真空干燥装置制造方法及图纸

一种真空干燥装置，包括壳体，具有容置空间；承载平台，设置于所述容置空间内，用于承载基板，所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂；定位件，设置于所述承载平台上，用于固定所述基板的位置；以及引流板，设置于所述容置空间内，具有多个通孔。本发明专利技术利用设置于所述承载平台上的定位件，固定所述基板的位置及角度，使所述基板表面像素墨水的位置能够精准匹配所述引流板通孔的位置，从而使整体的蒸汽浓度趋于一致，提高膜面平整度。

Vacuum drying device

【技术实现步骤摘要】
真空干燥装置
本揭示涉及显示
，特别涉及一种用于显示面板的真空干燥装置。
技术介绍
OLED(OrganicLightEmittingDiode)具有良好的自发光特性以及高对比度，目前是显示器件的重要研究和发展方向，并在小尺寸和大尺寸等方面的应用均取得显着成效。另一方面，由于显示器的发展方向逐渐向曲面、可弯曲、窄边框等方面转变，高的屏占比成为手机、平板、显示器、电视机等方面应用的重要关注点。OLED的生产过程中，利用喷墨打印(Inkjetprinting,IJP)的方式将像素墨水打印在像素电极层上，然后进行干燥成膜。膜面干燥成膜是保证膜面平整，器件发光均匀的重要手段，真空干燥(Vacuumdry,VCD)设备是对膜面平整度提高的关键步骤。但由于产品具有多样性，不同产品的基板尺寸不同，以及每次放置基板的角度、位置都是随机放置，因此在干燥设备中，每次处理时基板各处表面的蒸汽浓度不均一，易造成膜面不均匀而产生色彩显示不均匀(mura)的问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术的一目的在于提供一种设备，在膜面干燥成膜过程中，可维持蒸汽压浓度均一，以提高膜面平整度。为达成上述目的，本专利技术提供一种真空干燥装置，所述真空干燥装置包括：壳体，具有容置空间及管路，所述管路连通所述容置空间与所述壳体的外部；承载平台，设置于所述容置空间内，用于承载基板，所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂；定位件，设置于所述承载平台上，用于固定所述基板的位置；以及引流板，设置于所述容置空间内，具有多个通孔，其中所述像素墨水的位置对应所述通孔的位置。于本专利技术的一实施例中，所述定位件为可拆式。于本专利技术的一实施例中，所述承载平台上具有定位孔；所述定位件具有插栓，用以插入所述定位孔中。于本专利技术的一实施例中，所述定位孔设于承载平台上不规则的预定位置。于本专利技术的一实施例中，所述定位孔呈矩阵排列。于本专利技术的一实施例中，所述承载平台上具有凹槽；所述定位件具有本体，用以放置于所述凹槽中。于本专利技术的一实施例中，所述定位件的可承受温度大于或等于200℃。于本专利技术的一实施例中，所述定位件的高度小于5mm。于本专利技术的一实施例中，一个所述像素墨水对应一个所述通孔。于本专利技术的一实施例中，进一步包括遮蔽件，设置于引流板上。综上所述，本专利技术提供一种真空干燥装置，利用设置于所述承载平台上的定位件，固定所述基板的位置及角度，使基板表面像素墨水的位置能够精准匹配所述引流板通孔的位置，进而使整体的蒸汽浓度趋于一致，从而使膜面均一，避免mura发生。其次，所述定位件为可拆式，可设置于所述承载平台上，或从所述承载平台上拆除，如此可适用于多种不同尺寸的基板，不需使用多种尺寸的承载平台，从而降低成本。另外，藉由在所述引流板设置遮蔽件，减少蒸汽从旁边的通孔排出，而仅由像素墨水正上方的通孔排出，从而使膜面上方蒸汽浓度均一，最终的干燥膜面平整度更高。为让本揭示的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。【附图说明】图1显示本专利技术的第一实施例的真空干燥装置的剖视结构示意图；图2显示本专利技术的第一实施例的承载平台上视图；图3显示本专利技术的第一实施例中设有定位件的承载平台上视图；图4显示本专利技术的第二实施例中设有定位件的承载平台剖视示意图；图5显示本专利技术的第三实施例的承载平台上视图；图6显示本专利技术的第三实施例中设有定位件及基板的承载平台上视图；图7显示本专利技术的第一实施例的引流板的上视图；图8显示本专利技术的第四实施例的引流板的剖视示意图；图9显示本专利技术的第五实施例中设有遮蔽件的引流板的上视图；图10显示本专利技术的第六实施例中设有遮蔽件的引流板的上视图；以及图11显示本专利技术的第七实施例中设有遮蔽件的引流板的上视图。【具体实施方式】为了让本揭示的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本揭示优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。再者，本揭示所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧层、周围、中央等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。请参阅图1，图1所绘示的是一种真空干燥装置100的剖视结构示意图，真空干燥装置100包括壳体10，所述壳体10具有底部、侧壁、顶部，以及由底部、侧壁、顶部所包围形成的容置空间12。另外，所述壳体10具有设置于底部的管路14，连通所述容置空间12与壳体外部。于其他实施例中，管路14可依照需求而设置于所述壳体10的侧壁或顶部。此外，于所述管路14之外接置抽气装置70，用以抽取所述容置空间12内部的气体。于另一实施例中，所述管路14之外可接置气体填充装置(图中未示)，用以向所述容置空间12填充氮气或干燥空气。如图1所示，承载平台20设置于所述容置空间12内，用于承载基板30。请一并参阅图2，图2为本专利技术第一实施例的承载平台上视图。于图2中，所述承载平台20设有多个定位孔22，所述多个定位孔22配合多种不同的基板尺寸，设置于承载平台20上不规则的预定位置。接着请一并参阅图1及图3，图3为本专利技术第一实施例中设有定位件的承载平台上视图。所述承载平台20上设有定位件24，用于界定所述基板30的位置及放置的角度。如图1所示，定位件24具有本体241及插栓242，插栓242用以插入所述定位孔22中；如图3所示，所述定位件24的本体241呈L形。所述定位件24为可拆式，可设置于所述承载平台20上，或从所述承载平台20上拆除。如图3所示，于进行干燥程序时，先以左上角的定位孔22为起始点，将一个定位件24设置于左上角，亦即将插栓242插入左上角的定位孔22中，接着依大小不同的基板30的尺寸，将另一个定位件24的插栓242插入适当位置的定位孔22中，以界定出一个基板放置区301、302或303，然后将所述基板30放置于所述基板放置区301、302或303中，如此即可藉由所述定位件24限定所述基板30的放置位置与角度。等干燥程序结束，将定位件24自所述承载平台20上拆除，于下次进行干燥程序时，可以按照需求将所述定位件24设置于承载平台20上相同或不同位置。此种承载平台20与定位件24的设计，可搭配不同尺寸的基板重复使用。于第二实施例中，如图4所示，承载平台20’设有多个定位凹槽22’，所述定位凹槽22’具有预定深度，例如为承载平台20’厚度的二分之一到三分之一。所述定位凹槽22’的位置与第一实施例相同，可为不规则排列或规则排列。与第一实施例不同的是，定位件24’只有本体241’而无插栓，且所述本体241’的厚度大于定位凹槽22’。于进行干燥程序时，将所述定位件24’放置于定位凹槽22’中，使所述定位件24’的一部份位于所述定位凹槽22’内，一部份外露于定位凹槽22’之外，如此即可形成如上述之基板放置区。所述定位件24、24’的材料可为金属，也可为其他材料，例如具有磁性的物体，可以直接吸附在承载平台的表面。其次，除了上述实施例之外，所述定位件24、24’也可为其他形状。此外，定位件以具有良好的耐热性为优选，以承受温度大于或等于200℃为较佳。再者，所述定位件24、24’的厚度可大于、等于或小于所述基板30的厚度，以厚度小于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空干燥装置，包括:壳体，具有容置空间及管路，所述管路连通所述容置空间与所述壳体的外部；承载平台，设置于所述容置空间内，用于承载基板，所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂；定位件，设置于所述承载平台上，用于固定所述基板的位置；以及引流板，设置于所述容置空间内，具有多个通孔，其中所述像素墨水的位置对应所述通孔的位置。

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，包括:壳体，具有容置空间及管路，所述管路连通所述容置空间与所述壳体的外部；承载平台，设置于所述容置空间内，用于承载基板，所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂；定位件，设置于所述承载平台上，用于固定所述基板的位置；以及引流板，设置于所述容置空间内，具有多个通孔，其中所述像素墨水的位置对应所述通孔的位置。2.如权利要求1所述的真空干燥装置，其中所述定位件为可拆式。3.如权利要求1所述的真空干燥装置，其中所述承载平台上具有定位孔；所述定位件具有插栓，用以插入所述定位孔中。4.如权利要求3所述的真空干...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕研亮，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44