X射线衍射装置制造方法及图纸

提供节省用户的时间和劳力并且以简易的结构就能够实现使用反射镜的光学系统和未使用反射镜的光学系统的切换的X射线衍射装置。具备：生成X射线束的X射线源；使X射线束以规定的发散角通过的第一入射路径；使多层膜反射镜反射X射线束，并与通过第一入射路径的X射线束平行地通过的第二入射路径；维持各自的相对位置并且使X射线源、第一入射路径及第二入射路径在规定的方向移动的移动机构；使入射至试样的X射线束通过的入射狭缝；和在相对于入射狭缝而被固定的位置处支承试样S的试样支承台，通过移动机构，对通过第一入射路径或者第二入射路径的X射线束之中通过入射狭缝的X射线束进行切换。

X-ray Diffraction Device

【技术实现步骤摘要】
X射线衍射装置
本专利技术涉及能够切换向试样照射的X射线束的X射线衍射装置。
技术介绍
在X射线衍射装置的入射光学系统中，有使用反射镜的光学系统和不使用反射镜的光学系统，公知发挥了各自的特长的应用。而且，近年，在in-situ测定等中迅速地切换光学系统并连续地进行测定的需求有所增加，对此，正在开发所谓的CBO(crossbeamoptics)(参照例如专利文献1)。CBO是如下光束切换机构：具备使用反射镜并获取X射线的窗和未使用反射镜且将X射线引导至试样的窗这两个光路，使用即便将单方的光路遮挡、也有一方通过的选择狭缝。图5A～图5C分别是表示基于CBO的以往的入射光学系统的示意图。如图5A所示那样，如果使用CBO，那么能切换未使用反射镜935的X射线束r1和使用反射镜935的X射线束r2并向试样S照射。具体地说，如图5B及图5C所示那样，通过变更两种选择狭缝941、942，从而能够将一方的X射线束遮挡，使另一方通过。需要说明的是，在图5B及图5C中，将机构简化并强调选择狭缝941、942。图6是表示使用了准直仪的情况下的基于CBO的以往的入射光学系统的示意图。在基于CBO的入射光学系统中使用准直仪的情况下，用于X射线束r1的准直仪991和用于X射线束r2的准直仪992各自的位置及方向是不同的。因此，需要分别支承准直仪991、992的两个准直仪保持架。除了上述那样的使用了CBO的装置以外，也公知如下装置：通过光学单元的旋转动作来选择入射光学系统的装置；通过具有多个开口的狭缝装置的旋转来切换3系列的X射线光路的装置；及通过沿X射线光学组件的滑架上移动来切换3系列的X射线光路的装置(例如参照专利文献2～4)。专利文献专利文献1：JP专利第3548556号公报专利文献2：美国专利申请公开第2003/0043965号说明书专利文献3：JP专利第3757199号公报专利文献4：JP特开2017-151082号公报在上述的CBO那样的X射线束的切换技术中，前提是用户通过人工作业来更换狭缝。而且，即便假设能通过自动来改变狭缝，也需要用于变更选择狭缝的位置及宽度的电动轴，要求复杂的结构。因此，在X射线衍射装置中谋求无需花费用户的时间和劳力以简易的结构就能够实现经由了两个入射路径的X射线束。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述那样的事情而进行的，目的在于提供一种节省用户的时间和劳力并且以简易的结构就能够实现使用反射镜的光学系统和未使用反射镜的光学系统的切换的X射线衍射装置。(1)为了达成上述目的，本专利技术的X射线衍射装置的特征在于，具备：X射线源，生成X射线束；第一入射路径，使所生成的所述X射线束以规定的发散角通过；第二入射路径，使多层膜反射镜反射所生成的所述X射线束，并与通过所述第一入射路径的X射线束平行地通过；移动机构，维持各自的相对位置并且使所述X射线源、所述第一入射路径及所述第二入射路径在规定的方向移动；入射狭缝，使入射至试样的X射线束通过；和试样支承台，在相对于所述入射狭缝被固定的位置支承试样，通过所述移动机构来切换通过所述第一入射路径或者所述第二入射路径的X射线束之中通过所述入射狭缝的X射线束。这样，通过使X射线源、第一入射路径及第二入射路径朝规定的方向移动，从而将通过各路径的相互平行的X射线束的任一方照射至试样。其结果是，节省用户的时间和劳力，并且以简易的结构就能够实现使用反射镜的光学系统和未使用反射镜的光学系统的切换。(2)再有，本专利技术的X射线衍射装置的特征在于，所述第一入射路径由将所述生成的X射线束收缩为规定的发散角的第一光圈开口及选择通过所述第一光圈开口的X射线束的第一选择狭缝开口来形成，所述第二入射路径由将所述生成的X射线束朝着所述多层膜反射镜收缩的第二光圈开口、所述多层膜反射镜及选择在所述多层膜反射镜被反射的X射线束的第二选择狭缝开口来形成。这样，可由光圈、多层膜反射镜及选择狭缝来构成第一入射路径与第二入射路径。还有，对于在试样位置各光束被交叉的光束的切换装置(CBO)来说硬件的变更仅仅只是光圈与选择狭缝，因而针对CBO以低成本就能实现变更。(3)另外，本专利技术的X射线衍射装置的特征在于，所述多层膜反射镜将所生成的所述X射线束整形为平行光束、聚光光束或者发散光束。由此，作为第二入射路径的X射线束，可利用平行光束、聚光光束及发散光束。(4)此外，本专利技术的X射线衍射装置的特征在于，还具备准直仪保持架，所述准直仪保持架在相对于所述入射狭缝而被固定的姿态下保持将通过所述入射狭缝的X射线束收缩的准直仪。由此，对于进行切换的两个X射线束来说能共享一个准直仪保持架。(5)再者，本专利技术的X射线衍射装置的特征在于，所述移动机构具有在接受到切换通过所述入射狭缝的X射线束的指示时，使所述X射线源、所述第一入射路径及所述第二入射路径移动的电动轴。这样，由于接受指示就能进行X射线束的切换，故用户无需通过人工作业来更换狭缝，仅通过电动轴的控制就能自动切换入射光学系统。对于在试样位置各光束被交叉的光束的切换装置而言，无需新追加电动轴就能实现光束的自动切换。另外，由于自动切换成为可能，故也能进行自动地切换两个入射光学系统的连续测定。根据本专利技术，节省用户的时间和劳力、并且以简易的结构能够实现使用反射镜的光学系统和未使用反射镜的光学系统的切换。附图说明图1是表示本专利技术的X射线衍射装置的结构的俯视图。图2A及图2B是表示将经由第一及第二入射路径各个的X射线束照射到试样的情况下的入射光学系统的示意图。图3A及图3B是表示使用准直仪并将经由第一及第二入射路径各个的X射线束照射到试样的情况下的入射光学系统的示意图。图4是表示X射线衍射系统的框图。图5A～图5C分别是表示基于CBO的以往的入射光学系统的示意图。图6是表示使用了准直仪的情况下的基于CBO的以往的入射光学系统的示意图。-符号说明-10X射线衍射系统50处理装置60处理器70存储器100X射线衍射装置105入射光学系统支承台110X射线源120光圈120a光圈的第一开口120b光圈的第二开口135多层膜反射镜140选择狭缝140a选择狭缝的第一开口140b选择狭缝的第二开口150移动单元155移动机构160入射狭缝160a入射狭缝的开口163准直仪保持架164准直仪165试样支承台170测角仪175检测器支承台180受光狭缝190X射线检测器R1X射线束R2X射线束S试样具体实施方式接下来，参照附图来说明本专利技术的实施方式。为了使得说明的理解变得容易，对各附图中相同的结构要素赋予相同的参照符号，并省略重复的说明。[X射线衍射装置的结构]图1是表示X射线衍射装置100的结构的俯视图。如图1所示那样，X射线衍射装置100具备X射线源110、光圈120、多层膜反射镜135、选择狭缝140、入射狭缝160、准直仪保持架163、试样支承台165、受光狭缝180及X射线检测器190。在图1的例子中，向试样S照射通过第一入射路径的X射线束R1。入射路径的详细后述。X射线源110生成X射线束。作为X射线焦点，X射线源110通过X射线管中的目标上的电子射线照射区域来形成，并在与X射线的出射方向垂直的方向上细长地延伸。在X射线源110与试样S之间，自X射线源110的一侧开始依序配置有光圈120、多层膜反射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线衍射装置，其特征在于，具备：X射线源，生成X射线束；第一入射路径，使所生成的所述X射线束以规定的发散角通过；第二入射路径，使多层膜反射镜反射所生成的所述X射线束，并与通过所述第一入射路径的X射线束平行地通过；移动机构，维持各自的相对位置并且使所述X射线源、所述第一入射路径及所述第二入射路径在规定的方向移动；入射狭缝，使入射至试样的X射线束通过；和试样支承台，在相对于所述入射狭缝被固定的位置支承试样，通过所述移动机构来切换通过所述第一入射路径或者所述第二入射路径的X射线束之中通过所述入射狭缝的X射线束。

【技术特征摘要】
2018.03.20 JP 2018-0520561.一种X射线衍射装置，其特征在于，具备：X射线源，生成X射线束；第一入射路径，使所生成的所述X射线束以规定的发散角通过；第二入射路径，使多层膜反射镜反射所生成的所述X射线束，并与通过所述第一入射路径的X射线束平行地通过；移动机构，维持各自的相对位置并且使所述X射线源、所述第一入射路径及所述第二入射路径在规定的方向移动；入射狭缝，使入射至试样的X射线束通过；和试样支承台，在相对于所述入射狭缝被固定的位置支承试样，通过所述移动机构来切换通过所述第一入射路径或者所述第二入射路径的X射线束之中通过所述入射狭缝的X射线束。2.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述第一入射路径由将所生成的所述X射线束收缩为规定的发散角的第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刑部刚，光永彻，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：日本,JP