本实用新型专利技术公开了一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜、蒸发箱、第二载气管路、混合气体管路、燃烧器、反应釜，气柜和燃烧器之间用至少一条第一载气管路相连，蒸发箱连接有原料气体管路，燃烧器和反应釜相连，反应釜内设有产品，第二载气管路上设有加热区，加热区内设有第一温度传感器，第二载气管路两端分别和气柜、原料气体管路相连，混合气体管路上设有第二温度传感器和第三温度传感器，混合气体管路的前端与第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处相连，混合气体管路的后端和燃烧器相连。本实用新型专利技术具有气体输送稳定不易液化，加热效果好，气体在燃烧器中反应的均匀性稳定性好等优点。
【技术实现步骤摘要】
一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置
本技术涉及VAD芯棒沉积装置的
，特别是一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置的
技术介绍
VAD芯棒沉积用原料主要是常温为液态的SiCl4及GeCl4，液态原料通过管路输送至蒸发箱中，液态原料在蒸发箱中汽化，汽化后的原料在蒸发箱中经过高温流量控制器控制并按一定的流量稳定地输送出蒸发箱。VAD芯棒沉积用载料气体主要是H2、O2、Ar、CF4等，一般一台VAD芯棒沉积设备需要用的载料气体路数大于等于16路，H2、O2、Ar、CF4等气体通过管路输送进气柜中，在气柜中分流，并经流量控制器控制后按一定的流量稳定输送出气柜，所有的原料及气体最终需要输送至燃烧器中进行反应，然后成品沉积在产品中，反应釜为原料及气体反应、产品沉积提供空间。现有的一些VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置中的原料气体温度传感器设计在原料管路中间，载料气体温度传感器设计在载料管路中间，混合气体温度传感器设计在混合气体管路中间，载料气体管路过短，这种结构设计会存在载料气体混合前温度无法确定，会出现原料气体液化现象，无法保证燃烧器反应的稳定性和均匀性，载料气体加热不充分等问题。
技术实现思路
本技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，能够使气体输送稳定不易液化，加热效果好，气体在燃烧器中反应的均匀性稳定性好。为实现上述目的，本技术提出了一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜、蒸发箱、第二载气管路、混合气体管路、燃烧器、反应釜，气柜和燃烧器之间用至少一条第一载气管路相连，所述蒸发箱连接有原料气体管路，所述燃烧器和反应釜相连，反应釜内设有产品，所述第二载气管路上设有加热区，加热区内设有第一温度传感器，所述第二载气管路两端分别和气柜、原料气体管路相连，所述混合气体管路上设有第二温度传感器和第三温度传感器，混合气体管路的前端与第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处相连，混合气体管路的后端和燃烧器相连。作为优选，所述加热区的长度不低于1.6m，所述第一温度传感器距离第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处45～200mm。作为优选，所述第二温度传感器距离第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处45～200mm。作为优选，所述第三温度传感器和燃烧器之间的距离控制在45～200mm。作为优选，所述混合气体管路的长度不低于1m，所述原料气体管路伸出蒸发箱后立即与第二载气管路相连通。作为优选，所述加热区上远离气柜的一端敷设至第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处为止。作为优选，所述第三温度传感器检测温度、第二温度传感器检测温度、第一温度传感器检测温度、蒸发箱内温度依次减小。本技术的有益效果：本技术通过在第二载气管路上设有加热区，加热区内设有第一温度传感器，混合气体管路上设有第二温度传感器和第三温度传感器，混合气体管路的前端与第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处相连，混合气体管路的后端和燃烧器相连，加热区可保证第二载气管路内的载料气体加热充分，三个温度传感器的不同位置的气体温度进行检测，进而便于操作人员控制第三温度传感器显示的温度、第二温度传感器显示的温度、第一温度传感器显示的温度、蒸发箱内的温度值依次递减，可以保证气体不因为降温而发生液化现象，保障燃烧器反应的稳定性和均匀性。本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。【附图说明】图1是本技术一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置的结构示意图。图中：1-气柜、2-蒸发箱、3-第二载气管路、4-混合气体管路、5-燃烧器、6-反应釜、11-第一载气管路、21-原料气体管路、31-第一温度传感器、32-加热区、41-第二温度传感器、42-第三温度传感器。【具体实施方式】参阅图1，本技术一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜1、蒸发箱2、第二载气管路3、混合气体管路4、燃烧器5、反应釜6，气柜1和燃烧器5之间用3条第一载气管路11相连，所述蒸发箱2连接有原料气体管路21，所述燃烧器5和反应釜6相连，反应釜6内设有产品，所述第二载气管路3上设有加热区32，加热区32内设有第一温度传感器31，第二载气管路3两端分别和气柜1、原料气体管路21相连，所述混合气体管路4上设有第二温度传感器41和第三温度传感器42，混合气体管路4的前端与第二载气管路3和原料气体管路21之间的混合连接处相连，混合气体管路4的后端和燃烧器5相连，加热区32的长度不低于1.6m，第一温度传感器31距离第二载气管路3和原料气体管路21之间的混合连接处45～200mm，第二温度传感器41距离第二载气管路3和原料气体管路21之间的混合连接处45～200mm，第三温度传感器42和燃烧器5之间的距离控制在45～200mm，混合气体管路4的长度不低于1m，原料气体管路21伸出蒸发箱2后立即与第二载气管路3相连通，加热区32上远离气柜1的一端敷设至第二载气管路3和原料气体管路21之间的混合连接处为止，第三温度传感器42检测温度、第二温度传感器41检测温度、第一温度传感器31检测温度、蒸发箱2内温度依次减小。本技术工作过程：本技术一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置在工作过程中，将载料气体通过管路输送至气柜1中，气柜1对这部分气体进行分流，液态原料通过管路输送至蒸发箱2内，液态原料在蒸发箱2内加热蒸发形成原料气体，蒸发箱2内的原料气体沿原料气体管路21流出蒸发箱2后立即和气柜1中输送至第二载气管路3中的载料气体于第二载气管路3和原料气体管路21之间的混合连接处相互混合，混合后的气体通过混合气体管路4输送至燃烧器5进行反应后进入反应釜5完成反应沉积形成产品，其中第一温度传感器31可检测混合前第二载气管路3内载料气体的温度，第二温度传感器41检测初步混合后混合气体管路4内气体的温度，第三温度传感器42检测进入燃烧器5前的混合气体管路4内气体的温度，加热区32可对第二载气管路3内的载料气体进行加热，装置运行中，第三温度传感器42的温度、第二温度传感器41的温度、第一温度传感器31的温度、蒸发箱2内的温度值依次递减。本技术一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，在第二载气管路3上设有,加热区32，加热区32内设有第一温度传感器31，混合气体管路4上设有第二温度传感器41和第三温度传感器42，混合气体管路4的前端与第二载气管路3和原料气体管路21之间的混合连接处相连，混合气体管路4的后端和燃烧器5相连，加热区32可保证第二载气管路3内的载料气体加热充分，三个温度传感器的不同位置的气体温度进行检测，进而便于操作人员控制第三温度传感器42显示的温度、第二温度传感器41显示的温度、第一温度传感器31显示的温度、蒸发箱2内的温度值依次递减，可以保证气体不因为降温而发生液化现象，保障燃烧器反应的稳定性和均匀性。上述实施例是对本技术的说明，不是对本技术的限定，任何对本技术简单变换后的方案均属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜(1)、蒸发箱(2)、燃烧器(5)、反应釜(6)，气柜(1)和燃烧器(5)之间用至少一条第一载气管路(11)相连，所述蒸发箱(2)连接有原料气体管路(21)，所述燃烧器(5)和反应釜(6)相连，反应釜(6)内设有产品，其特征在于：还包括第二载气管路(3)和混合气体管路(4)，所述第二载气管路(3)上设有加热区(32)，加热区(32)内设有第一温度传感器(31)，所述第二载气管路(3)两端分别和气柜(1)、原料气体管路(21)相连，所述混合气体管路(4)上设有第二温度传感器(41)和第三温度传感器(42)，混合气体管路(4)的前端与第二载气管路(3)和原料气体管路(21)之间的混合连接处相连，混合气体管路(4)的后端和燃烧器(5)相连。
【技术特征摘要】
1.一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜(1)、蒸发箱(2)、燃烧器(5)、反应釜(6)，气柜(1)和燃烧器(5)之间用至少一条第一载气管路(11)相连，所述蒸发箱(2)连接有原料气体管路(21)，所述燃烧器(5)和反应釜(6)相连，反应釜(6)内设有产品，其特征在于：还包括第二载气管路(3)和混合气体管路(4)，所述第二载气管路(3)上设有加热区(32)，加热区(32)内设有第一温度传感器(31)，所述第二载气管路(3)两端分别和气柜(1)、原料气体管路(21)相连，所述混合气体管路(4)上设有第二温度传感器(41)和第三温度传感器(42)，混合气体管路(4)的前端与第二载气管路(3)和原料气体管路(21)之间的混合连接处相连，混合气体管路(4)的后端和燃烧器(5)相连。2.如权利要求1所述的一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，其特征在于：所述加热区(32)的长度不低于1.6m，所述第一温度传感器(31)距离第二载气管路(3)和原料气体管路(21)之间的混合连接处45～20...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋大吉，朱守标，金剑锋，
申请(专利权)人：杭州永通智造科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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