分光器制造技术

本发明专利技术提供一种能够抑制目标波长以外的波长的光出射的分光器。分光器(1)具备框体(2)、衍射光栅(5)及光学滤光器(6)。框体(2)上设有入射部(3)及出射部(4)。光学滤光器(6)在框体(2)内配置在出射部(4)与衍射光栅(5)之间。在光学滤光器(6)的滤光器本体(61)的出射部(4)侧的表面形成有抗反射涂层(62)。因而，经衍射光栅(5)分散并透过光学滤光器(6)的光中，在出射部(4)的背面发生了反射的光不在光学滤光器(6)的背面反射，而是透过光学滤光器(6)而朝向框体的内侧。结果，能够抑制透过光学滤光器(6)且目标波长以外的波长的光从出射部(4)的出射狭缝(41)出射。

Beam splitter

【技术实现步骤摘要】
分光器
本专利技术涉及一种分光器，此分光器利用衍射光栅(diffractiongrating)将所入射的光分散成各波长的光并使光从出射狭缝出射。
技术介绍
一直以来，在利用波长可变单色光源的领域中使用分光器。分光器利用衍射光栅使从入射狭缝入射的光分散成各波长的光。而且，使此经分散的光从出射狭缝出射(例如参照下述专利文献1)。这种分光器中，有时由于光在分光器内散射或因衍射光栅产生高次光等，而导致目标波长以外的波长的光从出射狭缝出射。目标波长以外的波长的光例如若被用于分析装置，则会对分析造成不良影响。从这种方面来看，使用设有用于截止目标波长以外的波长的光(成为噪声源的光)的光学滤光器的分光器。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2013-160701号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]例如，想到如图5所示那样在分光器100的内部设置光学滤光器105。图5所示的示例中，分光器100具备框体101、入射部102、出射部103、衍射光栅104及光学滤光器105。入射部102及出射部103分别设置在框体101上。在入射部102中形成有入射狭缝，在出射部103中形成有出射狭缝。衍射光栅104及光学滤光器105配置在框体101内。光学滤光器105是以空开间隔而与出射部103相向的方式配置。光学滤光器105是以仅使规定波长范围的光透过的方式构成。若从配置在分光器100的周边的光源120出射光，则此光经聚光透镜121聚光，穿过入射部102的入射狭缝而朝向框体101内。穿过入射狭缝的光通过衍射光栅104而发生衍射，被分光成各波长的光。接着，经分光的特定波长的光透过光学滤光器105，经由出射部103的出射狭缝而出射到框体101的外部。然后，出射到框体101的外部的光是由检测器122进行检测。此时，朝向出射部103的成为噪声源的光(目标波长以外的波长的光)大部分被光学滤光器105截止。此分光器100中，与目标波长相比而波长大不相同的光被光学滤光器105截止。另一方面，虽非目标波长但具有接近目标波长的波长的光透过光学滤光器105。对于分光器100来说，有时这种目标波长以外的波长且透过光学滤光器105的光从出射狭缝出射。具体而言，分光器100中，有时目标波长以外的波长且透过光学滤光器105的光如图5的虚线所示那样，在出射部103的背面(光学滤光器105侧的面)与光学滤光器105的背面(出射部103侧的面)之间反复反射，然后从出射狭缝出射。而且，此光为目标波长以外的波长的光，因而会对此后的分析等造成不良影响。本专利技术是鉴于所述实际情况而成，其目的在于提供一种能够抑制目标波长以外的波长的光出射的分光器。[解决问题的技术手段](1)本专利技术的分光器具备框体、衍射光栅及光学滤光器。所述框体供光入射到内部，并使所述入射的光从出射狭缝出射。所述衍射光栅设置在所述框体内，使入射到所述框体内的光分散成各波长的光。所述光学滤光器设置在所述衍射光栅与所述出射狭缝之间，仅使经选择的波长的光透过并从所述出射狭缝出射。所述光学滤光器中，至少在所述出射狭缝侧的表面形成有抗反射涂层。根据这种结构，在分光器中，在光学滤光器的出射狭缝侧的表面形成有抗反射涂层。因而，经衍射光栅分散并透过光学滤光器的光中，在形成有出射狭缝的部分的背面(光学滤光器侧的表面)发生了反射的光不在光学滤光器的背面(出射狭缝侧的表面)反射，而是透过光学滤光器而朝向框体的内侧。结果，能够抑制以下情况：透过光学滤光器且目标波长以外的波长的光在形成有出射狭缝的部分的背面(光学滤光器侧的表面)、与光学滤光器的背面(出射狭缝侧的表面)之间反复反射，从出射狭缝出射。因而，分光器中，能够抑制目标波长以外的波长的光出射。(2)另外，所述分光器可还具备滤光器切换机构。所述滤光器切换机构切换多个所述光学滤光器，使任一个所述光学滤光器配置在所述衍射光栅与所述出射狭缝之间。所述多个光学滤光器中，可分别至少在所述出射狭缝侧的表面形成有抗反射涂层。根据这种结构，分光器中，将通过滤光器切换机构的切换所选择的光学滤光器配置在衍射光栅与出射狭缝之间。而且，透过所述光学滤光器的光从出射狭缝出射。因而，能够从多个光学滤光器中选择规定波长范围的光学滤光器并使用。[专利技术的效果]根据本专利技术，经衍射光栅分散并透过光学滤光器的光中，在出射部的背面发生了反射的光不在光学滤光器的背面反射，而是透过光学滤光器而朝向框体的内侧。结果，能够抑制以下情况：透过光学滤光器且目标波长以外的波长的光在出射部的背面、与光学滤光器的背面之间反复反射，从出射狭缝出射。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式的分光器的结构的概略图。图2是表示图1的分光器的光学滤光器的反射率的曲线图。图3是表示从分光器出射的光的波长与强度的关系的曲线图，且是将从分光器出射的光的波长设定为420nm时的曲线图。图4是表示从分光器出射的光的波长与强度的关系的曲线图，且是将从分光器出射的光的波长设定为850nm时的曲线图。图5是表示具备未形成有抗反射涂层的光学滤光器的分光器的结构的概略图。[符号的说明]1：分光器2：框体4：出射部5：衍射光栅6：光学滤光器7：滤光器切换机构41：出射狭缝61：滤光器本体62：抗反射涂层具体实施方式1.分光器的结构图1是表示本专利技术的一实施方式的分光器1的结构的概略图。分光器1是用于将来自光源8的光分光的单色器(monochromator)，来自光源8的光经聚光透镜9聚光并入射到分光器1内。而且，从分光器1出射的光是利用检测器10进行检测。所述分光器1除了能够适用于分光光度计以外，还能够适用于涂层测厚仪等各种分析装置。光源8例如是由卤素灯、氙气灯或发光二极管(LightEmittingDiode，LED)等所构成。聚光透镜9构成用于将光从光源8引导至分光器1的光学系统。分光器1例如具备框体2、入射部3、出射部4、衍射光栅5、光学滤光器6及滤光器切换机构7。框体2形成为箱状。在框体2上形成有入射侧开口部21及出射侧开口部22。入射部3形成为板状。在入射部3中形成有入射狭缝31。入射部3以覆盖入射侧开口部21的方式设置于框体2。出射部4形成为板状。在出射部4中形成有出射狭缝41。出射部4以覆盖出射侧开口部22的方式设置于框体2上。衍射光栅5配置在框体2内。衍射光栅5上形成有包含凹面的光栅面51。衍射光栅5固定在未图示的旋转体上，以旋转轴A为中心而可旋转。分光器1中，在框体2内设有多个光学滤光器6。光学滤光器6是以通过反射或吸收而仅使经选择的波长的光(仅规定波长范围的光)透过的方式构成。各光学滤光器6成为在板状的滤光器本体61的表面形成有用于抗反射的涂层(AR(anti-reflective)涂层)即抗反射涂层62的结构。抗反射涂层62形成于滤光器本体61的其中一侧的面。多个光学滤光器6中，一个光学滤光器6的可透过的波长范围与其他光学滤光器6的可透过的波长范围不同。即，分光器1中设有可透过的波长范围不同的多个光学滤光器6。光学滤光器6的抗反射涂层62例如是由氟化镁(MgF2)所形成的膜。抗反射涂层62例如是通过蒸镀而形成在滤光器本体61上。滤光器切换机构7是以切换多个光学滤光器6，将任一个光学滤光器6配置在出射部4(出射狭缝41)与衍射光栅5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分光器，其特征在于包括：框体，供光入射到内部，并使所述入射的光从出射狭缝出射；衍射光栅，设置在所述框体内，使入射到所述框体内的光分散成各波长的光；以及光学滤光器，设置在所述衍射光栅与所述出射狭缝之间，仅使经选择的波长的光透过并从所述出射狭缝出射；并且所述光学滤光器中，至少在所述出射狭缝侧的表面形成有抗反射涂层。

【技术特征摘要】
2018.03.27 JP 2018-0596571.一种分光器，其特征在于包括：框体，供光入射到内部，并使所述入射的光从出射狭缝出射；衍射光栅，设置在所述框体内，使入射到所述框体内的光分散成各波长的光；以及光学滤光器，设置在所述衍射光栅与所述出射狭缝之间，仅使经选择的波长的光透...

【专利技术属性】
技术研发人员：北胁正章，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP