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MEMS传感器包括悬挂在衬底上方的检验质块。感测电极平行于检验质块位于衬底的顶表面上，并且与检验质块形成电容器。感测电极具有为MEMS传感器提供改善的性能的多个槽。通过MEMS传感器感测的测量值基于检验质块相对于开槽感测电极的移动来确定。...
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