电阻测定方法、电阻测定装置以及基板检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电阻测定方法、电阻测定装置以及基板检查装置。本发明专利技术一边对除对象检查点对以外的剩余的检查点对的第一检查点与第二检查点之间流入测定用电流(I)，一边测定对应于作为对象检查点对的检查点对的一对测定点间的电压，并将基于所述经测定的电压的电压作为对应于对象检查点对的补正用电压而存储于存储部中。在进行电阻测定时，一边对多个检查点对的第一检查点与第二检查点之间分别流入测定用电流(I)，一边测定在对应于各检查点对的一对测定点间产生的电压来作为对应于各检查点对的测定电压，通过自对应于各检查点对的测定电压减去补正用电压来算出补正电压，基于补正电压与测定用电流，算出各检查点对间的电阻值。

Resistance Measurement Method, Resistance Measurement Device and Substrate Inspection Device

【技术实现步骤摘要】
电阻测定方法、电阻测定装置以及基板检查装置
本专利技术涉及一种测定电阻的电阻测定方法、电阻测定装置以及基板检查装置。
技术介绍
一直以来，已知有如下的基板检查装置：对形成于电路基板上的配线图案等，自电源部流入测定电流，利用电压检测部测定产生于配线图案中的电压，由此根据其电流值与电压值来测定配线图案的电阻值(例如参照专利文献1)。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2004-184374号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]此外，一块电路基板上所形成的配线图案等导电部的数量有时达到数百～数千个。对于此种大量的配线图案，若要逐个依次进行电流供给与电压测定以进行电阻测定，则测定所有的配线图案的电阻需要花费时间。因此，存在想要使用多对进行电流供给的电源部与进行电压测定的电压测定部来并行地执行多个部位的电阻测定的需求。图9是用于说明利用多对电源部与电压检测部来并行地执行多个部位的电阻测定的情况下的问题的说明图。在图9所示的被检查基板900中，形成有导电部911、导电部921。导电部911的一端被设为检查点912，导电部911的另一端被设为检查点913。在检查点912上连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电阻测定方法，其特征在于，包括：(a)对分别设置有第一检查点与第二检查点成对的多个检查点对的多个被测定基板中的至少一个被测定基板，选择所述多个检查点对中的一个作为对象检查点对的工序；(b)一边对除所述对象检查点对以外的剩余的检查点对的所述第一检查点与所述第二检查点之间流入预先设定的测定用电流，一边测定对应于作为所述对象检查点对的检查点对而预先设定的一对测定点间的电压，将基于经所述测定的电压的电压作为对应于作为所述对象检查点对而选择的检查点对的补正用电压而存储于存储部中的工序；(c)自所述多个检查点对中的其它检查点对中依次选择所述对象检查点对来执行所述(b)工序，由此，将对应于所述多个检...

【技术特征摘要】
2018.03.14 JP 2018-0464831.一种电阻测定方法，其特征在于，包括：(a)对分别设置有第一检查点与第二检查点成对的多个检查点对的多个被测定基板中的至少一个被测定基板，选择所述多个检查点对中的一个作为对象检查点对的工序；(b)一边对除所述对象检查点对以外的剩余的检查点对的所述第一检查点与所述第二检查点之间流入预先设定的测定用电流，一边测定对应于作为所述对象检查点对的检查点对而预先设定的一对测定点间的电压，将基于经所述测定的电压的电压作为对应于作为所述对象检查点对而选择的检查点对的补正用电压而存储于存储部中的工序；(c)自所述多个检查点对中的其它检查点对中依次选择所述对象检查点对来执行所述(b)工序，由此，将对应于所述多个检查点对中的各检查点对的补正用电压存储于存储部中的工序；(d)关于所述多个被测定基板中与所述至少一个被测定基板不同的被测定基板，对所述多个检查点对的所述第一检查点与所述第二检查点之间分别流入所述测定用电流的工序；(e)在所述(d)工序的执行期间中，测定...

【专利技术属性】
技术研发人员：椹木雅也，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP