匀气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种匀气装置，安装于镀膜系统上，包括：具有内腔的壳体，壳体上设有进气管和出气管，内腔用于放置被涂装物；以及匀气板，至少设有两个，若干匀气板间隔设置，匀气板上设有通气孔，若干匀气板上的通气孔相互错开，若干匀气板上的通气孔沿着通气孔轴线方向的投影不重叠；气体从进气管进入内腔依次经过若干匀气板后与被涂装物接触，最后由出气管排出。采用该匀气装置进行镀膜具有镀膜效果好，镀膜层厚度均匀的优点。

Air homogenizing device

【技术实现步骤摘要】
匀气装置
本技术涉及薄膜制备工艺
，特别是涉及一种匀气装置。
技术介绍
为了防止物体表面的氧化、溶剂腐蚀等问题，一般会对物体的表面进行表面防护处理。传统使用的环氧树脂、聚氯脂、有机硅树脂、聚丙烯酸脂等防护涂料都是液体涂料。由于液体的粘度和表面张力等原因，涂层厚度不均匀，在棱、角等处涂层较薄，当物体之间，基板之间仅有很小间距时，会因涂层流不到而形成气隙。涂层固化，烘干后会因溶剂或小分子助剂的挥发，产生收缩应力或形成微小针孔。这些传统涂层的介电强度一般也在2000V/25μm以下，因此必须经多次涂敷，用较厚的涂层才能实现较可靠的防护。派瑞林(Parylene)又名聚对二甲苯的聚合物，是一种新型的敷形涂层材料。由单体对二甲苯均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。运用气相沉积的处理技术，可以于物体表面均匀涂覆形成膜厚，是一种保护性高分子材料。派瑞林活性分子的良好穿透力能在元件内部、底部，周围形成无针孔，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的优质防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害，这种室温沉积制备的0.1～100μm薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代最有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。现有的派瑞林涂覆工艺是，首先将物体放置在腔体内，然后向腔体内通入带有派瑞林的气体，带有派瑞林的气体与腔体内的物体表面接触从而在物体表面形成派瑞林镀膜。在实际操作时发现，由于派瑞林在腔体内分布不均匀导致物体表面的派瑞林镀膜也不均匀，影响了产品的效果。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述问题，提供一种匀气装置，通过该匀气装置进行镀膜，使物体表面的派瑞林镀膜厚度均匀。一种匀气装置，安装于镀膜系统上，包括：具有内腔的壳体，所述壳体上设有进气管和出气管，所述内腔用于放置被涂装物；以及匀气板，至少设有两个，若干所述匀气板间隔设置，所述匀气板上设有通气孔，若干所述匀气板上的通气孔相互错开，若干匀气板上的通气孔沿着通气孔轴线方向的投影不重叠；气体从所述进气管进入所述内腔依次经过若干匀气板后与被涂装物接触，最后由所述出气管排出。在其中一个实施例中，所述匀气板所在的平面垂直于所述进气管的轴线方向。在其中一个实施例中，所述内腔的横截面积大于所述进气管的通道的横截面积，所述内腔的横截面积大于所述出气管的通道的横截面积。在其中一个实施例中，所述通气孔的直径为D，1mm≤D≤200mm，若干匀气板之间的间距为L，L≥10mm。在其中一个实施例中，D的尺寸为15mm，L的尺寸为100mm。在其中一个实施例中，匀气板上的通气孔是均匀分布的。在其中一个实施例中，每个匀气板上的通气孔中，靠近进气管的通气孔的直径较远离进气管的通气孔的直径小；每个匀气板上的通气孔中，靠近进气管的通气孔的分布较远离进气管的通气孔的分布更为分散。在其中一个实施例中，所述内腔包括相互连通的缓冲腔和镀膜腔，所述匀气板设于所述缓冲腔内，镀膜腔用于放置被涂装物。在其中一个实施例中，所述壳体包括可分离设置的第一部分和第二部分，所述缓冲腔设置于所述第一部分，所述镀膜腔设置于所述第二部分。在其中一个实施例中，所述匀气板水平或竖直放置，所述匀气板水平放置时，所述进气管位于所述出气管上方，或所述进气管位于所述出气管下方。有益效果：由于若干匀气板上的通气孔相互错开，从而避免了从进气管进入内腔的气流直接冲到被涂装物上，进而导致被涂装物表面的镀膜厚度不均匀；采用该匀气装置进行镀膜具有镀膜效果好，镀膜层厚度均匀的优点。附图说明图1为本技术其中一个实施例中的匀气装置的结构示意图；图2为本技术一个实施例中的匀气装置中的匀气板的结构示意图；图3为本技术另一个实施例中的匀气装置的结构示意图。附图标记：100、壳体；110、内腔；111、第一扩散腔；112、第二扩散腔；113、缓冲腔；114、镀膜腔；120、第一部分；130、第二部分；200、匀气板；210、通气孔；300、进气管；400、出气管；500、被涂装物。具体实施方式为了便于理解本技术，下面参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本技术公开内容的理解更佳透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称为“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。参见图1，一实施例中的匀气装置包括壳体100和设置在壳体100内的匀气板200。该壳体100具有内腔110，壳体100的上端设置有进气管300，下端设置有出气管400，进气管300连接镀膜系统。镀膜系统用于提供带有派瑞林的气体。内腔110中的匀气板200至少设置有两个，本实施例中以两个进行说明，两个匀气板200间隔设置。匀气板200上设置有通气孔210。两个匀气板200上的通气孔210相互错开，也就是说两个匀气板200上的通气孔210沿着通气孔210的轴线方向的投影不重叠，这样当气体从在先的匀气板200上的通气孔210流出后，若依然沿着通气孔210轴线方向流动将会撞击到在后的匀气板200上，而不会进入在后的匀气板200上的通气孔210，如此就可以防止气体经过在先的匀气板200上的通气孔210后直接通过在后的匀气板200上的通气孔210，进而直接冲到被涂装物500表面。实际上，通过进气管300进入内腔110的气体中，靠近进气管300的气体内含有的派瑞林浓度较大，因此需要在内腔110中扩散均匀。参见图1，内腔110至少由四个面101a、101b、101c和101d合围成。匀气板200a与面101a之间形成第一扩散腔111，匀气板200a与匀气板200b之间形成第二扩散腔112。当气体进入内腔110后，首先在第一扩散腔111内扩散，然后经过匀气板200a上的通气孔210a，当气体经过了匀气板200a上的通气孔210a后会撞击到匀气板200b上，进而气体的气流方向发生改变，气体经过匀气板200a上的若干个通气孔210a后在撞击到匀气板200b之后发生不规则的气流方向变化，从而在第二扩散腔112内进行混合，之后气体穿过匀气板200b上的通气孔210b。由于匀气板200b使气流发生反弹或改变气体的流向，加快了气体的扩散和混合效率，不同气流在第二扩散腔112内相互撞击，进而使派瑞林均匀的扩散，提高了派瑞林的扩散效率和扩散效果。参见图1，定义进气管300的轴线方向为进气方向。若干匀气板200是平行设置的，且每个匀气板200均垂直于进气方向。进一步的，匀气板200上的通气孔210轴线方向沿着匀气板200的厚度方向。如此设置以保证匀气板200a上的通气孔210a和匀气板200b上的通气孔210b不会沿着进气方向直接连通，进而防止气体直接从进气管300沿着直线方向通过匀气板200b上的通气孔210b，以保证气体在经过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种匀气装置，安装于镀膜系统上，其特征在于，包括：具有内腔(110)的壳体(100)，所述壳体(100)上设有进气管(300)和出气管(400)，所述内腔(110)用于放置被涂装物(500)；以及匀气板(200)，至少设有两个，若干所述匀气板(200)间隔设置，所述匀气板(200)上设有通气孔(210)，若干所述匀气板(200)上的通气孔(210)相互错开，若干匀气板(200)上的通气孔(210)沿着通气孔(210)轴线方向的投影不重叠；气体从所述进气管(300)进入所述内腔(110)依次经过若干匀气板(200)后与被涂装物(500)接触，最后由所述出气管(400)排出。

【技术特征摘要】
1.一种匀气装置，安装于镀膜系统上，其特征在于，包括：具有内腔(110)的壳体(100)，所述壳体(100)上设有进气管(300)和出气管(400)，所述内腔(110)用于放置被涂装物(500)；以及匀气板(200)，至少设有两个，若干所述匀气板(200)间隔设置，所述匀气板(200)上设有通气孔(210)，若干所述匀气板(200)上的通气孔(210)相互错开，若干匀气板(200)上的通气孔(210)沿着通气孔(210)轴线方向的投影不重叠；气体从所述进气管(300)进入所述内腔(110)依次经过若干匀气板(200)后与被涂装物(500)接触，最后由所述出气管(400)排出。2.根据权利要求1所述的匀气装置，其特征在于，所述匀气板(200)所在的平面垂直于所述进气管(300)的轴线方向。3.根据权利要求1所述的匀气装置，其特征在于，所述内腔(110)的横截面积大于所述进气管(300)的通道的横截面积，所述内腔(110)的横截面积大于所述出气管(400)的通道的横截面积。4.根据权利要求1所述的匀气装置，其特征在于，所述通气孔(210)的直径为D，1mm≤D≤200mm，若干匀气板(200)之间的间距为L，L≥10mm。5.根据权利要求4所述的匀气装置，其特征在于，D的尺寸为15mm，L的尺...

【专利技术属性】
技术研发人员：云洋，
申请(专利权)人：深圳奥拦科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：广东,44