电极层分区制造技术

MEMS传感器包括悬挂在衬底上方的检验质块。感测电极平行于检验质块位于衬底的顶表面上，并且与检验质块形成电容器。感测电极具有为MEMS传感器提供改善的性能的多个槽。通过MEMS传感器感测的测量值基于检验质块相对于开槽感测电极的移动来确定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电极层分区对其它申请的交叉引用本申请要求于2017年2月23日提交的标题为“ElectrodeLayerPartitioning”的美国临时专利申请No.62/462,519和于2017年5月4日提交的标题为“ElectrodeLayerPartitioning”的美国非临时专利申请No.15/586,497的优先权，这些申请通过引用并入本文用于所有目的。
技术介绍
诸如智能电话、智能手表、平板电脑、汽车、空中无人机、电器、飞行器、锻炼辅助设备和游戏控制器的许多物品可以在其操作期间利用运动传感器。在许多应用中，可以独立地或一起分析诸如加速度计和陀螺仪的各种类型的运动传感器，以便确定用于特定应用的各种信息。例如，陀螺仪和加速度计可以用于游戏应用(例如，智能电话或游戏控制器)以捕获用户的复杂运动，无人机和其它飞行器可以基于陀螺仪测量确定朝向(例如，横滚、纵摇(pitch)和偏航)，以及车辆可以利用测量用于确定方向(例如，用于航位推算)和安全性(例如，识别打滑或翻滚情况)。诸如加速度计和陀螺仪的运动传感器可以被制造为使用半导体制造技术制造的微机电(MEMS)传感器。MEMS传感器可以包括可移动的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于提供对微机电系统MEMS设备上的外力的电容性感测的系统，所述系统包括：位于第一平面中的衬底；MEMS设备层的可移动部件，所述MEMS设备层耦合于所述衬底，其中所述可移动部件响应于所述外力沿着第一轴移动；以及设置在所述第一平面中的所述衬底上的感测电极，其中第一电容性感测元件在所述可移动部件和第一感测电极之间形成，其中所述第一电容性感测元件被配置为响应于所述可移动部件的沿着所述第一轴的运动，以及其中所述感测电极包括基本上在所述感测电极的两个非相邻边之间延伸的多个槽。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.23 US 62/462,519;2017.05.04 US 15/586,4971.一种用于提供对微机电系统MEMS设备上的外力的电容性感测的系统，所述系统包括：位于第一平面中的衬底；MEMS设备层的可移动部件，所述MEMS设备层耦合于所述衬底，其中所述可移动部件响应于所述外力沿着第一轴移动；以及设置在所述第一平面中的所述衬底上的感测电极，其中第一电容性感测元件在所述可移动部件和第一感测电极之间形成，其中所述第一电容性感测元件被配置为响应于所述可移动部件的沿着所述第一轴的运动，以及其中所述感测电极包括基本上在所述感测电极的两个非相邻边之间延伸的多个槽。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个槽基本上在所述感测电极的两个平行边之间延伸。3.根据权利要求2所述的系统，其中所述两个平行边包括所述感测电极的两个长边。4.根据权利要求2所述的系统，其中所述两个平行边包括所述感测电极的两个短边。5.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个槽包括梳图案。6.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个槽包括部分六边形图案。7.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个槽包括所述感测电极的表面区域的至少8％。8.根据权利要求7所述的系统，其中所述多个槽包括所述感测电极的表面面积的小于20％。9.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个槽中的每个的至少一部分平行于所述多个槽中的另一个槽定位。10.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一轴垂直于所述第一平面。11.根据权利要求1所述的系统，还包括：所述MEMS设备层的第二可移动部件，其中所述第二可移动部件响应于所述外力沿着第二轴移动；以及设置在所述第一平面中的所述衬底上的第二感测电极，其中第二电容性感测元件在所述第二可移动部件和所述第二感测电极之间形成，其中所述第二电容性感测元件被配置为响应于所述第二可移动部件的沿着所述第二轴的运动，以及其中所述第二感测电极包括基本上在所述第二感测电极的两个非相邻边之间延伸的第二多个槽。12.根据权利要求11所述的系统，还包括在所述感测电极和所述第二感测电极之间的位于所述第一平面中的中心点，其中所述多个槽和所述第二多个槽关于通过所述第一平面中的所述中心点的线是对称的。13.根据权利要求11所述的系统，还包括耦合于所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·卡斯特罗，M·汤普森，L·巴尔达萨雷，S·尼灿，H·乔哈里加勒，
申请(专利权)人：应美盛股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US