成型设备和制造物品的方法技术

本公开涉及成型设备和制造物品的方法。本发明专利技术提供了一种成型设备，该成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理，该成型设备包括被配置为保持基板的保持单元以及被配置为控制成型处理的控制单元，其中，所述控制单元在基板由保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将模具压靠在基板上的组合物上的处理，使得保持单元在处理开始之后以小于第一保持力的第二保持力保持基板，并且维持由保持单元以第二保持力对基板的保持，直到完成将基板上的组合物填充到模具中。

Forming equipment and methods of making articles

【技术实现步骤摘要】
成型设备和制造物品的方法
本专利技术涉及成型设备和制造物品的方法。
技术介绍
如在日本专利公开No.2009-518207和日本专利公开No.2017-103399中所公开的，压印设备在其上已形成图案的模具和基板上的压印材料彼此接触的状态下固化压印材料，并从固化的压印材料中脱离模具，从而在基板上形成图案。日本专利公开No.2009-518207公开了一种技术，该技术在使模具与基板上的压印材料接触时使模具朝向基板变形为凸状形状。日本专利公开No.2017-103399公开了一种技术，该技术在使模具与基板上的压印材料接触时，通过控制施加到基板的背表面的压力(压力分布)来控制基板的表面形状。在压印设备中，在用于保持(支撑)基板的基板保持表面上需要数μm或更小的平坦度和低粗糙度精度，以维持基板和模具之间的平衡。当基板保持表面的平坦度低时，在基板和基板保持表面之间产生空间，因此从模具到压印材料的按压力(pressingforce)在该区域中不能充分传送。因此，在基板上形成的图案中产生缺陷(空隙)，导致产量降低。另一方面，当基板和基板保持表面之间的空间被设定为高真空状态以使得没有空间时，基板保持表面的粗糙度被转移到形成在基板上的图案，导致产量降低。
技术实现思路
本专利技术提供了一种有利于提高产量的成型设备。根据本专利技术的第一方面，提供了一种成型设备，该成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理，所述成型设备包括被配置为保持基板的保持单元以及被配置为控制所述成型处理的控制单元，其中，所述控制单元在所述基板由所述保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的处理，使得所述保持单元在所述处理开始之后以小于所述第一保持力的第二保持力保持所述基板，并且维持由所述保持单元以所述第二保持力对所述基板的保持，直到完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中为止。根据本专利技术的第二方面，提供了一种制造物品的方法，包括使用成型设备在基板上形成图案；处理在所述形成时在其上形成图案的基板；以及从经处理的基板制造所述物品，其中，所述成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理，并且所述成型设备包括被配置为保持所述基板的保持单元以及被配置为控制所述成型处理的控制单元，并且所述控制单元在所述基板由所述保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的处理，使得所述保持单元在所述处理开始之后以小于所述第一保持力的第二保持力保持所述基板，并且维持由所述保持单元以所述第二保持力对所述基板的保持，直到完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中为止。参考附图，根据示例性实施例的以下描述，本专利技术的其它方面将变得清楚。附图说明图1是示意性地示出作为本专利技术的一个方面的压印设备的布置的视图。图2是示意性地示出模具保持单元和模具保持单元的周边的布置的截面图。图3是示意性地示出基板卡盘(substratechuck)的布置的视图。图4是示意性地示出模具的布置的视图。图5A和图5B是示出基板卡盘的凹状部分与模具的图案部分之间的位置关系的视图。图6A至图6G是用于解释模具整个表面压射(shot)区域的压印处理的视图。图7A和图7B是用于解释模具整个表面压射区域的压印处理的视图。图8A和图8B是示出基板卡盘的凹状部分与模具的图案部分之间的位置关系的视图。图9是用于解释图1中所示的压印设备的操作的流程图。图10A至图10F是用于解释制造物品的方法的视图。图11A至图11D是用于解释图1中所示的压印设备用作平坦化设备的情况的视图。具体实施方式下面将参考附图来描述本专利技术的优选实施例。注意，在整个附图中，相同的附图标记指示相同的构件，并且将不给出其重复描述。图1是示意性地示出作为本专利技术的一个方面的压印设备100的布置的视图。压印设备100是在光刻处理中采用的光刻设备，光刻处理是半导体器件或液晶显示元件的制造处理并且在基板上形成图案。压印设备100用作使用模具(模板或构件)执行用于对基板上的组合物成型的成型处理的成型设备。在该实施例中，压印设备100使供应到基板上的压印材料与模具接触并将固化能量施加到压印材料，从而形成固化产品的图案，模具的不平坦图案被转移到该固化产品的图案上。使用通过接收固化能量而固化的可固化组合物(也称为未固化材料和未固化状态的树脂)作为压印材料。固化能量的示例是电磁波、热等。例如，使用从10nm(包含)至1mm(包含)的波长范围中选择并包括红外光、可见光束和紫外光的光作为电磁波。可固化组合物是通过光照射或加热而固化的组合物。通过光照射固化的光固化性组合物至少包含聚合性化合物和光聚合引发剂，并且根据需要可以包含非聚合性化合物或溶剂。非聚合性化合物是选自包括敏化剂、氢供体、内部脱模剂、表面活性剂、抗氧化剂和聚合物组分的组中的至少一种材料。可以通过旋涂机或狭缝涂布机将压印材料以膜形状施加到基板上。也可以以液滴的形式或者以通过使用液体注入头连接多个液滴而获取的岛或膜的形式将压印材料施加到基板上。压印材料的粘度(25℃下的粘度)例如为1mPa·s(包含)至100mPa·s(包含)。使用玻璃、陶瓷、金属、半导体、树脂等作为基板。根据需要，可以在基板的表面上形成由与基板不同的材料制成的构件。更具体地，基板包括硅晶片、化合物半导体晶片、石英玻璃等。如图1中所示，压印设备100包括基板台104、用于支撑基板台104的支撑基座113以及用于驱动基板台104(基板103)的基板驱动单元132。基板台104设置有用于通过抽吸保持基板103的基板卡盘(保持部分)108和参考标记115。压印设备100还包括用于保持模具102的模具保持单元101和用于驱动模具保持单元101(模具102)的模具驱动单元131。在该实施例中，使用XYZ坐标系示出方向，其中假设平行于基板103的表面的方向在X-Y平面上。假设平行于XYZ坐标系中的X轴、Y轴和Z轴的方向分别是X方向、Y方向和Z方向，以及围绕X轴、Y轴和Z轴的旋转分别由θX、θY和θZ指示。相对于X轴、Y轴和Z轴的控制或驱动(移动)意味着分别相对于平行于X轴的方向、平行于Y轴的方向以及平行于Z轴的方向控制或驱动。相对于θX、θY和θZ的控制或驱动意味着分别相对于围绕平行于X轴的轴的旋转、围绕平行于Y轴的轴的旋转以及围绕平行于Z轴的轴的旋转的控制或驱动。基板驱动单元132和模具驱动单元131形成相对驱动机构，用于相对于X轴、Y轴、Z轴、θX轴、θY轴和θZ轴的六个轴调节基板103和模具102之间的相对位置和旋转。相对于Z轴调节基板103和模具102之间的相对位置包括使基板上的压印材料与模具102接触(将模具102压靠在基板上的压印材料上)的操作以及从基板上的固化压印材料脱离模具102的操作。基板驱动单元132驱动基板台104，以便例如相对于多个轴(例如，X轴、Y轴和θZ轴)驱动基板103。模具驱动单元131驱动模具保持单元101，以便相对于多个轴(例如，X轴、Y轴、Z轴、θX轴、θY轴和θZ轴)驱动模具102。压印设备100还包括对准器(alignmentscope)116、基板测量单元109、离轴对准器107、固化单元105、观察单元114、供应单元(分配器)106和模具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成型设备，其特征在于，该成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理，所述成型设备包括：保持单元，被配置为保持所述基板；和控制单元，被配置为控制所述成型处理，其中，所述控制单元在所述基板由所述保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的处理，使得所述保持单元在处理开始之后以小于所述第一保持力的第二保持力保持所述基板，并且维持由所述保持单元以所述第二保持力对所述基板的保持，直到完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中。

【技术特征摘要】
2018.04.11 JP 2018-0762461.一种成型设备，其特征在于，该成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理，所述成型设备包括：保持单元，被配置为保持所述基板；和控制单元，被配置为控制所述成型处理，其中，所述控制单元在所述基板由所述保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的处理，使得所述保持单元在处理开始之后以小于所述第一保持力的第二保持力保持所述基板，并且维持由所述保持单元以所述第二保持力对所述基板的保持，直到完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中。2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述控制单元在处理开始之后且在经由所述模具将按压力施加到所述基板上的组合物的时段期间，将用于由所述保持单元保持所述基板的保持力从所述第一保持力切换到所述第二保持力。3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述控制单元在完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中之后且在从所述基板上的组合物脱离所述模具之前，使得所述保持单元以大于所述第二保持力的第三保持力保持所述基板。4.根据权利要求1所述的设备，其中所述控制单元在将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的同时，在完成将所述基板上的组合物填充到所述模具之后且在固化所述基板上的组合物之前，使得所述保持单元以大于所述第二保持力的第三保持力保持所述基板。5.根据权利要求3所述的设备，其中，所述第三保持力小于所述第一保持力。6.根据权利要求3所述的设备，其中所述第三保持力等于所述第一保持力。7.根据权利要求1所述的设备，其中所述处理包括第一时段和第二时段，在所述第一时段中，经由所述模具施加到所述基板上的组合物的按压力增加，在所述第二时段中，所述按压力减小，以及所述控制单元在所述处理从所述第一时段转变到所述第二时段的时刻，将用于由所述保持单元保持所述基板的保持力从所述第一保持力切换到所述第二保持力。8.根据权利要求7所述的设备，其中，在所述第二时段结束的时刻，所述控制单元将用于由所述保持单元保持所述基板的保持力从所述第二保持力切换到大于所述第二保持力的所述第三保持力。9.根据权利要求1所述的设备，还包括获取单...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤贵洋，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP