一种PERC电池制作方法技术

本发明专利技术公开了一种PERC电池制作方法，包括将经过氧化处理后的电池片半成品送入反应腔，且仅使其背面与反应腔内的气体接触；将所述反应腔抽真空，在设定的压强下通入保护气体，并对反应腔进行加热，直至反应腔内的温度和真空度达到设定要求后通入反应气体；利用射频技术使得反应气体分子被分解为等离子体，所述等离子体在反应腔运动撞击在电池片半成品的背面表面上，使得位于所述电池片半成品背面表面上的脏污脱离所述电池片半成品。本发明专利技术通过在现有的PERC工艺基础上进行改进，在氧化处理之后背钝化之前加入PECVD预处理，通过PECVD原理产生等离子体，清除电池片半成品背面携带的脏污，提升电池片的转换效率，降低电池片检测的黑点黑斑不良。

A Manufacturing Method of PERC Battery

【技术实现步骤摘要】
一种PERC电池制作方法
本专利技术属于太阳能光伏电池制造
，具体涉及一种PERC电池制作方法。
技术介绍
等离子体增强化学的气相沉积法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。原子层沉积(Atomiclayerdeposition，ALD)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处，但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。目前PERC电池生产工艺流程如图1所示，从前到后依次为制绒、扩散、刻蚀、氧化、背钝化、PECVD镀膜、激光开槽、印刷烧结。具体流程说明如下，1.制绒：对硅片进行制绒形成绒面。2.扩散：对硅片正面进行磷扩散形成PN结。3.刻蚀：对背面进行抛光、去除边缘PN结及正面的磷硅玻璃。4.氧化：在硅片正面形成一层2-10nm的二氧化硅薄膜。5.背钝化：采用ALD沉积方式在背面形成一层氧化铝膜，厚度2nm-15nm，对背面达到钝化效果。6.PECVD镀膜：采用管式PECVD的方式在硅片正面和背面分别镀氮化硅薄膜。7.激光开槽：按照特定图形用激光在硅片背面开槽，开槽深度需大于背面氧化铝和氮化硅厚度，从而使背面印刷的浆料和硅片形成接触。8.印刷烧结：印刷背面电极(银浆)、背面铝背场(铝浆)及正面栅线和电极(银浆)；然后将印刷好的电池片在高温(300～900℃)下进行烧结，使印刷的浆料和硅片形成良好的欧姆接触。在背钝化之前各工序的生产过程中，由于硅片与机台设备、自动化设备之间存在接触，环境中颗粒粉尘等会使硅片表面带有污染物。若未在背钝化镀氧化铝之前去除硅片背面的污染物的话，背钝化镀膜后则会将污染物覆盖，从而进入PERC电池片内部，对PERC电池片的电性能产生影响。不仅会大大降低光电转换效率，而且在污染位置进行EL检测时会呈现出黑点黑斑不良，从而降低电池片的良率。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提出一种PERC电池制作方法，通过在现有的PERC工艺基础上进行改进，在氧化处理之后背钝化之前加入PECVD预处理，通过PECVD原理产生等离子体，清除电池片半成品背面携带的脏污，提升电池片的转换效率，降低电池片检测的黑点黑斑不良。为了实现上述技术目的，达到上述技术效果，本专利技术通过以下技术方案实现：一种PERC电池制作方法，包括以下步骤：S1：将经过氧化处理后的电池片半成品送入反应腔，且仅使其背面与反应腔内的气体接触；S2：将所述反应腔抽真空，在设定的压强下通入保护气体，并对反应腔进行加热，直至反应腔内的温度和真空度达到设定要求后通入反应气体；S3：利用射频技术使得反应气体分子被分解为等离子体，所述等离子体在反应腔运动撞击在电池片半成品的背面表面上，使得位于所述电池片半成品背面表面上的脏污脱离所述电池片半成品。优选地，温度的设定要求为400-500℃。优选地，所述设定的压强为1500-2200mtorr。优选地，所述反应气体为氨气。优选地，所述利用射频技术使得反应气体分子被分解为等离子体，具体为：启动与所述反应腔相连的射频发生器，反应2-5min的时间；所述氨气在射频的作用下被分解为等离子体。优选地，所述保护气体为氮气。优选地，所述等离子体包括NH2、NH和H离子。优选地，所述电池片半成品通过以下步骤获得：获取硅片；将所述硅片顺次经过制绒、扩散、刻蚀和氧化处理，获得所述电池片半成品。优选地，所述步骤S4之后还顺次包括背钝化处理、PECVD镀膜处理、激光开槽处理和印刷烧结处理。与现有技术相比，本专利技术的有益效果：本专利技术提出一种PERC电池制作方法，通过在现有的PERC工艺基础上进行改进，在氧化处理之后背钝化之前加入PECVD预处理，通过PECVD原理产生等离子体，清除电池片半成品背面携带的脏污，提升电池片的转换效率，降低电池片检测的黑点黑斑不良。附图说明图1为现有技术中的PREC电池制作方法流程示意图；图2为本专利技术一种实施例的PREC电池制作方法流程示意图之一；图3为本专利技术一种实施例的PREC电池制作方法流程示意图之二。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术的保护范围。下面结合附图对本专利技术的应用原理作详细的描述。由于现有技术中的PERC电池制作方法，在背钝化之前各工序的生产过程中，由于硅片与机台设备、自动化设备之间存在接触，环境中颗粒粉尘等会使硅片表面带有污染物。若未在背钝化镀氧化铝之前去除硅片背面的污染物的话，背钝化镀膜后则会将污染物覆盖，从而进入PERC电池片内部，对PERC电池片的电性能产生影响。不仅会大大降低光电转换效率，而且在污染位置进行EL检测时会呈现出黑点黑斑不良，从而降低电池片的良率。为此，本专利技术提供了一种PERC电池制作方法，通过在现有的PERC工艺基础上进行改进，在氧化处理之后背钝化之前加入PECVD预处理，通过PECVD原理产生等离子体(即将所述反应腔内的温度加热至设定温度后通入气体，使得反应腔内的压力达到设定压力值，利用射频技术使得气体分子被分解为等离子体，所述等离子体在反应腔运动撞击在电池片半成品的背面表面上)，清除电池片半成品背面携带的脏污，提升电池片的转换效率，降低电池片检测的黑点黑斑不良。如图2所示，本专利技术提供了一种PERC电池制作方法，包括以下PECVD预处理步骤：步骤S1：将经过氧化处理后的电池片半成品送入反应腔，且仅使其背面与反应腔内的气体接触，因为电池片半成品的正面由于有氧化膜，因此不能被等离子破坏，预处理时电池片半成品的正面不能处于等离子体氛围中；在本专利技术的一种具体实施例中，所述电池片半成品通过以下步骤获得：获取硅片；将所述硅片顺次经过制绒、扩散、刻蚀和氧化处理，获得所述电池片半成品；所述制绒、扩散、刻蚀、清洗和氧化处理均为现有技术，本专利技术中不做过多赘述。所述的反应腔为PECVD机台的反应腔，所述PECVD机台为现有技术中的产品，可以直接从市面上采购得到；步骤S2：将所述反应腔抽真空，在设定的压强下通入保护气体，并对反应腔进行加热，直至反应腔内的温度和真空度达到设定要求后通入反应气体；在本专利技术的一种具体实施例中，温度的设定要求为400-500℃，所述设定的压强为1500-2200mtorr；所述反应气体为氨气；所述保护气体为氮气；步骤S3：利用射频技术使得反应气体分子被分解为等离子体，所述等离子体在反应腔运动撞击在电池片半成品的背面表面上，使得位于所述电池片半成品背面表面上的脏污脱离所述电池片半成品；在本专利技术的一种具体实施例中，所述利用射频技术使得反应气体分子被分解为等离子体，具体为：启动PECVD机台内与所述反应腔相连的射频发生器，反应2-5min的时间；所述氨气在射频的作用下被分解为等离子体，所述等离子体包括NH2、NH和H离子。进一步地，在本专利技术的一种具体实施例中，所述步骤S4之后还顺次包括背钝化处理、PECVD镀膜处理、激本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PERC电池制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将经过氧化处理后的电池片半成品送入反应腔，且仅使其背面与反应腔内的气体接触；S2：将所述反应腔抽真空，在设定的压强下通入保护气体，并对反应腔进行加热，直至反应腔内的温度和真空度达到设定要求后通入反应气体；S3：利用射频技术使得反应气体分子被分解为等离子体，所述等离子体在反应腔运动撞击在电池片半成品的背面表面上，使得位于所述电池片半成品背面表面上的脏污脱离所述电池片半成品。

【技术特征摘要】
1.一种PERC电池制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将经过氧化处理后的电池片半成品送入反应腔，且仅使其背面与反应腔内的气体接触；S2：将所述反应腔抽真空，在设定的压强下通入保护气体，并对反应腔进行加热，直至反应腔内的温度和真空度达到设定要求后通入反应气体；S3：利用射频技术使得反应气体分子被分解为等离子体，所述等离子体在反应腔运动撞击在电池片半成品的背面表面上，使得位于所述电池片半成品背面表面上的脏污脱离所述电池片半成品。2.根据权利要求1所述的一种PERC电池制作方法，其特征在于：温度的设定要求为400-500℃。3.根据权利要求1所述的一种PERC电池制作方法，其特征在于：所述设定的压强为1500-2200mtorr。4.根据权利要求1所述的一种PERC电池制作方法，其特征在于：所述反应气体为氨气。...

【专利技术属性】
技术研发人员：童锐，柯希满，张忠卫，
申请(专利权)人：南通苏民新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32