温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种电阻测定方法、电阻测定装置以及基板检查装置。本发明一边对除对象检查点对以外的剩余的检查点对的第一检查点与第二检查点之间流入测定用电流(I)，一边测定对应于作为对象检查点对的检查点对的一对测定点间的电压，并将基于所述经测定的电压...
该专利属于日本电产理德股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产理德股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。