【技术实现步骤摘要】
热硬化性组合物、硬化膜及彩色滤光片
本专利技术涉及一种可用于形成电子零件中的绝缘材料、半导体装置中的钝化膜、缓冲涂膜、层间绝缘膜、平坦化膜、液晶显示元件中的层间绝缘膜、彩色滤光片(colorfilter)用保护膜等的热硬化性组合物、由所述热硬化性组合物形成的透明膜及具有所述膜的电子零件。
技术介绍
在液晶显示元件等元件的制造步骤中,包括形成具有各种功能的有机薄膜的步骤。例如为黑色矩阵抗蚀剂的成膜/图案化/热处理步骤、彩色滤光片抗蚀剂的成膜/图案化/热处理步骤、彩色滤光片保护膜的成膜/图案化/热处理步骤、氧化铟锡(IndiumTinOxide,ITO)导电膜的成膜步骤、ITO图案化用的光致抗蚀剂成膜/图案化/湿式蚀刻/抗蚀剂剥离步骤、ITO退火步骤、取向膜的成膜/热处理/摩擦(偏光曝光)步骤等。在这些各种步骤中,对于元件而言,有机会接触于有机溶剂、酸、碱溶液等各种化学品,另外,在通过溅射来形成电极时,也存在表面局部地暴露于高温下的情况。因此,有时出于防止各种元件的表面的劣化、损伤、变质的目的而设置表面保护膜。对这些保护膜要求可耐受如上所述的制造步骤中的各种处理的各特 ...
【技术保护点】
1.一种热硬化性组合物,其包含共聚物(A)、具有三个以上的环氧基的化合物(B)、具有四个以上的(甲基)丙烯酰基的化合物(C)及溶剂(D),所述共聚物(A)为来自下述式(1)所表示的单体(a)及所述单体(a)以外的单体(b)的反应产物:
【技术特征摘要】
2018.04.12 JP 2018-0765851.一种热硬化性组合物,其包含共聚物(A)、具有三个以上的环氧基的化合物(B)、具有四个以上的(甲基)丙烯酰基的化合物(C)及溶剂(D),所述共聚物(A)为来自下述式(1)所表示的单体(a)及所述单体(a)以外的单体(b)的反应产物:在式(1)中,R1及R2独立地为氢、碳数1~3的烷基或苯基。2.根据权利要求...
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