目的,本技术的技术方案如下:一种螺钉的上料装置,包括:直线模组,用于将其装载的供钉料斗在初始上料位置至取料位置之间来回运输;供钉料斗,滑动设于所述直线模组上,用于装载和倾倒螺钉;供钉器,设于所述直线模组一侧的取料位置上,用于接受由所述供钉料斗倒入的所述螺钉。进一步地,所述直线模组为电缸。进一步地,所述电缸设有缸体,所述缸体中设有丝杆,所述丝杆连接设于缸体一端的电机,所述丝杆上耦合有螺母,所述螺母通过滑块连接所述缸体上设有的滑轨,所述供钉料斗安装在所述滑块上。进一步地,所述电缸设有缸体,所述缸体两端分设有驱动轮和传动轮,所述驱动轮连接电机,所述驱动轮和传动轮上套有皮带 ...
【技术保护点】
1.一种螺钉的上料装置,其特征在于,包括:直线模组,用于将其装载的供钉料斗在初始上料位置至取料位置之间来回运输;供钉料斗,滑动设于所述直线模组上,用于装载和倾倒螺钉;供钉器,设于所述直线模组一侧的取料位置上,用于接受由所述供钉料斗倒入的所述螺钉。
【技术特征摘要】
2019.01.10 CN 20192004302771.一种螺钉的上料装置,其特征在于,包括:直线模组,用于将其装载的供钉料斗在初始上料位置至取料位置之间来回运输;供钉料斗,滑动设于所述直线模组上,用于装载和倾倒螺钉;供钉器,设于所述直线模组一侧的取料位置上,用于接受由所述供钉料斗倒入的所述螺钉。2.根据权利要求1所述的螺钉的上料装置,其特征在于,所述直线模组为电缸。3.根据权利要求2所述的螺钉的上料装置,其特征在于,所述电缸设有缸体,所述缸体中设有丝杆,所述丝杆连接设于缸体一端的电机,所述丝杆上耦合有螺母,所述螺母通过滑块连接所述缸体上设有的滑轨,所述供钉料斗安装在所述滑块上。4.根据权利要求2所述的螺钉的上料装置,其特征在于,所述电缸设有缸体,所述缸体两端分设有驱动轮和传动轮,所述驱动轮连接电机,所述驱动轮和传动轮上套有皮带,所述皮带上连接设有滑块,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐韦明,
申请(专利权)人:上海福赛特机器人有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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