【技术实现步骤摘要】
阵列反射式显微图像采集系统
本专利技术属于机器视觉检测
，特别是涉及一种阵列反射式显微图像采集系统，可以应用于半导体晶圆和生物样品高通量显微成像。
技术介绍
微成像系统是能够将人眼难以观测或分辨到的微小物体或细节放大成像，以供人们提取细微结构信息的光学系统或仪器，相关产品被广泛用于涉及实验研究、生产制造等方面的领域。随着相关学科在微观领域的研究进展，基于许多前沿理论的显微成像系统已经突破光学成像极限，向着更高分辨率迈进。然而，在实际应用方面，传统的显微成像系统受限于光学结构，必须依靠具有小视场角(3°以内)的高分辨率物镜、配合长共轭距离来实现光学放大，从而导致光学系统庞大而复杂，且价格高。同时，由于视场小，传统显微系统在对较大样品成完整像时，需要采用扫描拼接的方法来实现，其相关设备的引入令其造价更加昂贵，也会令显微系统在工作时的精密结构更容易收到外界因素影响，例如震动、温度等。再次，扫描拼接的工作模式导致成像时间长，对于类似半导体晶圆的大面积样品而言，效率较低。总而言之，传统显微镜体积普遍庞大，成本高，对大样品成像过程较为复杂，耗时长，难以满足现有半导体和生...
【技术保护点】
1.一种阵列反射式显微图像采集系统，其特征在于：包括显微摄像模组阵列(1)和接收端(2)，所述显微摄像模组阵列位于样品台(4)的正上方；所述显微摄像模组阵列包括成阵列分布的多个显微摄像模块，每一所述显微摄像模块皆包括第一透镜组(11)、反射式照明结构(12)、激发光源(3)、第二透镜组(13)和图像传感器(14)，所述第一透镜组和所述第二透镜组对称设置，所述反射式照明结构位于所述第一透镜组和所述第二透镜组之间，所述第一透镜组位于所述反射式照明结构和所述样品台之间，所述第二透镜组位于所述反射式照明结构和所述图像传感器之间，所述图像传感器与所述接收端电性连接，所述激发光源位于所...
【技术特征摘要】
1.一种阵列反射式显微图像采集系统，其特征在于：包括显微摄像模组阵列(1)和接收端(2)，所述显微摄像模组阵列位于样品台(4)的正上方；所述显微摄像模组阵列包括成阵列分布的多个显微摄像模块，每一所述显微摄像模块皆包括第一透镜组(11)、反射式照明结构(12)、激发光源(3)、第二透镜组(13)和图像传感器(14)，所述第一透镜组和所述第二透镜组对称设置，所述反射式照明结构位于所述第一透镜组和所述第二透镜组之间，所述第一透镜组位于所述反射式照明结构和所述样品台之间，所述第二透镜组位于所述反射式照明结构和所述图像传感器之间，所述图像传感器与所述接收端电性连接，所述激发光源位于所述反射式照明结构的一侧，所述激发光源发出的光源照射于所述反射式照明结构上。2.根据权利要求1所述的阵列反射式显微图像采集系统，其特征在于：所述第二透镜组包括至少两个微透镜，靠近所述图像传感器的微透镜的尺寸最大，远离所述图像传感器的微透镜的尺寸最小；所述第一透镜组包括至少两个微透镜，靠近所述图像传感器的微透镜的尺寸最小，远离所述图...
【专利技术属性】
技术研发人员：万新军，陶雪辰，苏程程，陈红豆，宋可，吕宋，解树平，
申请(专利权)人：苏州瑞霏光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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