物体捕捉装置制造方法及图纸

一种对存在于测定对象空间的物体进行捕捉的物体捕捉装置，其中，该物体捕捉装置具备：发光部；受光部；光扫描部，其使从发光部出射的规定波长的测定光朝向测定对象空间扫描，并将针对测定光的来自测定对象空间的物体的反射光向所述受光部引导；以及偏振滤波器，其具备配置于光扫描部且仅使测定光中的沿着第一方向振动的光透过的偏振片和仅使反射光中的沿着与第一方向正交的第二方向振动的光透过的检偏振器。

Object capture device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】物体捕捉装置
本专利技术涉及对存在于测定对象空间的物体中的特定的物体进行捕捉的物体捕捉装置。
技术介绍
在半导体器件的制造设备中，为了将收容有多张半导体晶片的晶片载体装置从一个制造装置的装载端口向另一制造装置的装载端口输送而使用有输送台车。这样的输送台车被称为空中行驶式无人输送车，简记为OHT(OverheadHoistTransfer)。为了避免该输送台车与人、机械等障碍物之间的接触，该输送台车构成为具备沿着在各制造装置的上部空间设置的行驶导轨、即轨道自动行驶的行驶部和支承于该行驶部的物品收容部，在物品收容部组装有升降机构，该升降机构使升降体沿着规定的升降路径升降，其中，该升降体具备用于抓住输送对象物、即晶片载体装置的夹持机构。为了按照各制造装置的布局来输送晶片载体装置，该轨道是不仅具备单纯的直线部而且还具备弯曲部、分支部、汇合部等的复杂形状，该制造设备构成为使多个输送台车隔开间隔地在同一轨道上行驶。在该制造设备中，为了提高晶片载体装置的输送效率，要求多个输送台车在轨道上高速行驶，由于输送台车间的车间距离存在变短的倾向，因此需要具备防止万一发生的追尾事故的机构。专利文献1公开一种如下的技术：为了避免输送台车的追尾，在输送台车上设置激光测距仪等车间距离传感器，基于由车间距离传感器计测到的车间距离来算出与前方的输送台车之间的相对速度，基于相对速度来控制本车的行驶速度，由此避免追尾。然而，在前方的输送台车在轨道的弯曲部行驶这样的情况下，由于前方的输送台车脱离从激光测距仪输出的测定光的扫描范围，因此不仅无法检测前方的输送台车，而且有可能将来自各制造装置等的外装板的反射光、来自其他的行驶台车等的反射光误检测为来自在前方行驶的输送台车的反射光。于是，专利文献2提出了如下的距离测定装置：在沿轨道行驶的输送台车的前部配置由扫描部和距离运算部构成的测距装置，所述扫描部使调制后的测定光以平面状扫描，所述距离运算部根据由扫描部扫描出的测定光和来自检测物的反射光之间的时间延迟来算出距检测物的距离，通过该测距装置根据来自在前方的行驶的输送台车的后部配置的回归性反射构件的反射光，来检测输送台车间的车间距离。该距离测定装置具备识别部，所述识别部基于由扫描部扫描出的测定光的多个扫描角度、由距离运算部算出的与各扫描角度对应的距离、以及与各扫描角度对应的反射光的强度中的至少任意两者的相关关系，来识别是否为来自回归性反射构件的反射光。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-25745号公报专利文献2：日本特开2011-69671号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，即使是专利文献2所记载的距离测定装置，也无法完全排除识别部将来自制造装置等的壁面的反射光误判断为来自输送台车所具备的回归性反射构件的反射光的情况。原因在于，根据距离测定装置与测定光所照射的壁面之间的间隔距离，存在测定光所照射的壁面的反射特性与在输送台车的后部配置的回归性反射构件的反射特性近似的情况。例如是壁面由铝等金属板构成且测定光从大致垂直方向向壁面入射的情况、例如是壁面由起皱加工后的白色涂装面等构成的情况。在这样的情况下，为了避免误判断必须对每个制造设备分别调整成为判断基准的相关关系，需要非常繁杂的作业。同样的问题不限于上述的空中行驶式无人输送车OHT，在被沿着行驶路径配设的多个地标引导而在不偏离行驶路径的情况下无人行驶到目的地的输送台车中也会产生。这样的输送台车简记为AGV(AutomatedGuidedVehicle)。在AGV上搭载有朝向沿着路径配设的地标扫描输出测定光的距离测定装置，利用距离测定装置检测来自构成各地标的回归性反射构件的反射光从而进行位置确认，或者构成为检测存在于行驶路径的人、物等障碍物。然而，当将来自制造装置等的壁面的反射光误判断为来自地标的反射光时，有可能偏离行驶路径。本专利技术的目的在于如下这点，即，鉴于上述的问题，提供能够判别物体是否为捕捉对象物的物体捕捉装置。用于解决课题的方案本专利技术的物体捕捉装置的第一特征结构如本专利技术技术方案1所记载的那样在于如下这点，即，一种对存在于测定对象空间的物体进行捕捉的物体捕捉装置，其中，所述物体捕捉装置具备：发光部；受光部；光扫描部，其使从所述发光部出射的规定波长的测定光朝向测定对象空间扫描，并将针对所述测定光的来自测定对象空间的物体的反射光向所述受光部引导；以及偏振滤波器，其具备配置于所述光扫描部且仅使所述测定光中的沿着第一方向振动的光透过的偏振片和仅使所述反射光中的沿着与所述第一方向正交的第二方向振动的光透过的检偏振器。仅从发光部出射的测定光中的沿着第一方向振动的直线偏振光透过偏振片并向测定对象空间扫描，仅来自物体的反射光中的沿着与第一方向正交的第二方向振动的直线偏振光透过检偏振器并被向受光部引导。由于在光扫描部具备偏振片和检偏振器，因此测定光的偏振方向不会随着扫描而变化，另外，反射光的偏振方向也不会发生变化。若捕捉对象物的反射面的反射特性具备使测定光的偏振方向旋转90度那样的反射特性，则能够可靠地识别为捕捉对象物。本专利技术的第二特征结构如本专利技术技术方案2所记载的那样在于如下这点，即，在上述的第一特征结构的基础上，在所述发光部与所述偏振片之间配置有圆偏振板。经过圆偏振板而圆偏振后的测定光向偏振片入射，由此能够容易地得到向第一方向振动的直线偏振光，其结果是，无需调整发光部与偏振片的相对位置关系以使从发光部出射的光的直线偏振光的偏振方向和基于偏振片的偏振方向一致。本专利技术的第三特征结构如本专利技术技术方案3所记载的那样在于如下这点，即，在上述的第二特征结构的基础上，在所述发光部与所述圆偏振板之间配置有第二偏振片。通过将第二偏振片调整为入射光的偏光面相对于圆偏振板的高速轴或低速轴以45度的方位角入射，由此能够将直线偏振光改变成接近正圆的圆偏振光，其结果是，利用光扫描部所具备的偏振片得到适当地直线偏振光后的测定光。本专利技术的第四特征结构如本专利技术技术方案4所记载的那样在于如下这点，即，在上述的第一特征结构～第三特征结构中的任一者的基础上，所述光扫描部具备：偏转镜；以及光引导部，其对将通过所述偏转镜而偏转了的测定光向测定对象空间引导的光路与将所述反射光向所述受光部引导的光路进行划分，所述偏振片配置在所述光引导部的测定光光路侧，所述检偏振器配置在所述光引导部的反射光光路侧。光路被光引导部区域划分为测定光光路和反射光光路。在从发光部出射的测定光在测定光光路行进时，仅沿着第一方向振动的直线偏振光透过偏振片而向测定对象空间扫描，在来自物体的反射光在反射光光路行进时，仅沿着与第一方向正交的第二方向振动的直线偏振光透过检偏振器而由受光部接受。本专利技术的第五特征结构如本专利技术技术方案5所记载的那样在于如下这点，即，一种对存在于测定对象空间的物体进行捕捉的物体捕捉装置，其中，所述物体捕捉装置具备：发光部；受光部；以及光扫描部，其使从所述发光部出射的规定波长的测定光朝向测定对象空间扫描，并将针对所述测定光的来自测定对象空间的物体的反射光向所述受光部引导，所述光扫描部具备光引导部，所述光引导部对将通过所述偏转镜而偏转了的测定光向测定对象空间引导的光路和将所述反射光向所述受光部引导的光路进行划分，在所述光引导部的测定光光路侧配置有将所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物体捕捉装置，其是对存在于测定对象空间的物体进行捕捉的物体捕捉装置，其中，所述物体捕捉装置具备：发光部；受光部；光扫描部，其使从所述发光部出射的规定波长的测定光朝向测定对象空间扫描，并将针对所述测定光的来自测定对象空间的物体的反射光向所述受光部引导；以及偏振滤波器，其配置于所述光扫描部，且具备仅使所述测定光中的沿着第一方向振动的光透过的偏振片和仅使所述反射光中的沿着与所述第一方向正交的第二方向振动的光透过的检偏振器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.17 JP 2017-0277781.一种物体捕捉装置，其是对存在于测定对象空间的物体进行捕捉的物体捕捉装置，其中，所述物体捕捉装置具备：发光部；受光部；光扫描部，其使从所述发光部出射的规定波长的测定光朝向测定对象空间扫描，并将针对所述测定光的来自测定对象空间的物体的反射光向所述受光部引导；以及偏振滤波器，其配置于所述光扫描部，且具备仅使所述测定光中的沿着第一方向振动的光透过的偏振片和仅使所述反射光中的沿着与所述第一方向正交的第二方向振动的光透过的检偏振器。2.根据权利要求1所述的物体捕捉装置，其中，在所述发光部与所述偏振片之间配置有圆偏振板。3.根据权利要求2所述的物体捕捉装置，其中，在所述发光部与所述圆偏振板之间配置有第二偏振片。4.根据权利要求1～3中任一项所述的物体捕捉装置，其中，所述光扫描部具备：偏转镜；以及光引导部，其对将通过所述偏转镜而偏转了的测定光向测定对象空间引导的光路与将所述反射光向所述受光部引导的光路进行划分...

【专利技术属性】
技术研发人员：森利宏，山本明人，前田昌之，笠原隆弘，
申请(专利权)人：北阳电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP