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本实用新型公开了一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜、蒸发箱、第二载气管路、混合气体管路、燃烧器、反应釜，气柜和燃烧器之间用至少一条第一载气管路相连，蒸发箱连接有原料气体管路，燃烧器和反应釜相连，反应釜内设有产品，第二载气...
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